《電子技術(shù)應(yīng)用》
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?從ASML年報(bào)看半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的未來(lái)

2022-02-16
來(lái)源: 半導(dǎo)體行業(yè)觀察
關(guān)鍵詞: ASML 半導(dǎo)體 EUV光刻機(jī)

  在前幾天的文章《光刻機(jī)巨頭ASML的十年變遷》中,筆者梳理了ASML近10年來(lái)的財(cái)報(bào)數(shù)據(jù),介紹了其EUV/DUV光刻機(jī)出貨量,、年銷(xiāo)售額、研發(fā)投入以及各地區(qū)的銷(xiāo)售情況等,。

  近日,ASML又公布了2021年年報(bào),我們一起來(lái)看看其中有哪些看點(diǎn)和值得關(guān)注的話(huà)題。

  下一代EUV光刻機(jī)何時(shí)問(wèn)世,?

  在過(guò)去的40年里,我們逐漸從個(gè)人電腦和移動(dòng)設(shè)備時(shí)代進(jìn)化到云時(shí)代,,我們生活的幾乎每個(gè)方面都在網(wǎng)上存儲(chǔ)和管理,。ASML CTO Martin van den Brink表示,數(shù)字化未來(lái)的下一步將是分布式智能,,由通信、計(jì)算和人工智能的無(wú)縫集成驅(qū)動(dòng),,所有這些趨勢(shì)都要求更高的計(jì)算能力,,這反過(guò)來(lái)又加速了對(duì)更強(qiáng)大、更節(jié)能的微芯片的需求,。

  隨著芯片工藝制程的不斷演進(jìn),,芯片的制造變得越來(lái)越復(fù)雜。當(dāng)今最先進(jìn)的處理器基于Logic N5節(jié)點(diǎn)(5nm),,包含數(shù)十億個(gè)晶體管,。下一代芯片設(shè)計(jì)將包括更先進(jìn)的材料、新的封裝技術(shù)和更復(fù)雜的3D設(shè)計(jì),。

  而光刻技術(shù)是制造性能更強(qiáng)大,、成本更便宜芯片的推動(dòng)力。ASML的目標(biāo)一直是減少芯片工藝的臨界尺寸,,其整體光刻產(chǎn)品組合(EUV,、ArFi、ArF,、KrF和i-line系統(tǒng)等)有助于優(yōu)化生產(chǎn),,并通過(guò)將光刻系統(tǒng)與計(jì)算建模、計(jì)量和檢測(cè)解決方案集成,,幫助優(yōu)化生產(chǎn)并實(shí)現(xiàn)成本的降低,。

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  半導(dǎo)體制造工藝(圖源:ASML)

  光刻系統(tǒng)所能達(dá)到的分辨率是光刻收縮的主要驅(qū)動(dòng)因素之一,,它主要由所用光的波長(zhǎng)和光學(xué)系統(tǒng)的數(shù)值孔徑?jīng)Q定。更短的波長(zhǎng)就像用于繪畫(huà)的更細(xì)的刷子,,可以打印出更小的特征,。更大的數(shù)值孔徑可以更緊密地聚焦光線(xiàn),也能夠帶來(lái)更好的分辨率,。

  ASML光刻系統(tǒng)的發(fā)展一直是通過(guò)減少波長(zhǎng)和增加數(shù)值孔徑來(lái)進(jìn)行演進(jìn),。多年來(lái),ASML做了幾個(gè)波長(zhǎng)步長(zhǎng),,DUV光刻系統(tǒng)范圍從365 nm (i-line),, 248 nm (KrF)到193 nm (ArF) ,而EUV光刻機(jī)的光波波長(zhǎng)僅為13.5nm,。

