SiC是半導(dǎo)體領(lǐng)域最具成長力的材料,預(yù)計到2028年市場增長5倍。
來源:ST
SiC目前有兩大應(yīng)用市場,,一是電動車逆變器,、充電樁、太陽能發(fā)電,、直流電網(wǎng)中取代硅基IGBT,,二是以SiC基板(Substrate,大陸多稱之為襯底,,也有稱之為blankraw wafer,,空白晶圓)承載GaN做5G基地臺的RF功率放大。
SiC和GaN都是市場備受矚目的第三代半導(dǎo)體材料,,第一代是硅,,第二代則是砷化鎵。第三代又稱寬帶隙半導(dǎo)體,。其最主要應(yīng)用就是功率電子領(lǐng)域,,功率半導(dǎo)體兩個最重要參數(shù),一個是電子的遷移速率即速度/電流,,另一個是能隙,,其決定了半導(dǎo)體的崩潰電場,即最高承受電壓,。
SiC和GaN能隙是硅的三倍多,,崩潰電場是硅的近10倍。功率元件通常都做開關(guān)電源用,,需要低導(dǎo)通電阻和大電流,,大功率電力系統(tǒng)為提高轉(zhuǎn)換功率需要盡量提高電壓,而電壓=電場x距離,。相同電壓下,,SiC和GaN可以減少大約十倍的操作距離,距離為電阻成正比,,即導(dǎo)通電阻很低,。因此相對硅基半導(dǎo)體SiC和GaN可以大幅度提高電力系統(tǒng)效率。
來源:YOLE
SiC功率系統(tǒng)產(chǎn)業(yè)鏈,,最上游的基板到器件設(shè)計,,然后是外延片,再后是芯片處理也就是晶圓代工,,然后是封測,,最后是系統(tǒng),。
此外,要說一下GaN,,GaN沒有安身立命的場所,,它必須依附在某種基板上,通常有三種基板:一是藍寶石,,藍寶石基板加GaN就是藍光或白光LED,,這在20年前已經(jīng)由日本廠家發(fā)明;二是SiC基板,,就是5G基站的射頻放大器,,此外大功率軍用雷達也是典型應(yīng)用;三是硅基板,,就是普通的功率元件,,特別適合用在手機快充領(lǐng)域的功率元件。
與硅基半導(dǎo)體不同,,SiC產(chǎn)業(yè)鏈多了外延片Epitaxy這個環(huán)節(jié),,臺灣稱之為磊晶,也有稱之為長晶,。Epitaxy來自希臘文,,epi代表在上方,而taxy指規(guī)則排列,。之所以有這個工序是為了制造一層單晶機構(gòu),,發(fā)揮復(fù)合半導(dǎo)體最大效能,它厚度很薄,,大約是一個分子或原子的高度,,通常有三種工藝,液相磊晶,、氣相磊晶(再分為化學(xué)氣相和物理氣相)和分子束磊晶,。
來源:英飛凌
SiC MOSFET的成本結(jié)構(gòu),超過一半來自基板,,磊晶占的比例很低,。
基板是SiC元件最關(guān)鍵的原材料,也是最具技術(shù)含量和含金量的領(lǐng)域,,SiC元件成本中,,基板至少占一半,車載領(lǐng)域?qū)ι嵋蟾?,因此所占成本更高,,達65%。就6英寸晶圓來說SiC基板價格為900-1200美元,是硅的50倍,。
實際SiC比硅出現(xiàn)的更早,,早在1890年就已經(jīng)出現(xiàn),但一直難于突破量產(chǎn)瓶頸,。SiC單晶生長溫度高達2600℃,,比硅基高1000°,,且碳化硅只有“固-氣”二相,,相比于第一代、第二代半導(dǎo)體的“固-液-氣”三相,,控制起來要困難得多,,沒有相關(guān)技術(shù)進行參考借鑒。加上SiC的單晶結(jié)構(gòu)差不多有200余種同分異構(gòu)體,,很多的晶型間的自由能差異非常小,,需要幾十年的時間來摸索最合適的工藝,這些都給其單晶的產(chǎn)業(yè)化生長制備帶來了很大的挑戰(zhàn),。
冷戰(zhàn)時代,,SiC材料是洲際導(dǎo)彈彈頭涂敷材料,美蘇都大力發(fā)展SiC材料制造工藝,,最終用在電動車上,。俄羅斯圣彼得堡工業(yè)大學(xué)是全球SiC單晶成長技術(shù)的發(fā)源地,其后輾轉(zhuǎn)進入了瑞典AMDS,。
基板領(lǐng)域,,Cree是絕對霸主,市場占有率超過60%,,車載領(lǐng)域超過80%,。Cree在SiC基板領(lǐng)域研發(fā)超過35年,主要技術(shù)來源實際是北卡萊羅納大學(xué)即NCSU,,1987年NCSU的研究生約翰·帕爾默(John Palmour)發(fā)明專利,,即SiC基MOSFET晶體管的發(fā)明,同年,,約翰·帕爾默在NCSU的三角研究園創(chuàng)立Cree,。但SiC基板一直無法突破,直到2006年Cree收購INTRINSIC Semiconductor,,而這家公司則收購了瑞典AMDS和Bandgap Technologies 公司,。最終歷經(jīng)30年研究,在2011年發(fā)布全球首個SiC MOSFET功率器件,,然后依靠SiC基板技術(shù),,大力發(fā)展LED。
