近幾年，臺(tái)積電坐穩(wěn)晶圓代工龍頭老大,，在先進(jìn)制程超越三星、英特爾等對(duì)手,，后來(lái)在 EUV（極紫外光）量產(chǎn)也領(lǐng)先,，技術(shù)上彎道超車(chē)英特爾。但臺(tái)積電前研發(fā)副總,、浸潤(rùn)式微影之父林本堅(jiān)日前回憶一段往事,，提到臺(tái)積電早年發(fā)展相當(dāng)艱辛，2002年英特爾號(hào)召業(yè)界成立EUV LCC聯(lián)盟,，臺(tái)積電也想加入,，但當(dāng)初只限6家廠商，最后一個(gè)名額被IBM搶走,，臺(tái)積電就被排除在外,，不過(guò)臺(tái)積電轉(zhuǎn)往浸潤(rùn)式微影技術(shù)發(fā)展，后來(lái)EUV 量產(chǎn)領(lǐng)先,，甚至超車(chē)當(dāng)年成立聯(lián)盟的英特爾,。

財(cái)訊快報(bào)報(bào)導(dǎo)，林本堅(jiān)日前受訪時(shí)表示,，2002年英特爾拉攏摩托羅拉,、AMD等公司成立EUV LCC聯(lián)盟，希望大家共同出資研發(fā)EUV設(shè)備,，并應(yīng)用于未來(lái)的40nm與60nm,。當(dāng)時(shí)臺(tái)積電也希望加入EUV聯(lián)盟，但因當(dāng)初只限定6家廠商,，IBM搶走最后一個(gè)名額,，臺(tái)積電無(wú)緣，而被排擠在外,。

林本堅(jiān)表示,，臺(tái)積電無(wú)法參與EUV聯(lián)盟，只好自己想辦法,，轉(zhuǎn)而研發(fā)浸潤(rùn)式（Immersion）微影技術(shù),，直到近幾年的5nm制程，才采用艾司摩爾的EUV機(jī)臺(tái)設(shè)備,。當(dāng)年EUV聯(lián)盟的半導(dǎo)體企業(yè)中,，除了英特爾之外，其他5家已退出芯片制造,，而截至目前為止,，英特爾尚未進(jìn)入EUV量產(chǎn),，從先進(jìn)制程技術(shù)來(lái)看，臺(tái)積電反而大幅超前,，穩(wěn)居全球晶圓代工一哥寶座,。

對(duì)于臺(tái)積電來(lái)說(shuō)，現(xiàn)年79歲的前研發(fā)副總經(jīng)理林本堅(jiān)是臺(tái)積電先進(jìn)技術(shù)躍進(jìn)重要推手,，他在IBM工作22年后,，選擇在美國(guó)自行創(chuàng)業(yè)將近10年，2000年在蔣尚義力邀下,，加入臺(tái)積電團(tuán)隊(duì),，并在2002年開(kāi)始推動(dòng)浸潤(rùn)式微影技術(shù)，此項(xiàng)技術(shù)對(duì)全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)及臺(tái)積電先進(jìn)制程貢獻(xiàn)極大,。