  NA是光學(xué)系統(tǒng)的數(shù)值孔徑,,表示光線(xiàn)的入射角度。使用更大的NA透鏡可以打印出更小的結(jié)構(gòu),。除了更大的透鏡外,,ASML還通過(guò)在最后一個(gè)透鏡元件和晶圓之間保持一層水薄膜來(lái)增加ArF系統(tǒng)的NA(即所謂的浸泡系統(tǒng))。在波長(zhǎng)步進(jìn)到EUV之后,,ASML正在開(kāi)發(fā)下一代EUV系統(tǒng),,稱(chēng)為EUV 0.55 NA (HighNA),將數(shù)值孔徑從0.33提高到0.55,。

  TWINSCAN NXE:3600D是ASML最新一代EUV 0.33 NA光刻系統(tǒng),。與其前身TWINSCAN NXE:3400C相比,能夠提供15%至20%的生產(chǎn)力改進(jìn)能力和約30%的覆蓋改進(jìn),,支持5nm和3nm邏輯節(jié)點(diǎn)和領(lǐng)先DRAM節(jié)點(diǎn)的EUV量產(chǎn),。

  年報(bào)中指出,EUV產(chǎn)品路線(xiàn)圖將幫助ASML在未來(lái)10年里實(shí)現(xiàn)設(shè)備價(jià)格合理的擴(kuò)展,。ASML的EUV 0.33 NA平臺(tái)擴(kuò)展了客戶(hù)的邏輯和DRAM路線(xiàn)圖,,使用EUV制造芯片有助于減少40%的關(guān)鍵光刻掩模量和30%的工藝步驟,幫助客戶(hù)顯著的減少了成本和周期時(shí)間,。

  有數(shù)據(jù)顯示,,自EUV推出以來(lái)至2021年底,ASML的EUV光刻機(jī)生產(chǎn)了超過(guò)5900萬(wàn)片晶圓,,2020年底這一數(shù)字為2600萬(wàn)片,。可見(jiàn)EUV光刻機(jī)當(dāng)前正處于快速起量階段,,ASML預(yù)計(jì),,EUV的采用將繼續(xù)增長(zhǎng),到2024年所有先進(jìn)節(jié)點(diǎn)芯片制造商預(yù)計(jì)將在生產(chǎn)中使用EUV,。

  下一代EUV 0.55 NA平臺(tái)將繼續(xù)為未來(lái)節(jié)點(diǎn)實(shí)現(xiàn)經(jīng)濟(jì)高效的擴(kuò)展,,具有更高數(shù)值孔徑的新型光學(xué)設(shè)計(jì),,有望使芯片尺寸減小1.7倍,進(jìn)一步提高分辨率,,并將微芯片密度提高近3倍,。第一個(gè)EUV 0.55 NA平臺(tái)早期接入系統(tǒng)預(yù)計(jì)將在2023年投入使用,預(yù)計(jì)客戶(hù)將在2024-2025年開(kāi)始研發(fā),,2025-2026年進(jìn)入客戶(hù)的大批量生產(chǎn),。

  光刻設(shè)備的“主力軍”

  光刻系統(tǒng)本質(zhì)上是一種投影系統(tǒng),光線(xiàn)投射到將要被打印的圖案上(稱(chēng)為“蒙版”或“掩膜”),。通過(guò)在光中編碼圖案,,系統(tǒng)的光學(xué)系統(tǒng)收縮并將圖案聚焦到光敏硅片上。在圖案印好后,,系統(tǒng)輕微移動(dòng)晶圓,,在晶圓上制作另一份副本。

  這個(gè)過(guò)程重復(fù)進(jìn)行,,直到晶圓被圖案覆蓋,,完成晶圓的一層。為了制造一個(gè)完整的芯片,,這個(gè)過(guò)程要一層一層地重復(fù),,把圖案疊加起來(lái),形成一個(gè)集成電路(IC),。目前,,最簡(jiǎn)單的芯片有40層左右,而復(fù)雜的芯片可以達(dá)到150層以上,。

  當(dāng)前,DUV光刻系統(tǒng)仍是業(yè)界的主力,。DUV系統(tǒng)支持眾多的細(xì)分市場(chǎng),,在當(dāng)今客戶(hù)設(shè)備中負(fù)責(zé)打印大多數(shù)層,并將在未來(lái)的設(shè)備中保持重要地位,。

