在經(jīng)過多年研究和設(shè)計之后，碳化硅（SiC）和氮化鎵 （GaN）功率器件正變得越來越實用。這些器件盡管性能很高,，但它們也帶來了許多挑戰(zhàn)，包括柵極驅(qū)動要求,。SiC要求的柵極電壓（Vgs）要高得多,，在負偏置電壓時會關(guān)閉,。GaN的閾值電壓（Vth）則低得多，要求嚴格的柵極驅(qū)動設(shè)計。寬帶隙（WBG）器件由于物理特點,，機身二極管壓降較高,，因此對空轉(zhuǎn)時間和打開/關(guān)閉跳變的控制要求要更嚴格。

　　準(zhǔn)確的電源和測量測試對表征這些高壓器件非常關(guān)鍵,，以便能夠及時制訂正確的設(shè)計決策,。提高設(shè)計裕量和過度設(shè)計只會推動成本上升，導(dǎo)致性能下降,。此外,，這些器件一般會涉及超過200 V的高壓，因此確保人身安全,，防止觸電非常關(guān)鍵,。

　　高壓器件測試

　　高壓半導(dǎo)體器件基本表征一般需要研究擊穿電壓和漏流。這兩個參數(shù)幫助器件設(shè)計人員迅速確定器件是否正確制造,，確定其能否有效地用于目標(biāo)應(yīng)用中,。

　　擊穿電壓測量

　　在測量擊穿電壓時，我們要對被測器件施加一個不斷提高的反向電壓,，直到達到一定的測試電流,，表明器件被擊穿。圖1是使用源測量單元（SMU）儀器在高壓二極管上進行擊穿測量,，比如使用Keithley 2470 高壓源表SourceMeter? SMU儀器,。注意SMU儀器怎樣連接到二極管的負極上應(yīng)用反向電壓。對高壓二極管,，使用安全三同軸電纜和正確接地的安全配線箱,。

　　圖1. 使用2470 高壓SMU儀器對高壓二極管進行的典型擊穿電壓測量。

　　在判斷擊穿電壓時,，一般會在遠高出被測器件預(yù)計額定值的水平上進行測量,，以保證被測器件強健可靠。SMU儀器（如2470擁有1100 V源功能）一般足夠高,，可以測試當(dāng)今SiC和GaN 器件及未來器件設(shè)計,。

　　人身安全考慮因素

　　圖2: 正確接地的測試夾具。            圖3: 安全互鎖連接在Keithley 2470 SMU儀器后面板上的位置,。

　　在進行高壓測試時,，人身安全至關(guān)重要，必須提前預(yù)防,，避免觸電：

　　·把被測器件（DUT）和任何暴露的連接密封在正確接地的夾具中,，如圖2所示的夾具。

　　·在理想情況下,，SMU儀器要有安全互鎖,，如圖3中的2470后面板所示,。2470可以完全互鎖，在互鎖無效（互鎖開關(guān)閉合）時高壓輸出會關(guān)閉,。SMU儀器的互鎖電路應(yīng)連接到正常開路的開關(guān),，只有在系統(tǒng)中的用戶接入點閉合時開關(guān)才會閉合，以保證操作人員不會接觸DUT的高壓連接,。例如,，一旦打開測試夾具蓋，開關(guān)/繼電器就會開路,，脫離2470 SMU的互鎖,。

　　·使用額定值達到系統(tǒng)最大電壓的電纜和連接器。吉時利TRX-1100 V高壓三同軸電纜是專為2470設(shè)計的,，滿足了當(dāng)今高壓安全標(biāo)準(zhǔn),。

　　·在處理通電元件上的高壓時，一直戴上正確的安全手套,，如圖4所示,。

　　圖4. 在處理通電元件上的高壓時使用正確的安全手套。

　　漏流測量

　　在典型的功率轉(zhuǎn)換應(yīng)用中,，半導(dǎo)體器件作為開關(guān)使用,。漏流測量表明了半導(dǎo)體接近理想開關(guān)的程度。此外,，在測量器件的可靠性時,，漏流測量用來表明器件劣化，預(yù)測器件的使用壽命,。

　　半導(dǎo)體研究人員正在尋找各種材料,，以制作質(zhì)量更高的開關(guān)，生產(chǎn)漏流很小的高功率器件,。SMU儀器（如Keithley 2470）提供了精密弱電測量功能,，測量分辨率最低可達10 fA。

　　在測量<1 μA電流時,，為了防止不想要的測量誤差,，可以使用三同軸電纜和靜電屏蔽裝置。三同軸電纜非常重要,，部分原因是它們允許承載來自電流測量儀器的保護端子,。保護功能消除了系統(tǒng)漏流影響，使其繞過測量端子,。使用靜電屏蔽裝置,，可以使靜電電荷避開測量端子。靜電屏蔽裝置是一種金屬配線箱,，放在電路和任何暴露的連接周圍,。安全測試配線箱可以作為靜電屏蔽裝置使用,。

　　使用Keithley 2470 SMU儀器和KickStart軟件表征SiC功率二極管，2470 SMU儀器與吉時利KickStart軟件相結(jié)合,，可以準(zhǔn)確安全地快速測試高壓半導(dǎo)體器件上的擊穿電壓和反向漏流。

　　如需了解這一組合怎樣成功地解決固有的挑戰(zhàn),，請下載應(yīng)用指南：使用Keithley 2470 SourceMeter?源測量單元（SMU）儀器和KickStart軟件在高壓半導(dǎo)體器件上進行擊穿和漏流測量,。

　　關(guān)于泰克科技

　　泰克公司總部位于美國俄勒岡州畢佛頓市，致力提供創(chuàng)新,、精確,、操作簡便的測試、測量和監(jiān)測解決方案,，解決各種問題,，釋放洞察力，推動創(chuàng)新能力,。70多年來,，泰克一直走在數(shù)字時代前沿。