近幾年，臺積電坐穩(wěn)晶圓代工龍頭老大,，在先進制程超越三星、英特爾等對手,，后來在 EUV（極紫外光）量產(chǎn)也領(lǐng)先,，技術(shù)上彎道超車英特爾。但臺積電前研發(fā)副總,、浸潤式微影之父林本堅日前回憶一段往事,，提到臺積電早年發(fā)展相當(dāng)艱辛，2002年英特爾號召業(yè)界成立EUV LCC聯(lián)盟,，臺積電也想加入,，但當(dāng)初只限6家廠商，最后一個名額被IBM搶走,，臺積電就被排除在外,，不過臺積電轉(zhuǎn)往浸潤式微影技術(shù)發(fā)展，后來EUV 量產(chǎn)領(lǐng)先,，甚至超車當(dāng)年成立聯(lián)盟的英特爾,。

財訊快報報導(dǎo)，林本堅日前受訪時表示,，2002年英特爾拉攏摩托羅拉,、AMD等公司成立EUV LCC聯(lián)盟,，希望大家共同出資研發(fā)EUV設(shè)備，并應(yīng)用于未來的40nm與60nm,。當(dāng)時臺積電也希望加入EUV聯(lián)盟,，但因當(dāng)初只限定6家廠商，IBM搶走最后一個名額,，臺積電無緣,，而被排擠在外。

林本堅表示,，臺積電無法參與EUV聯(lián)盟,，只好自己想辦法，轉(zhuǎn)而研發(fā)浸潤式（Immersion）微影技術(shù),，直到近幾年的5nm制程,，才采用艾司摩爾的EUV機臺設(shè)備。當(dāng)年EUV聯(lián)盟的半導(dǎo)體企業(yè)中,，除了英特爾之外,，其他5家已退出芯片制造，而截至目前為止,，英特爾尚未進入EUV量產(chǎn),，從先進制程技術(shù)來看，臺積電反而大幅超前,，穩(wěn)居全球晶圓代工一哥寶座,。

對于臺積電來說，現(xiàn)年79歲的前研發(fā)副總經(jīng)理林本堅是臺積電先進技術(shù)躍進重要推手,，他在IBM工作22年后,，選擇在美國自行創(chuàng)業(yè)將近10年，2000年在蔣尚義力邀下,，加入臺積電團隊,，并在2002年開始推動浸潤式微影技術(shù)，此項技術(shù)對全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)及臺積電先進制程貢獻極大,。