  半導(dǎo)體行業(yè)目前使用的DUV分為浸沒(méi)式和干式光刻解決方案,,i-line采用365 nm波長(zhǎng),KrF采用248 nm波長(zhǎng),,ArF采用193 nm波長(zhǎng),,這些系統(tǒng)有助于制造廣泛的半導(dǎo)體節(jié)點(diǎn)和技術(shù),并支持行業(yè)的成本和節(jié)能擴(kuò)展,。

  ASML的DUV浸沒(méi)式和干式系統(tǒng)在生產(chǎn)率,、成像和覆蓋性能方面領(lǐng)先業(yè)界,可結(jié)合EUV技術(shù)大批量生產(chǎn)最先進(jìn)的邏輯和內(nèi)存芯片,,同時(shí)繼續(xù)為成熟節(jié)點(diǎn)和小批量應(yīng)用提供價(jià)值,。

  ArF浸沒(méi)式光刻在透鏡和晶圓之間保持一層水薄膜,,增加NA并提高分辨率以支持進(jìn)一步的收縮。ASML的浸沒(méi)系統(tǒng)適用于單曝光和多圖案光刻,,可與EUV系統(tǒng)無(wú)縫結(jié)合,,用于打印同一芯片的不同層。TWINSCAN NXT:2050i是ASML目前最先進(jìn)的浸沒(méi)式系統(tǒng),,目前正用于5nm邏輯和第四代10nm DRAM節(jié)點(diǎn)的大批量生產(chǎn),。

  然而,并非芯片上的每一層都需要最新和最大的浸入式光刻系統(tǒng)來(lái)生產(chǎn),,先進(jìn)或復(fù)雜的層可以使用先進(jìn)的光刻系統(tǒng)來(lái)打印,,但其他層通常可以使用“老式”技術(shù),,如干式光刻系統(tǒng)來(lái)打印,。ASML的干式系統(tǒng)產(chǎn)品組合為客戶(hù)提供了各種波長(zhǎng)的更經(jīng)濟(jì)的解決方案。

  TWINSCAN NXT:1470是ASML最新的干式ArF光刻系統(tǒng),,提供每小時(shí)300片晶圓的記錄生產(chǎn)力,,具有4nm覆蓋能力;TWINSCAN XT:86ON是新一代KrF系統(tǒng),,具有0.80 NA的分辨率,,支持大容量200mm和300mm晶圓生產(chǎn),以及低于110nm的分辨率,;對(duì)于更關(guān)鍵的KrF層,,0.93 NA TWINSCAN XT:1060K是其最先進(jìn)的KrF光刻系統(tǒng),在80nm及以下提供一流的分辨率和覆蓋,。

  ASML CEO...表示,,我們今天看到的行業(yè)市場(chǎng)增長(zhǎng),不僅存在于最先進(jìn)的節(jié)點(diǎn)上,,許多分布式計(jì)算和存儲(chǔ)解決方案都需要成熟的光刻技術(shù)來(lái)制造,。預(yù)計(jì)到2025年,ASML系統(tǒng)總銷(xiāo)量的三分之二將是EUV,,其余將是DUV和計(jì)量檢測(cè)系統(tǒng),。這一預(yù)期比例低于我們?cè)?018年的預(yù)測(cè),但這并不意味著EUV市場(chǎng)出現(xiàn)萎縮,,而是DUV和計(jì)量檢測(cè)市場(chǎng)比預(yù)計(jì)的增速更快,。

  未來(lái)的半導(dǎo)體動(dòng)力是什么?

  哪些因素正在塑造半導(dǎo)體行業(yè)的格局,?推動(dòng)當(dāng)前和未來(lái)行業(yè)發(fā)展的主要趨勢(shì)是什么,?

