《電子技術(shù)應(yīng)用》
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為讓中國,、日本廠商生產(chǎn)不出EUV光刻機,,ASML設(shè)了好幾道坎

2022-01-26
來源:互聯(lián)網(wǎng)亂侃秀

EUV光刻機有多重要,,相信了解芯片產(chǎn)業(yè)的人都清楚的,因為只要進入芯片7nm工藝就必須用EUV光刻機,。

而EUV光刻機目前只有ASML一家能夠生產(chǎn),,其它的光刻機廠商,像日本的尼康,、佳能,,中國的上海微電子都無法生產(chǎn)。

那么問題就來了,,如果說上海微電子起步晚,,技術(shù)有點落后,還生產(chǎn)不了EUV光刻機,,那為何歷史比ASML更久的尼康,、佳能,它們各種技術(shù),、設(shè)備也不受限,,為何也生產(chǎn)不了EUV光刻機,?

原因在于ASML在生產(chǎn)出EUV光刻機后,給其它廠商設(shè)了幾道坎,,這幾道坎就限制住了其它廠商順利的生產(chǎn)EUV光刻機來,。

EUV光刻機有三大核心技術(shù),一塊是曝光光源,,也就是極紫外線的產(chǎn)生,。第二塊就是對準(zhǔn)系統(tǒng),也就是如何將產(chǎn)生的紫外線收集起來,。第三部分才是光刻等技術(shù)的整合,。

在第一部分、第二部分這里,,ASML是設(shè)置了坎的,,其它廠商如果突破不了這個坎,就生產(chǎn)不了EUV光刻機出來,。

先說是曝光光源,,也就是極紫外線,這里ASML先是收購了美國企業(yè)Cymer,,后來又與德國的TRUMPF獨家合作,,這就保證了EUV光線的產(chǎn)生技術(shù)只有ASML有,不向ASML之外的廠商提供,。

再說說對準(zhǔn)系統(tǒng),,就是將產(chǎn)生的紫外線收集,這里是德國的蔡司半導(dǎo)體提供整體的方案,,還提供后續(xù)所有鏡頭,而ASML與蔡司在這一塊也是獨家合作,,蔡司不向另外的企業(yè)提供這項技術(shù),,而目前沒有任何其它廠商能夠達到蔡司的這個水平。

所以從第一,、二部分就注定了EUV光刻技術(shù),,暫時只能掌握在ASML手中,除非其它企業(yè)在這兩塊,,能夠達到TRUMPF,、蔡司的技術(shù),但目前還真沒有,。

此外,,在下游廠商上,ASML也是將臺積電,、三星,、英特爾變成了股東,,這樣保證了這些廠商買EUV光刻機,只從ASML買,,畢竟大家需求有限,,EUV光刻機市場就這么大。

所以ASML就是先從上游的供應(yīng)鏈,,將技術(shù)掌握在自己手中,,讓其它光刻機廠商得不到技術(shù),生產(chǎn)不出EUV光刻機,。

然后再從下游客戶,,將客戶掌握在自己手中,讓其它光刻機廠商不敢輕易生產(chǎn)EUV光刻機,,因為去掉這些主要客戶后,,市場需求就不太夠了,就算其它廠商最終生產(chǎn)EUV光刻機也是虧本生意,,所以兩方面著手,,設(shè)置了幾道坎,讓EUV光刻機只有自己能生產(chǎn),。




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