《電子技術(shù)應(yīng)用》
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與ASML相比,,國產(chǎn)光刻機(jī),,達(dá)到了什么水平?

2021-12-12
來源:互聯(lián)網(wǎng)亂侃秀
關(guān)鍵詞: ASML 光刻機(jī) 芯片

眾所周知,,在芯片的制造過程中,,光刻機(jī)是最重要且必不可少的一種設(shè)備,從成本來看,,光刻機(jī)占所有芯片制造設(shè)備的22%左右,。

成本高,占比重還在其次,,最重要的是,,全球能夠制造光刻機(jī)的廠商并不多,也就那么幾家,,而用于10nm以下工藝的EUV光刻機(jī),,全球只有ASML一家能造。

這問題就嚴(yán)重了,意味著所有想生產(chǎn)10nm以下芯片的廠商,,必須找ASML買光刻機(jī),,買不到的話,在當(dāng)前的技術(shù)條件下,,就無法進(jìn)入到10nm,,這才是問題的根本。

因?yàn)榇蠹叶级脑?,我們是找ASML買不到EUV光刻機(jī)的,,所以大家都明白,國產(chǎn)光刻機(jī)必須崛起,,否則中國芯片產(chǎn)業(yè)無法崛起,。

那么問題就來了,目前國內(nèi)的光刻機(jī)水平,,究竟什么樣了,,與ASML相比,究竟差距有多大,?

先說說全球的光刻機(jī)格局,,目前全球光刻機(jī)市場基本都由荷蘭ASML,、日本尼康和佳能公司完全壟斷,,而國內(nèi)的上海微電子產(chǎn)的光刻機(jī),市場占有率基本可以忽略,,特別是在芯片制造光刻機(jī)這一塊,,更多用于封測、光刻膠生產(chǎn)等領(lǐng)域,。

2020年,,這三大廠商出貨光刻機(jī)413臺,增長15%,。ASML占258臺,,比例為62.47%;尼康31臺,,比例為7.51%,;佳能公司122臺,比例29.54%,。

而7nm及以下的EUV光刻機(jī),,只有ASML能生產(chǎn)。尼康的水平是生產(chǎn)浸入式光刻機(jī),,標(biāo)稱精度是28nm,,經(jīng)多重曝光,一般最多也只用于14nm。

而佳能生產(chǎn)的光刻機(jī),,標(biāo)稱精度是90nm,,經(jīng)多重曝光,最多也只用到28nm左右,,這就是這三大光刻機(jī)廠商的情況,。

而國內(nèi)最牛的是上海微電子,已公開量產(chǎn)的光刻機(jī)標(biāo)稱精度是90nm,,經(jīng)多重曝光,,最多也只用到28nm,與佳能一致,,但事實(shí)上沒人多重曝光這么來干,,因?yàn)槎嘀仄毓鈺悸曙@著降低,導(dǎo)致成本飆升,。

但之前有媒體報(bào)道稱,,上海微電子已經(jīng)在生產(chǎn)28nm的光刻機(jī),多重曝光光后生產(chǎn)7nm芯片,,預(yù)計(jì)在2021-2022年交付,,但沒具體的報(bào)道,所以不能亂說,。

所以當(dāng)前國內(nèi)明面上的光刻機(jī)水平就是90nm,,就算多重曝光,最多也就是28nm,,考慮到ASML的DUV光刻機(jī)是不受限的,, 估計(jì)沒誰買90nm的,來生產(chǎn)28nm,。所以,,差距真的是非常非常大。

事實(shí)上,,EUV光刻機(jī)一共有10多萬個(gè)零件,,而ASML有5000多供應(yīng)商,可見要生產(chǎn)一臺EUV光刻機(jī),,真的不容易,,但再難,這個(gè)關(guān)我們也必須沖過去,。


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