  ASML認(rèn)為,不斷增長(zhǎng)的消費(fèi)需求,、全球人才競(jìng)賽,、地緣政治因素,、擴(kuò)大研發(fā)投資以及不斷變化的外部環(huán)境和采取行動(dòng)應(yīng)對(duì)氣候變化等因素正在重塑半導(dǎo)體行業(yè)格局。

  •  不斷增長(zhǎng)的消費(fèi)需求:無(wú)線(xiàn)通信,、電信,、媒體和云通過(guò)連接設(shè)備的融合繼續(xù)推動(dòng)全球?qū)ο冗M(jìn)半導(dǎo)體的需求,不斷增長(zhǎng)的人口和城市化正在增加對(duì)先進(jìn)消費(fèi)電子設(shè)備的需求,。芯片作為這些設(shè)備的核心,,新興技術(shù)的不斷發(fā)展和要求正在成為芯片的重要增長(zhǎng)驅(qū)動(dòng)力。

  • 全球人才競(jìng)賽:擁有技術(shù)背景的高技能人才在勞動(dòng)力市場(chǎng)上非常稀缺,,競(jìng)爭(zhēng)也在加劇,。行業(yè)公司正試圖為增長(zhǎng)增加人手,但高科技人才資源池卻很淺,,該行業(yè)在爭(zhēng)奪一小部分具備開(kāi)發(fā)創(chuàng)新解決方案技能的科學(xué)家,、工程師和軟件開(kāi)發(fā)人員。全球?qū)θ瞬诺臓?zhēng)奪正變得越來(lái)越關(guān)鍵,。STEM職位的數(shù)量預(yù)計(jì)將大幅增長(zhǎng),,但由于合格候選人的短缺,填補(bǔ)這些職位頗具挑戰(zhàn)性,。留住人才已成為科技公司的關(guān)鍵,。

  • 全球地緣政治:目前的貿(mào)易環(huán)境給全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)帶來(lái)了巨大的挑戰(zhàn),貿(mào)易緊張和保護(hù)主義的加劇可能會(huì)繼續(xù)下去,。這場(chǎng)全球蔓延的疫情提醒世界各國(guó)政府,,全球供應(yīng)鏈可能會(huì)對(duì)服務(wù)、原材料和最終產(chǎn)品產(chǎn)生重大的地理依賴(lài),。

  半導(dǎo)體在大型工業(yè)聯(lián)合體的成長(zhǎng)和連續(xù)性中發(fā)揮著越來(lái)越重要的作用,,各國(guó)政府已將注意力轉(zhuǎn)向半導(dǎo)體供應(yīng)鏈以確保供應(yīng)充足,并計(jì)劃對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)進(jìn)行大規(guī)模投資,。根據(jù)外部數(shù)據(jù),,美國(guó)、中國(guó),、歐盟、日本和韓國(guó)預(yù)計(jì)使該行業(yè)2021年的年度資本支出增加近一倍,,達(dá)到1500億美元,。除了財(cái)務(wù)方面的影響,貿(mào)易緊張和保護(hù)主義也給整個(gè)供應(yīng)鏈及其過(guò)程帶來(lái)了巨大的復(fù)雜性,,迫使該行業(yè)重新審視其全球供應(yīng)鏈,。

  • 擴(kuò)大研發(fā)投資:在快速發(fā)展的半導(dǎo)體行業(yè)中,獲取最新的技術(shù),、芯片設(shè)計(jì)和制造工藝是競(jìng)爭(zhēng)的基礎(chǔ),。芯片制造商面臨的支持應(yīng)用和終端市場(chǎng)正變得越來(lái)越復(fù)雜,,同時(shí),隨著科技平臺(tái)公司逐漸轉(zhuǎn)向內(nèi)部芯片設(shè)計(jì),,傳統(tǒng)半導(dǎo)體公司面臨著多元化投資組合的挑戰(zhàn),。

  此外,執(zhí)行創(chuàng)新的增量成本正在上升,,需要更高水平的研發(fā)投資來(lái)實(shí)現(xiàn)同樣的目標(biāo),。讓產(chǎn)品更快地進(jìn)入市場(chǎng)至關(guān)重要,否則芯片制造商將面臨錯(cuò)失良機(jī)的風(fēng)險(xiǎn),。因此,,盡快向客戶(hù)提供解決方案的壓力正在增加。

