今日,，華卓精科將首發(fā)上會,，沖刺科創(chuàng)板IPO。

　　據(jù)了解,，華卓精科如果能成功上市,，或?qū)⒊蔀?a class="innerlink" href="http://forexkbc.com/tags/國產(chǎn)光刻機" target="_blank">國產(chǎn)光刻機第一股。

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　　募資超7億,，加碼研發(fā)

　　華卓精科成立于2012年,，雖被譽為國產(chǎn)光刻機第一股,，但公司不生產(chǎn)光刻機整機，而是聚焦EUV光刻機雙工件臺技術,。

　　公司主要產(chǎn)品包括精密運動系統(tǒng),、光刻機雙工件臺模塊、靜電卡盤和隔振器等超精密測控設備部件以及晶圓級鍵合設備,、激光退火設備等超精密測控設備整機,，以及上述部分主要產(chǎn)品的技術開發(fā)服務。

　　華卓精科本次擬發(fā)行股票不超過3200萬股,，募集資金約7.35億元,，將用于半導體裝備關鍵零部件研發(fā)制造項目、超精密測控產(chǎn)品長三角創(chuàng)新與研發(fā)中心建設,、光刻機超精密位移測量及平面光柵測量技術研發(fā)項目等,。

　　02

　　中國破冰雙工件臺技術！

　　光刻機有三大核心部件,，EUV光源,、雙工件臺、光學鏡頭,。其中技術壁壘最高,、制成難度最大的是雙工件臺，成本占到整個光刻機成本的10%-20%,。

　　此前,，光刻機的雙工件臺技術被荷蘭的ASML公司一手壟斷，而華卓精科攜手清華團隊成功打破了雙工件臺技術壁壘,，成為了全球第二,，全國第一家掌握掌握EUV光刻機雙工件臺技術的廠商，實現(xiàn)了技術,、雙工件臺零部件的完全自主化生產(chǎn),。

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　　對標ASML，理想芯制程達7nm

　　在技術水準,、芯片制程高度上,，華卓精科的雙工件臺與ASML公司的雙工件臺基本上位于同一水準。

　　華卓精科與上海微電子一直保持著良好的合作關系,，上海微電子28納米浸入式光刻機,，采用的工件臺正是華卓精科的雙工件臺。

　　據(jù)悉,，該工件臺最高精度可達1.7納米,，適用于65納米以下的芯片制程，高速運作下理念可行的芯片制程水準達2納米,。

　　上海微電子28納米光刻機是浸入式光刻機,，因此可以通過水的多次折射縮短光波,，實現(xiàn)更高精度的芯片投射，結合華卓精科的雙工件臺,，可以實現(xiàn)7納米芯片的自主化生產(chǎn),，前提是不計較時間、勞動,、能源成本,。

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　　客戶單一，銷售規(guī)模較小

　　華卓精科表示,，目前公司光刻機雙工件臺產(chǎn)品客戶單一,。

　　目前華卓精科的光刻機雙工件臺僅有上海微電子一家客戶，并且該產(chǎn)品仍處于小批量定制生產(chǎn)階段,，尚未實現(xiàn)規(guī)?；慨a(chǎn)。

　　截至目前,，華卓精科DWS系列光刻機雙工件臺累計發(fā)貨4臺,，目前仍處于與上海微電子光刻機整機集成、測試階段,，尚未通過上海微電子最終驗收,。

　　業(yè)績方面，2018年-2020年,，華卓精科營收分別為8570.92萬元,、1.21億元和1.52億元；凈利潤分別為1512.36萬元,、2087.24萬元和1242.83萬元,。

　　華卓精科表示，報告期內(nèi)公司的晶圓級鍵合設備,、激光退火設備和光刻機雙工件臺處于產(chǎn)品商業(yè)化初期,，客戶相對較少，尚未形成規(guī)?；a(chǎn)品銷售,，導致公司整體銷售規(guī)模較小，銷售結構尚未穩(wěn)定,，存在較大的變動。