據(jù)每日經(jīng)濟新聞報道,世界光刻機巨頭ASML亮相第三屆進博會,。作為全球唯一能生產(chǎn)EUV光刻機的企業(yè),,由于ASML目前仍不能向中國出口EUV光刻機,所以此次展示的是其DUV光刻機,。據(jù)了解,,該產(chǎn)品可生產(chǎn)7nm及以上制程芯片。
光刻機(Mask Aligner) 又名掩模對準曝光機,,曝光系統(tǒng),,光刻系統(tǒng)等,是制造芯片的核心裝備,。它采用類似照片沖印的技術(shù),,把掩膜版上的精細圖形通過光線的曝光印制到硅片上,。
21ic家了解到,作為全球芯片作為全球芯片光刻技術(shù)的領(lǐng)導(dǎo)者,,ASML(阿斯麥)以“光刻未來,,攜手同行”為主題亮相第三屆進博會技術(shù)裝備展區(qū)。
在此次展會上,,ASML除了展示了其整體光刻解決方案,,包括先進控制能力的光刻機臺計算光刻和測量通過建模、仿真,、分析等技術(shù),,讓邊緣定位精度不斷提高。同時也讓現(xiàn)場觀眾近距離接觸光刻機模型,,同時,,通過光刻小游戲,讓大家更近距離體驗光刻世界的奇妙,,在趣味中體驗“光的掌門人”的日常工作,。
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