《電子技術(shù)應(yīng)用》
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芯片工藝的5nm和7nm是怎么來的?揭開芯片工藝和摩爾定律背后的“秘密”

2021-11-15
來源:EETOP
關(guān)鍵詞: 5nm 7nm 芯片工藝 摩爾定律

1:摩爾定律

1965年,,硅谷傳奇,仙童“八叛徒”之一,,英特爾原首席執(zhí)行官和榮譽(yù)主席,偉大的規(guī)律發(fā)現(xiàn)者戈登·摩爾正在準(zhǔn)備一個(gè)關(guān)于計(jì)算機(jī)存儲(chǔ)器發(fā)展趨勢(shì)的報(bào)告。

在他開始繪制數(shù)據(jù)時(shí),,發(fā)現(xiàn)了一個(gè)驚人的趨勢(shì)。

每個(gè)新的芯片大體上包含其前任兩倍的容量,,每個(gè)芯片產(chǎn)生的時(shí)間都是在前一個(gè)芯片產(chǎn)生后的18~24個(gè)月內(nèi),,如果這個(gè)趨勢(shì)繼續(xù),計(jì)算能力相對(duì)于時(shí)間周期將呈指數(shù)式的上升,。

 這個(gè)就是大名鼎鼎的摩爾定律,, 其對(duì)集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展描述,異乎尋常的正確,。

總結(jié)來說:

1:集成電路芯片(wafer)上所集成的電路的數(shù)目,,每隔18個(gè)月就翻一番。

2,、微處理器的性能每隔18個(gè)月提高一倍,,而價(jià)格下降一半。

3,、用一美元所能買到的計(jì)算機(jī)性能,,每隔18個(gè)月翻兩番。

 你可能覺得摩爾定律平平無奇,,只不過是一個(gè)總結(jié),?

其實(shí)這可以推導(dǎo)出了一個(gè)公式,那就是每18個(gè)月,,在芯片規(guī)模不變的情況下,,芯片面積減半。

這樣相同的大小的wafer,,可以生產(chǎn)出多一倍的芯片,。

 如果上一代工藝芯片面積是1mm2,在新工藝上,,面積就是新工藝的一半,,也就是0.5mm2。

我們假設(shè)兩代工藝wafer成本一樣(一般新工藝會(huì)貴一些),,那么采用新工藝,,其成本是原來工藝成本的一半。

這個(gè)就是摩爾定律揭示的現(xiàn)實(shí):

那就是,,采用新工藝的芯片,,面積更小,功耗更優(yōu),,頻率更高,,成本還更低,。

這個(gè)就是新工藝對(duì)老工藝降維式的打擊!

這些優(yōu)點(diǎn)和好處就是驅(qū)動(dòng)芯片工藝不斷進(jìn)步的發(fā)動(dòng)機(jī),。

也就是摩爾定律的內(nèi)涵,。

那如果芯片工藝進(jìn)步,每個(gè)晶體管的尺寸就會(huì)縮小,,那到底縮小多少,?

 微信截圖_20211115154608.png



如上圖所示,晶體管數(shù)量保持不變的情況下,, 下一代新工藝的芯片面積是上一代的一半,。

 那么X和Y什么關(guān)系。

如果我們按照正方形來計(jì)算的話,?

微信截圖_20211115154646.png


那么新工藝大約是老工藝晶體管尺寸的0.7倍,。

也就是晶體管會(huì)縮小0.7倍。

那根據(jù)摩爾定律,,我們利用初中數(shù)學(xué)知識(shí),,就能算出每一代工藝的進(jìn)步,從800nm開始(這個(gè)80586的工藝節(jié)點(diǎn)),。

微信截圖_20211115154723.png

 

 而芯片工藝的發(fā)展也印證了這一點(diǎn):

從0.8 μ m,、0.5 μ m、0.35 μ m,、0.25 μ m,、0 .18 μm、0.13 μ m,、90nm,、65nm、45nm,、32nm、22nm,、16nm,、10nm、7nm,,5nm,。

 實(shí)際的工藝節(jié)點(diǎn),符合了這個(gè)要求,。

摩爾定律和現(xiàn)在芯片制程完全吻合,。


神奇!