  • 不斷變化的環(huán)境:為了利用人工智能,、物聯(lián)網(wǎng),、5G和自動(dòng)駕駛汽車(chē)等大趨勢(shì)的融合,該行業(yè)正在大量投資于能夠釋放整個(gè)投資組合價(jià)值的資產(chǎn),。

  全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)近年來(lái)呈現(xiàn)出巨大的增長(zhǎng),,預(yù)計(jì)這一趨勢(shì)將持續(xù)下去。該行業(yè)正重新聚焦于提高核心競(jìng)爭(zhēng)力的技術(shù)和市場(chǎng)領(lǐng)域,。集中在新興技術(shù)上的合并,、收購(gòu)和合資企業(yè)預(yù)計(jì)將成為芯片市場(chǎng)戰(zhàn)略的關(guān)鍵組成部分。

  • 采取行動(dòng)應(yīng)對(duì)氣候變化:氣候變化在世界各地都是一個(gè)緊迫的問(wèn)題,。這是一項(xiàng)全球性挑戰(zhàn),, 半導(dǎo)體制造過(guò)程消耗了大量的能源和水資源。隨著摩爾定律的發(fā)展,,芯片計(jì)算能力和存儲(chǔ)容量的提高會(huì)加大對(duì)這些資源的需求,。為了提高能源和水資源的利用效率,需要新的設(shè)備和看待整個(gè)生態(tài)系統(tǒng)的新方式,。為了迎接這些挑戰(zhàn),,半導(dǎo)體行業(yè)必須降低功耗。

  對(duì)此,,ASML提到,,由于DUV和EUV平臺(tái)具有通用性,因此可以更快,、更具成本效益的進(jìn)行創(chuàng)新,、生產(chǎn)和維護(hù)。ASML正在對(duì)產(chǎn)品的能源效率進(jìn)行投資,,幫助降低生產(chǎn)晶圓所需的能源,。此外,ASML還有一個(gè)致力于減少浪費(fèi)的路線(xiàn)圖,與客戶(hù)和供應(yīng)商合作在其價(jià)值鏈中盡可能地重復(fù)使用零部件,、工具和包裝,,以防止不必要的浪費(fèi)。

  另外,,從ASML對(duì)整個(gè)行業(yè)當(dāng)前市場(chǎng)規(guī)模和市場(chǎng)機(jī)會(huì)的展望來(lái)看,,不同細(xì)分應(yīng)用市場(chǎng)的驅(qū)動(dòng)因素也正在塑造半導(dǎo)體行業(yè)的格局,成為當(dāng)前和未來(lái)推動(dòng)行業(yè)發(fā)展的主要趨勢(shì),。

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  ASML業(yè)績(jī)?cè)鲩L(zhǎng)背后

  受全球芯片短缺,、數(shù)字基礎(chǔ)設(shè)施加速和“技術(shù)主權(quán)”推動(dòng),導(dǎo)致市場(chǎng)對(duì)先進(jìn)和成熟節(jié)點(diǎn)的需求強(qiáng)勁增長(zhǎng),。2021年,,ASML的凈銷(xiāo)售額創(chuàng)下了186億歐元的紀(jì)錄,比去年增加了46億歐元,。

  ASML CFO Roger Dassen表示,,因?yàn)榭蛻?hù)繼續(xù)對(duì)先進(jìn)和成熟節(jié)點(diǎn)的強(qiáng)勁需求,2021年邏輯系統(tǒng)的銷(xiāo)售額增長(zhǎng)了22億歐元,,增幅達(dá)30%,;由于終端市場(chǎng)對(duì)服務(wù)器和智能手機(jī)的強(qiáng)勁需求,內(nèi)存系統(tǒng)銷(xiāo)售額增長(zhǎng)了11億歐元,,增幅達(dá)39%,。

