9月17日,，華卓精科于科創(chuàng)板成功過會,，向“國產(chǎn)光刻膠第一股”再進(jìn)一步,。

　　華卓精科主營業(yè)務(wù)為超精密測控設(shè)備,，產(chǎn)品包括精密運(yùn)動系統(tǒng),、光刻機(jī)雙工件臺模塊,、靜電卡盤,、晶圓級鍵合設(shè)備,、激光退火設(shè)備等，主要應(yīng)用于集成電路制造,、超精密制造,、光學(xué)、醫(yī)療等行業(yè),。

　　“清華力量”加持,，共享專利

　　華卓精科具有清華“背景”，公司控股股東朱煜是清華大學(xué)長聘教授,，許多核心技術(shù)人員也是,、來自清華。

　　目前，朱煜,、張鳴已取得清華大學(xué)兼職批復(fù),，作為兼職人員在華卓精科處工作。

　　研發(fā)專利,，截至 2021 年 6 月 30 日,，公司擁有 198 項(xiàng)專利以及 1 項(xiàng)專利獨(dú)占使用權(quán)。

　　其中,，公司與清華大學(xué)共同所有162項(xiàng)專利技術(shù)以及1項(xiàng)獨(dú)占實(shí)施許可專利,，35項(xiàng)為華卓精科單獨(dú)申請。

　　對于共同擁有的162項(xiàng)專利,，公司與清華大學(xué)通過協(xié)議約定了公司具有該部分專利技術(shù)的獨(dú)占實(shí)施權(quán),，清華大學(xué)具有收益分配的權(quán)利。

　　獲超10輪融資

　　據(jù)不完全統(tǒng)計(jì),，華卓精科成立至今已獲得超10輪融資，經(jīng)歷了種子輪,、股權(quán)融資,、A輪、七次定增,、戰(zhàn)略融資,、B輪等融資過程。背后的投資陣容囊括了水木創(chuàng)投,、中金公司,、大華大陸投資、渾璞投資,、紅星美凱龍,、國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金（下稱“國家大基金”）等一線機(jī)構(gòu)。

　　華卓精科曾登陸過新三板,，在公司掛牌新三板期間,，共實(shí)施了5次定向增發(fā)，合計(jì)定增募資總額約為1.42億元,。

　　破冰雙工件臺技術(shù),！

　　光刻機(jī)有三大核心部件，EUV光源,、雙工件臺,、光學(xué)鏡頭。其中技術(shù)壁壘最高,、制成難度最大的是雙工件臺,，成本占到整個(gè)光刻機(jī)成本的10%-20%。

　　此前，光刻機(jī)的雙工件臺技術(shù)被荷蘭的ASML公司一手壟斷,，而華卓精科攜手清華團(tuán)隊(duì)成功打破了雙工件臺技術(shù)壁壘,，成為了全球第二，全國第一家掌握掌握EUV光刻機(jī)雙工件臺技術(shù)的廠商,，實(shí)現(xiàn)了技術(shù),、雙工件臺零部件的完全自主化生產(chǎn)。

　　募資超7億,，加碼研發(fā)

　　華卓精科成立于2012年,，雖被譽(yù)為國產(chǎn)光刻機(jī)第一股，但公司不生產(chǎn)光刻機(jī)整機(jī),，而是聚焦EUV光刻機(jī)雙工件臺技術(shù),。

　　公司主要產(chǎn)品包括精密運(yùn)動系統(tǒng)、光刻機(jī)雙工件臺模塊,、靜電卡盤和隔振器等超精密測控設(shè)備部件以及晶圓級鍵合設(shè)備,、激光退火設(shè)備等超精密測控設(shè)備整機(jī)，以及上述部分主要產(chǎn)品的技術(shù)開發(fā)服務(wù),。

　　華卓精科本次擬發(fā)行股票不超過3200萬股,，募集資金約7.35億元，將用于半導(dǎo)體裝備關(guān)鍵零部件研發(fā)制造項(xiàng)目,、超精密測控產(chǎn)品長三角創(chuàng)新與研發(fā)中心建設(shè),、光刻機(jī)超精密位移測量及平面光柵測量技術(shù)研發(fā)項(xiàng)目等。