2:半節(jié)點(diǎn)

可能有些工藝制程知識(shí)的同學(xué)會(huì)說:

有點(diǎn)不對(duì)勁,,

這個(gè)圖里,,制程很火的40nm,,28nm,14nm跑哪里去了,。

對(duì),,這就涉及到一個(gè)芯片制造廠常用的手段。

shrink,。

我們都知道,,一個(gè)工藝節(jié)點(diǎn)研發(fā)成功后,其研發(fā)成本是很高的,。

如果可以在這個(gè)工藝節(jié)點(diǎn)上持續(xù)優(yōu)化,,面積,功耗等等,。

也是一種最大化利用原有投入的方式,。

就像intel就在14nm上做的一樣。

14nm+++

持續(xù)優(yōu)化,。

而我們今天講的shrink,,也是一種優(yōu)化。

它本質(zhì)上是利用光照(MASK)等比例縮放后,。晶體管尺寸縮小一點(diǎn),,芯片仍然能夠正常工作,從而減少芯片面積,,降低成本,。

那么shrink的比例是多少?

Shrink 一般可以將晶體管的尺寸縮小0.9倍,。

大約每個(gè)邊長縮放為0.9,;整體面積縮小0.81;

 這個(gè)過程又稱為,,芯片收縮(die shrink),。

然而,按比例縮小可能引入新的問題,,例如漏電流增大,,但是通過工藝參數(shù)可以來調(diào)節(jié)漏電,shrink在不改變工藝特性的基礎(chǔ)上,,修修補(bǔ)補(bǔ),,也能挖掘這個(gè)工藝節(jié)點(diǎn)的潛力。

這些shrink后的工藝節(jié)點(diǎn),,也被人稱為半節(jié)點(diǎn),。

例如:

 40nm是45nm shrink后的半節(jié)點(diǎn)。

 28nm是32nm  shrink后的半節(jié)點(diǎn)。

 20nm是22nm shrink后的半節(jié)點(diǎn),。

 14nm也可以看作16nm shrink后的半節(jié)點(diǎn),。

把前面的工藝,乘以0.9就可以了,。

DIE shrink是芯片制造廠家來做的,,和芯片設(shè)計(jì)公司沒有關(guān)系。

工程師設(shè)計(jì)完成的版圖都是 pre shrink的,,而到了廠家生產(chǎn)的時(shí)候,,直接進(jìn)行shrink,生成的die的面積比版本等比例縮小,。

所以我們現(xiàn)在芯片設(shè)計(jì)工程師,,做40nm或者28nm等半節(jié)點(diǎn)工藝時(shí),都有一個(gè)shrink的流程,。

會(huì)發(fā)現(xiàn),,芯片的版圖比實(shí)際的DIE的面積要大。

如果我們計(jì)算最后的DIE(芯片)面積,,實(shí)際上要算shrink之后的,,而不是版圖的面積。

 EDA工具標(biāo)注的都是shrink前(pre shrink)的面積,。

 那就是設(shè)計(jì)公司給了芯片制造廠一張10X10的設(shè)計(jì)圖紙,,而芯片廠生產(chǎn)的尺寸卻是9x9。

 具體DIE,,WAFER等定義,,不熟悉的同學(xué),可以參見老哥原來寫的的《人類高質(zhì)量芯片工程師的那些“黑話”》

 這些優(yōu)化后的,,40nm,,28nm等等,成為了更成熟和長壽的工藝,。

而原有的45nm,,32nm等,與優(yōu)化后的40nm,,28nm相比,,不再具有優(yōu)勢(shì),廠家不再推這些工藝工藝,。

 事實(shí)上,業(yè)界通常把45nm/40nm, 32nm/28nm, 22nm/20nm, 16nm/14nm 這些工藝節(jié)點(diǎn),,看作同一個(gè)工藝節(jié)點(diǎn),,是一代,只是廠家通過shrink這種手段,進(jìn)行的優(yōu)化,。

加上shrink以后,,我們看到目前的28nm,14nm,,10nm,,7nm,5nm都可以用摩爾定律上一節(jié)的初中數(shù)學(xué)知識(shí)算出來,。

 嚴(yán)絲合縫,,理論和實(shí)際吻合的很好。

 戈登.摩爾,,真神人也,!