  凈銷(xiāo)售額的增長(zhǎng)是由ASML所有技術(shù)的強(qiáng)勁需求推動(dòng)的。ASML在2021年成功出貨了42套EUV系統(tǒng),,包括26臺(tái)用于大批量生產(chǎn)的第一個(gè)NXE:3600D,。這使得EUV系統(tǒng)在2021年的收入達(dá)到63億歐元,比2020年增加了18億歐元,。

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  所有技術(shù)的強(qiáng)勁需求推動(dòng)了凈銷(xiāo)售額的增長(zhǎng)(單位:百萬(wàn)歐元)

  DUV系統(tǒng)銷(xiāo)量也從2020年的227臺(tái)增加到2021年的267臺(tái),。除了EUV和DUV的增長(zhǎng),服務(wù)和現(xiàn)場(chǎng)選擇的銷(xiāo)售也是ASML整體凈銷(xiāo)售增長(zhǎng)的關(guān)鍵驅(qū)動(dòng)力,,這一增長(zhǎng)是由生產(chǎn)率,、覆蓋和升級(jí)包銷(xiāo)售的增長(zhǎng)所驅(qū)動(dòng),這為快速增加晶圓產(chǎn)量提供了最有效和高效的方式,,并得到了不斷增長(zhǎng)的安裝基礎(chǔ)的支持,。

  為了滿(mǎn)足客戶(hù)對(duì)額外晶圓產(chǎn)能的需求,ASML加快了生產(chǎn)能力升級(jí)的交付,,甚至在正常的工廠驗(yàn)收測(cè)試(FAT)完成之前發(fā)貨,,在客戶(hù)工廠完成驗(yàn)收測(cè)試來(lái)加快系統(tǒng)的交付。

  不難看到,,正在進(jìn)行的數(shù)字化轉(zhuǎn)型和當(dāng)前的芯片短缺進(jìn)一步推動(dòng)了ASML提高產(chǎn)能的需求,一方面,在數(shù)字轉(zhuǎn)換和分布式計(jì)算的驅(qū)動(dòng)下,,對(duì)先進(jìn)和成熟節(jié)點(diǎn)的邏輯需求繼續(xù)強(qiáng)勁,;另一邊,受服務(wù)器和智能手機(jī)終端市場(chǎng)需求的推動(dòng),,內(nèi)存需求持續(xù)增長(zhǎng),。為了滿(mǎn)足DRAM和NAND的強(qiáng)勁需求增長(zhǎng),客戶(hù)將增加產(chǎn)能并繼續(xù)進(jìn)行節(jié)點(diǎn)遷移,。隨著客戶(hù)遷移到更高級(jí)的節(jié)點(diǎn),,ASML預(yù)計(jì)EUV對(duì)內(nèi)存的需求會(huì)繼續(xù)增加。

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  2019-2021年ASML來(lái)自邏輯和內(nèi)存市場(chǎng)以及安裝基礎(chǔ)的營(yíng)收數(shù)據(jù)(單位:百萬(wàn)歐元)

  在研發(fā)投入方面,,2021年ASML的研發(fā)成本為25.47億歐元,,相較于2020年22.08億歐元的投入,這些增加的投資涉及整體光刻解決方案的EUV,、DUV和應(yīng)用程序項(xiàng)目,,其中最重要的投資用于繼續(xù)加強(qiáng)EUV大批量生產(chǎn)的路線(xiàn)圖,以及EUV 0.55 NA的開(kāi)發(fā),。

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  2020-2021年ASML研發(fā)投入(單位:百萬(wàn)歐元)

  ASML預(yù)計(jì),,受健康的邏輯需求和內(nèi)存市場(chǎng)增長(zhǎng)的推動(dòng),預(yù)計(jì)2022年凈銷(xiāo)售額將比2021年增長(zhǎng)約20%,。預(yù)期的增長(zhǎng)是由所有平臺(tái)的銷(xiāo)量增長(zhǎng)以及安裝基礎(chǔ)業(yè)務(wù)的增長(zhǎng)所推動(dòng)的:

  邏輯芯片部分:不斷擴(kuò)大的應(yīng)用空間和長(zhǎng)期的增長(zhǎng)動(dòng)力轉(zhuǎn)化為對(duì)高級(jí)和成熟節(jié)點(diǎn)的強(qiáng)勁需求,。隨著需求的持續(xù)強(qiáng)勁,預(yù)計(jì)邏輯系統(tǒng)的收入將同比增長(zhǎng)20%以上,;

  內(nèi)存方面:隨著系統(tǒng)利用率的提高,,結(jié)合客戶(hù)正在進(jìn)行技術(shù)轉(zhuǎn)型,以支持預(yù)計(jì)的增長(zhǎng),。預(yù)計(jì)還需要額外的產(chǎn)能增加,,因此,2022年內(nèi)存市場(chǎng)對(duì)光刻設(shè)備的需求強(qiáng)勁,,系統(tǒng)收入將同比增長(zhǎng)25%左右,;

  EUV設(shè)備:隨著客戶(hù)對(duì)EUV的采用以及信心的增加,2022年預(yù)計(jì)將發(fā)貨約55個(gè)EUV系統(tǒng)(其中6個(gè)系統(tǒng)的收入將推遲到2023年確認(rèn)),,預(yù)計(jì)2022年EUV系統(tǒng)的收入將增長(zhǎng)25%,。

  非EUV系統(tǒng):在DUV和應(yīng)用業(yè)務(wù)中,ASML預(yù)計(jì)浸沒(méi)式和干式系統(tǒng)都將增長(zhǎng),,同時(shí)對(duì)計(jì)量和檢測(cè)系統(tǒng)的需求也將持續(xù)增長(zhǎng),,預(yù)計(jì)非EUV出貨收入增長(zhǎng)超過(guò)20%。

  展望2025到2030年,,近十年都將圍繞分布式計(jì)算,,讓云更接近邊緣設(shè)備,通過(guò)連接,計(jì)算能力將為所有人提供“設(shè)備上”的計(jì)算能力,,從而實(shí)現(xiàn)一個(gè)連接的世界,。這些全球電子行業(yè)的大趨勢(shì),在一個(gè)高度盈利和激烈創(chuàng)新的生態(tài)系統(tǒng)的支持下,,預(yù)計(jì)將繼續(xù)推動(dòng)整個(gè)半導(dǎo)體市場(chǎng)的增長(zhǎng),。

  這意味著先進(jìn)節(jié)點(diǎn)和成熟節(jié)點(diǎn)對(duì)晶圓的需求都在增加,進(jìn)而提升光刻設(shè)備的需求,。根據(jù)不同的市場(chǎng)場(chǎng)景,,ASML認(rèn)為2025年有望實(shí)現(xiàn)240億-300億歐元左右的年銷(xiāo)售額,毛利率在54%-56%之間,。

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  ASML市場(chǎng)預(yù)期(圖源:ASML)

  

  ASML侵權(quán)“羅生門(mén)”

  ASML年報(bào)中提到:“我們可能遭受惡意攻擊,,包括第三方或自己的員工竊取公司的商業(yè)秘密、專(zhuān)有客戶(hù)數(shù)據(jù),、知識(shí)產(chǎn)權(quán)或其他機(jī)密信息,。盡管我們努力保護(hù)知識(shí)產(chǎn)權(quán),但未經(jīng)授權(quán)的第三方也有可能獲得,、復(fù)制,、使用或披露我們的專(zhuān)有技術(shù)、產(chǎn)品,、設(shè)計(jì),、工藝和其他知識(shí)產(chǎn)權(quán)。2021年,,我們獲悉與XTAL公司有關(guān)聯(lián)的一家公司——東方晶源,,正在中國(guó)積極營(yíng)銷(xiāo)可能侵犯ASML知識(shí)產(chǎn)權(quán)的產(chǎn)品?!?/p>

