我們之前的文章系統(tǒng)性介紹了“厚膜光刻”或“厚膜光蝕”（Thick Film Lithography）工藝的技術(shù)原理,，并且通過現(xiàn)有成熟量產(chǎn)案例說明了該工藝與低溫共燒陶瓷（LTCC）技術(shù)的完美應(yīng)用匹配性及優(yōu)勢,，以及上世紀末已在PDP（等離子顯示板）制造中的創(chuàng)新應(yīng)用。

簡單概括,，“厚膜光刻”工藝是一種通過厚膜金屬化技術(shù)（簡稱“厚膜技術(shù)”）與光刻技術(shù)相結(jié)合,，達到高精度,、低成本,、高效率,、高靈活性，并已開始成熟商用化的新型微納量產(chǎn)制造技術(shù),。“厚膜光刻”本質(zhì)上是精度升級后的厚膜技術(shù),，也是印刷電子領(lǐng)域的尖端技術(shù)之一,，“厚膜光刻”技術(shù)做為厚膜技術(shù)的重要組成部分，成功彌補了傳統(tǒng)的絲網(wǎng)印刷厚膜技術(shù)難以量產(chǎn)小于75um線寬的缺陷,，使厚膜技術(shù)的量產(chǎn)能力完整覆蓋1um－100um區(qū)間,。

厚膜技術(shù)因其高可靠性和高性能在汽車領(lǐng)域、消費電子,、通信工程,、醫(yī)療設(shè)備、航空航天等尖端產(chǎn)業(yè)中一直有大范圍的應(yīng)用,。例如：開關(guān)穩(wěn)壓電源電路,、視放電路、幀輸出電路,、電壓設(shè)定電路,、高壓限制電路，飛行器的通信,、電視,、雷達,、遙感和遙測系統(tǒng),，發(fā)電機電壓調(diào)節(jié)器,、電子點火器和燃油噴射系統(tǒng)，磁學(xué)與超導(dǎo)膜式器件,、聲表面波器件,、膜式敏感器件等,。

在厚膜技術(shù)中，通常用的是絲網(wǎng)印刷工藝,，印刷用電子漿料或?qū)щ娔炔牧鲜钦坠に嚰夹g(shù)的核心所在,。在電子工業(yè)制造中應(yīng)用了絲網(wǎng)印刷技術(shù)的有：電阻芯片、微電子電路和封裝,、電阻傳感器,、加熱器、生物傳感器的電極和零件,、射頻無源器件,、混合集成電路、光電顯示等等（參見下表）,。

絲網(wǎng)印刷是印刷電子領(lǐng)域普及最廣的技術(shù)路徑,，當高速印刷技術(shù)無法處理導(dǎo)電油墨或者鍍膜技術(shù)無法一次性生產(chǎn)出足夠厚的層以滿足所需的電導(dǎo)性等情況下，基于絲網(wǎng)印刷的厚膜技術(shù)會提供更有效的導(dǎo)電圖案制作方法,，因此絲網(wǎng)印刷往往也是印刷電子制造的首選方案,。但制造精度不高一直是絲網(wǎng)印刷亟待解決的痛點。

“厚膜光刻”（Thick Film Lithography）作為印刷電子的新興技術(shù),，兼容了光刻技術(shù)的高精度同時也兼容了絲網(wǎng)印刷技術(shù)的靈活性和廣范適應(yīng)性,，是印刷電子領(lǐng)域中為數(shù)極少的成熟商用化高精度技術(shù)路徑，這一技術(shù)的快速商用化,，將大幅加速印刷電子領(lǐng)域的各產(chǎn)業(yè)方向全面進化和升級,。