3:柵極長度

 但是,事實(shí)果真如此嗎,?

 這些數(shù)字里面隱藏著一個(gè)極大的隱情,。

 我們來看一張圖:

 

 


大約從20世紀(jì)60年代到90年代末,節(jié)點(diǎn)的命名是基于它們的柵極長度命名的,。IEEE的此圖表顯示了以下關(guān)系,。

 柵極長度(gate length)和半節(jié)距(芯片上兩個(gè)相同特征之間的距離的一半)匹配工藝節(jié)點(diǎn)名稱,這個(gè)其實(shí)0.5um,,0.35um,,0.25um的一些命名的原因。

但是在28nm以下,,由于采用finfet這些新的技術(shù),,這些和實(shí)際的節(jié)點(diǎn)和柵極長度,以及半節(jié)距(half-pitch)就匹配不上了

 如果保持節(jié)點(diǎn)名稱和實(shí)際特征尺寸同步,,就會(huì)如紅線所示,。

 2015年前,芯片制造的最小工藝尺寸就會(huì)跌破1nm,。

 而實(shí)際上,,廠家暗渡陳倉了,

 而實(shí)際上,,整個(gè)工藝曲線更接近藍(lán)線所示,。

 你以為的7nm,5nm,,早已不是原來指的柵極長度(gate length),,或者(half-pitch)半節(jié)距。

那這個(gè)7nm,,5nm怎么來的,。

畫大餅來的!

畫大餅,這個(gè)你是不是比較熟,。

 公司的老板最擅長搞這個(gè),,畫大餅,或者叫畫路線圖(roadmap),。

 老板說:未來三年每年增長一倍,,今年銷售額1億,10年后就成為銷售千億公司,。

 關(guān)鍵是,,這玩意不能這么算,按照這么算,,幾十年后,,地球都成為你們公司的,你們銷售額也完不成,。

 那么芯片制造的大餅,,或者(roadmap)是怎么畫出來的?

由于半導(dǎo)體制造涉及巨大的資本支出和大量的長期研究,。從論文中引入新技術(shù)方法到大規(guī)模商業(yè)制造的平均時(shí)間約為10-15年,。

 幾十年前,半導(dǎo)體行業(yè)認(rèn)識(shí)到,,如果有一個(gè)節(jié)點(diǎn)介紹的總體路線圖以及這些節(jié)點(diǎn)將針對(duì)的功能尺寸,,這將對(duì)參與芯片流程的每個(gè)單位都用導(dǎo)引作用。

也就是說,,比如,,2025年,我們畫個(gè)大餅要搞1nm,,那么,,這個(gè)時(shí)候所需要光刻設(shè)備廠家,刻蝕設(shè)備廠家,,材料廠家,,研究機(jī)構(gòu)等等,都要瞄準(zhǔn)這個(gè)目標(biāo)來做,。

這個(gè)路線圖,,主要是“為大學(xué)、財(cái)團(tuán)和行業(yè)研究人員提供未來的主要參考,,以刺激各個(gè)技術(shù)領(lǐng)域的創(chuàng)新”,。

也就是說,要給芯片制造從業(yè)者畫一個(gè)大餅,。

 多年來,,國際半導(dǎo)體技術(shù)路線圖(ITRS)發(fā)布了該行業(yè)的總體路線圖,。這些路線圖延續(xù)了15年,為半導(dǎo)體市場設(shè)定了總體目標(biāo),。

ITRS就是畫大餅的人!

 那如何畫這個(gè)大餅(roadmap),?

當(dāng)然是摩爾定律,,也就是本文第一部分介紹的那樣。

摩爾定律這個(gè)就是這么粗暴,。

 一直從幾百nm,,干到5nm或者3nm。

 關(guān)鍵是,,數(shù)學(xué)可以這么算,,物理能這么搞嗎?