  近日,,針對(duì)“ASML稱(chēng)東方晶源可能侵權(quán)”一事,東方晶源發(fā)布聲明稱(chēng),,東方晶源自成立以來(lái)一直遵守中國(guó)法律法規(guī),、合法合規(guī)經(jīng)營(yíng)。秉承獨(dú)立研發(fā),、自主創(chuàng)新的理念,,東方晶源尊重、保護(hù)知識(shí)產(chǎn)權(quán),,并形成了獨(dú)立,、完備的知識(shí)產(chǎn)權(quán)體系。盡管東方晶源的聲明沒(méi)有提到ASML公司,,但意思很顯然是回應(yīng)及反駁,。

  據(jù)公開(kāi)資料顯示,,XTAL公司成立于2014年,由前ASML員工創(chuàng)立,,2016年ASML對(duì)XTAL公司發(fā)起訴訟,,2018年美國(guó)加州圣克拉拉聯(lián)邦法院初步裁決,XTAL盜竊知識(shí)產(chǎn)權(quán)罪名成立,,2019年法院發(fā)出最終判決結(jié)果,ASML獲得勝訴,,XTAL需賠償ASML 8.45億美元,,ASML接手了已破產(chǎn)的XTAL的大部分知識(shí)產(chǎn)權(quán)。

  荷蘭金融報(bào)紙F(tuán)inancieele Dagblad 2019年曾報(bào)道,,中國(guó)員工從ASML竊取了企業(yè)機(jī)密,,造成數(shù)億美元損失。報(bào)道稱(chēng),,調(diào)查發(fā)現(xiàn)ASML美國(guó)子公司研發(fā)部門(mén)的高級(jí)中國(guó)員工竊取了技術(shù),,并最終泄露給了中國(guó)公司。

  然而,,ASML或許也不想擴(kuò)大事端,,2019年,ASML分別在其官網(wǎng)和上貼出官方聲明:“ASML并不認(rèn)同‘中國(guó)間諜’說(shuō)”,。

  據(jù)了解,,東方晶源2021年公司完成28nm邏輯芯片關(guān)鍵工藝層良率硅片驗(yàn)證結(jié)果優(yōu)異,持續(xù)突破技術(shù)壁壘,,14nm計(jì)算光刻技術(shù)已就緒,,首臺(tái)套EBI產(chǎn)業(yè)化成果顯著;公司于2021年度實(shí)現(xiàn)銷(xiāo)售額迅速攀升過(guò)億的“小目標(biāo)”,,接洽客戶(hù)近60家,,涉及存儲(chǔ)、邏輯,、第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域等眾多頭部客戶(hù),。

  但根據(jù)產(chǎn)品的性能等級(jí)來(lái)看,東方晶源的產(chǎn)品其實(shí)還遠(yuǎn)到不了威脅ASML的地步,,但是,,ASML此次在2021年年報(bào)中又提及此事,稱(chēng)東方晶源可能與2018年因竊密而被判賠償?shù)腦TAL公司有關(guān)聯(lián),,且已經(jīng)提示自己的特定客戶(hù)不要協(xié)助或縱容東方晶源從事潛在侵權(quán)行為,,同時(shí)也向中國(guó)相關(guān)機(jī)構(gòu)表達(dá)了自己的擔(dān)憂(yōu)。

  ASML稱(chēng)正在密切關(guān)注這一事項(xiàng),,并準(zhǔn)備在適當(dāng)時(shí)機(jī)采取法律行動(dòng),,但又并未提供更多證據(jù),。這種說(shuō)法出現(xiàn)在財(cái)報(bào)中,實(shí)屬罕見(jiàn),。不免引人深思,。

  以上是本次摘取出來(lái)的ASML 2021年財(cái)報(bào)要點(diǎn),如需獲取完整財(cái)報(bào)內(nèi)容,,可在公眾號(hào)回復(fù)“ASML財(cái)報(bào)”獲取完整報(bào)告,。

  



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