在科研力度不斷加大,、國家政策支持下,，未來我國高遷移率溝道材料研究成果將不斷增多,，在半導(dǎo)體技術(shù)持續(xù)升級下,，高遷移率溝道材料行業(yè)發(fā)展前景廣闊,。

溝道,，是場效應(yīng)晶體管中源區(qū)和漏區(qū)之間的半導(dǎo)體薄層,，是半導(dǎo)體中由于外加電場引起的沿長度方向的導(dǎo)電層,。遷移率，是單位電場強度下所產(chǎn)生的載流子平均漂移速度,，遷移率與載流子濃度共同決定了半導(dǎo)體的電導(dǎo)率,。隨著半導(dǎo)體技術(shù)不斷進步，市場對高遷移率溝道材料的需求日益迫切,，高遷移率溝道材料研發(fā)的重要性日益突出,。

根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的《2021－2025年高遷移率溝道材料行業(yè)深度市場調(diào)研及投資策略建議報告》顯示，高遷移率的意義在于可以利用更小體積的晶體管提供更大的電流,。全球半導(dǎo)體制造技術(shù)迅速提升,，工藝制程不斷縮小，進入90nm節(jié)點時,，依靠縮小晶體管溝道長度的方法已經(jīng)無法大幅提升集成電路性能,，特別是隨著7nm時代到來，高功能集成度的新型器件不斷問世,，傳統(tǒng)溝道材料已經(jīng)無法滿足升級需求,，高遷移率溝道材料因此成為研究重點。

傳統(tǒng)晶體管所用溝道材料主要是硅材料,，硅材料性質(zhì)優(yōu)異且均衡,，但其介電常數(shù)較低，在先進制程工藝中應(yīng)用受到限制,，隨著制程工藝進入7nm,、5nm節(jié)點，硅材料性能開發(fā)已經(jīng)接近物理極限,。同時，其他新型材料例如石墨烯,、過渡金屬硫化物等雖然部分性能得到提升,，但仍有缺點。在此情況下,，開發(fā)高遷移率溝道材料需求極為迫切,。

在我國，2018年,，北京大學(xué)研究團隊,，通過對Bi2O2Se材料進行熱氧化處理，得到高K柵介質(zhì)材料Bi2SeO5薄膜,，突破了二維高遷移率半導(dǎo)體器件與超薄介電層集成這一瓶頸,，并在此基礎(chǔ)上，結(jié)合氫氟酸選擇性刻蝕技術(shù)與微納加工技術(shù),，制備了高性能場效應(yīng)晶體管,，其遷移率超過300cm2V－1s－1。

我國“十四五”國家重點研發(fā)計劃“納米前沿”重點專項中，提出圍繞新型溝道材料的規(guī)?；苽?、硅基兼容與器件性能提升的問題，研制200℃下電學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定的超薄高遷移率溝道材料及高k柵介質(zhì)的晶圓（直徑大于兩英寸）,。在科研力度不斷加大,、國家政策支持下，未來我國高遷移率溝道材料研究成果將不斷增多,，在半導(dǎo)體技術(shù)持續(xù)升級下,，高遷移率溝道材料行業(yè)發(fā)展前景廣闊。

新思界行業(yè)分析人士表示,，我國是全球電子產(chǎn)品生產(chǎn)大國,，2015年以來，我國半導(dǎo)體材料市場呈現(xiàn)穩(wěn)定增長態(tài)勢,，即使2019年全球半導(dǎo)體材料市場下行,、2020年新冠疫情爆發(fā)，我國半導(dǎo)體材料需求仍保持上升趨勢,。2020年,，我國半導(dǎo)體材料市場規(guī)模約為96億美元，初步估算2021年市場規(guī)模將超過100億美元,。在此背景下,，我國高遷移率溝道材料市場空間不斷擴大。