2015年9月,Cree公司將旗下功率和射頻部門(Power & RF)分拆為獨立的“Wolfspeed”公司,。英飛凌試圖收購該公司,,被美國政府以牽涉國家安全為理由拒絕。
2019年,,Cree成為大眾汽車集團FAST(Future Automotive Supply Tracks,,未來汽車供應(yīng)鏈)項目SiC獨家合作伙伴。
Cree的產(chǎn)能已被下游大客戶買斷,,主要客戶包括ST,、英飛凌、安森美,。需要指出,,ST不僅簽署了超5億美元的SiC基板購買合同,同時也以1.375億美元現(xiàn)金收購了瑞典SiC晶圓制造商Norstel AB,。
II-VI主要致力于SiC-GaN,,即射頻領(lǐng)域。SiCrystal是日本SiC第一大廠羅姆的子公司,,SiCrystal于2009年被羅姆低價收購,。早在1999年,羅姆就開始聚焦SiC,,最初的SiC MOSFET開發(fā)始于2002年,,初始樣品于2005年出貨。隨后2007年試制了300A MOSFET,,并于2008年發(fā)布了溝槽式器件,。
2009年Rohm收購了SiC晶圓供應(yīng)商SiCrystal,隨后在2010年推出首批批量生產(chǎn)的SiC肖特基二極管和MOSFET,,2012年批量生產(chǎn)全SiC模塊,,2017年交付了6英寸SBD。SiCrystal是羅姆成為ST意法半導(dǎo)體之外最大的SiC元件大廠的主要原因,,2020年初SiCrystal與ST簽署了1.2億美元的供貨大單,。SiCrystal也是中國SiC設(shè)計公司最多采購的供應(yīng)商。
中國碳化硅材料供應(yīng)商有山東天岳,。2019年中期,,華為旗下的哈勃科技投資了以碳化硅為主要業(yè)務(wù)的山東天岳公司,并占股10%,。早在2008年6月4日,,山東天岳公司團隊就提供了一項名為“用于半導(dǎo)體單晶生長的高純碳化硅粉的人工合成方法”的發(fā)明專利(申請?zhí)枺?00810016665.6)。
SiC磊晶領(lǐng)域所占價值很低,,主要廠家是臺灣的嘉晶電子和昭和電工,。國際大廠IQE、IET,臺灣聯(lián)亞,、全新光電也有能力,,但目前他們主要還是集中在市場更大的手機PA和VCSEL領(lǐng)域。
晶圓代工領(lǐng)域,,SiC功率器件廠家基本上都自己擁有晶圓廠,,不會委外代工。實際不止SiC功率器件領(lǐng)域內(nèi)如此,,所有硅基功率器件領(lǐng)域內(nèi)也是如此,。主要是考慮到成本控制問題,自有晶圓廠產(chǎn)品才能有競爭力,。當然,,中國大陸廠家是能外包的都外包,降低固定資產(chǎn)投入,。
目前SiC功率器件晶圓代工領(lǐng)域恐只有臺灣漢磊一家,漢磊是累積了8年經(jīng)驗才開始從事SiC功率器件晶圓代工,。環(huán)宇,、嘉晶也有能力,但對此都缺乏興趣,。漢磊幾乎是唯一選擇,。漢磊的主力也不在此,畢竟市場太小了,,基于SiC的GaN晶圓代工才是焦點,,因為難度極高,一般廠家做不來,,只有多年從事復(fù)合半導(dǎo)體晶圓代工的廠家才行,。臺灣有全球前三大復(fù)合半導(dǎo)體晶圓代工廠,穩(wěn)懋,、宏捷科,、全新光電合計市場占有率超90%,比硅晶圓代工市場集中度更高,。
下游SiC元件領(lǐng)域,,ST占據(jù)絕對霸主地位,市場占有率超過50%,,目前ST接獲的68個項目中工業(yè)和汽車領(lǐng)域各占一半,。特斯拉是ST獨家供應(yīng),比亞迪也在使用ST的SiC MOSFET,。除ST外,,英飛凌和羅姆占了大約40%的市場。安森美在SiC二極管領(lǐng)域也有一席之地。
來源:YOLE
現(xiàn)代和雷諾可能會是羅姆的大客戶,,羅姆通過大陸汽車動力總成事業(yè)群分拆的Vitesco供應(yīng)給現(xiàn)代和雷諾,,此外PSA-FCA電驅(qū)動軸也是Vitesco主要客戶。豐田則由電裝供應(yīng),。大眾,、奧迪和奔馳未來可能由英飛凌供應(yīng)。這中間都需要通過電驅(qū)動軸廠家配合,。中國宇通則是采用常州斯達半導(dǎo)體的SiC MOSFET 1200V,,由Cree提供成品晶圓,斯達半導(dǎo)體只做封裝測試,。
中國SiC產(chǎn)業(yè)鏈