 這么搞,,是不是有點(diǎn)太草率了,。

 

4:營銷手段:寶馬5系和5nm

不久之后, ITRS(國際半導(dǎo)體技術(shù)路線圖)這個(gè)組織也明白了,,這么搞是不行的,。

不能把柵極長度(gate length)或半節(jié)距(half-pitch)與節(jié)點(diǎn)大小聯(lián)系起來的原因是:

 因此這些尺寸要么停止縮放,要么縮放得更慢了,。

粗暴的乘以0.7還能指望晶體管能工作,。

這種晶體管,工業(yè)界制造不出來,。

于是,,在2010年,ITRS將每個(gè)節(jié)點(diǎn)上的技術(shù),,統(tǒng)稱為“等效縮放”,。

也就是說,不用實(shí)際對(duì)應(yīng)上,,你覺得差不過就行,。

 也就是說,7nm,,5nm,,早已不是原來指的柵極長度(gate length),或者(half-pitch)半節(jié)距,。

 這種改變,,反應(yīng)了芯片制造業(yè)的現(xiàn)狀:

臺(tái)積電的Philip Wong在Hot Chips 31主旨演講中說:“它過去是技術(shù)節(jié)點(diǎn),節(jié)點(diǎn)編號(hào),,意味著一些東西,,晶圓上的一些功能,。”,。

 但是:“今天,,這些數(shù)字只是數(shù)字。它們就像汽車模型——就像寶馬5系或馬自達(dá)6,。數(shù)字是什么并不重要,,它只是下一項(xiàng)技術(shù)的目的地,它的名稱,。因此,,我們不要把節(jié)點(diǎn)的名稱與技術(shù)實(shí)際提供的相混淆?!?/span>

畫重點(diǎn):不要把節(jié)點(diǎn)的名稱和技術(shù)實(shí)際相混淆

5nm,,7nm這些和寶馬5,馬自達(dá)6沒有什么區(qū)別,。

這些只是營銷的手段而已,。

不是大眾要把這個(gè)名字相混淆。

而是這些芯片制造廠商,,搞這些營銷詞匯,,不就是想混淆工藝制程的節(jié)點(diǎn)和晶體管的實(shí)際尺寸嗎?

雖然摩爾定律這艘大船進(jìn)入淺水區(qū),快擱淺了,。

讓我們一起晃動(dòng)這艘大船,,假裝摩爾定律啟示的那樣繼續(xù)前進(jìn),

 所以英特爾就有人提出來了,。

不要扯,,5nm,7nm了,,直接比拼一下單位面積晶體管的數(shù)量好了,。

下面就是這個(gè)公式:

 微信截圖_20211115155018.png

英特爾的芯片制造專家Mark Bohr提出來的, 它認(rèn)為每個(gè)芯片制造商在提及工藝節(jié)點(diǎn)時(shí),,都應(yīng)披露其邏輯晶體管密度,,單位為MTr/mm2(每平方毫米數(shù)百萬個(gè)晶體管)

這個(gè)也就是解釋了,為什么英特爾的10nm和臺(tái)積電的7nm,,雖然看起來是兩代,,但是二者的晶體管密度基本一樣。

 但是,,這個(gè)公式太復(fù)雜了,。

怎么可能有7nm,5nm對(duì)大眾的宣傳效果好,。

但是,,實(shí)話實(shí)說,,英特爾本身自己在命名方案里面,也沒有真正遵循柵極長度(gate  length)的模型,。

從下表來看,,隨著工藝的進(jìn)步,玩家越來越少了,。

高端玩家就剩下了臺(tái)積電和三星,,還有一直要追趕的英特爾。

明年,,三星和臺(tái)積電的3nm都號(hào)稱要量產(chǎn)。

但是這一次,,我們應(yīng)該知道,,這個(gè)只是一代工藝代號(hào)而已,和3nm本身沒有太大的關(guān)系了,。

從7nm,,5nm,到3nm,。

摩爾定律不死,。

只是,

步履蹣跚,,垂垂老矣,。



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