近日,,光刻機(jī)制造企業(yè)ASML公布了2021年第二季度財(cái)報(bào)。財(cái)報(bào)顯示,,ASML凈銷(xiāo)售額為40億歐元,毛利率為50.9%,,凈收入10億歐元,。
根據(jù)ASML的的財(cái)報(bào)透露,當(dāng)前第一臺(tái)全新TWINSCAN NXE:3600D EUV光刻機(jī)系統(tǒng)已經(jīng)交付,,不過(guò)并沒(méi)有透露客戶(hù)的具體名字,。此次全新的光刻機(jī)相比NXE:3400C生產(chǎn)力提高了15-20%,覆蓋率提高了約30%,。
值得注意的是,ASML第二季度的預(yù)訂額為83億歐元,,其中EUV極紫外光刻機(jī)就有49億歐元,,而總的積壓訂單金額已達(dá)175億歐元,這足以證明當(dāng)下光刻機(jī)的生產(chǎn)仍有預(yù)訂壓力,。ASML表示,,正努力增加EUV光刻機(jī)在存儲(chǔ)行業(yè)的量產(chǎn)應(yīng)用,計(jì)劃協(xié)助三個(gè)DRAM內(nèi)存芯片客戶(hù)在未來(lái)的工藝節(jié)點(diǎn)中導(dǎo)入EUV,。預(yù)計(jì)ASML在第三季度的凈銷(xiāo)售額52-54億歐元,,毛利率51-53%。
據(jù)悉,,目前ASML的EUV光刻機(jī)仍屬于第一代產(chǎn)品,,最早一代產(chǎn)品是NXE:3400B,其晶圓產(chǎn)能只有125PWH,。而當(dāng)前的助力產(chǎn)品為NXE:3400C,,晶圓產(chǎn)能產(chǎn)能提升到135WPH,最新的NXE:3600D光刻機(jī)其產(chǎn)能進(jìn)一步增加,,提升至160WPH,,其價(jià)格有可能達(dá)到1.45億美元。此外,,ASML也將在未來(lái)幾年推出第二代EUV光刻機(jī),,或?qū)⑹荖XE:5000系列,,物鏡NA提升到0.55,進(jìn)一步提高光刻精度,,價(jià)格可能來(lái)到3億美元,,原計(jì)劃將于2023年推出,目前推遲至2025-2026年,。