摘要

1、行業(yè)增速63％,，持續(xù)驗證半導(dǎo)體設(shè)備高景氣

22Q1國內(nèi)主要半導(dǎo)體設(shè)備廠商合計實現(xiàn)營收近50億元,，行業(yè)營收同比增速63％,，相較全年51％的一致預(yù)期，實現(xiàn)超預(yù)期增長,，進(jìn)一步驗證晶圓廠高速擴(kuò)產(chǎn)下的半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)高景氣度,。

2、盈利能力持續(xù)改善,，業(yè)績拐點將至 

業(yè)績角度來看,，隨著國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備持續(xù)放量，主要國產(chǎn)設(shè)備公司盈利能力多數(shù)均實現(xiàn)較大幅度提升,，利潤增速遠(yuǎn)高于營收增速,，可以預(yù)見隨著2022年行業(yè)持續(xù)高景氣度帶動各半導(dǎo)體設(shè)備廠商持續(xù)放量，規(guī)模效應(yīng),、產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)優(yōu)化等將進(jìn)一步助推半導(dǎo)體設(shè)備公司盈利能力持續(xù)改善,，迎接業(yè)績增長拐點。

3、在手訂單充沛,，加大零部件備貨保供應(yīng) 

合同負(fù)債角度看,，北方華創(chuàng)合同負(fù)債再創(chuàng)新高，公司在手訂單持續(xù)充沛,；中微公司,、拓荊科技合同負(fù)債大幅提升，一部分原因可能來自于公司變更設(shè)備收款策略（是否收取預(yù)收款,，預(yù)售比例調(diào)整等）,，更多也側(cè)面印證公司在手訂單的持續(xù)增長。 采購角度看,，各國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備公司2021年依舊采取超前2倍多的采購策略以保證設(shè)備交付,。尤其可以看到，北方華創(chuàng)2021年采購總額達(dá)176億元,，超當(dāng)年50億材料成本3倍之多,；22Q1末存貨也相較21Q1末大幅增長；側(cè)面印證公司在手訂單充沛,，加足馬力備貨零部件滿足晶圓廠旺盛需求,。

建議關(guān)注：北方華創(chuàng)、中微公司,、盛美上海,、拓荊科技、萬業(yè)企業(yè),、芯源微,、華峰測控、至純科技,、長川科技

風(fēng)險提示：（1）下游擴(kuò)產(chǎn)不及預(yù)期,；（2）零部件短缺影響出貨；（3）貿(mào)易爭端風(fēng)險,。

正文

1,、行業(yè)增速63％，持續(xù)驗證半導(dǎo)體設(shè)備高景氣

22Q1國內(nèi)主要半導(dǎo)體設(shè)備廠商合計實現(xiàn)營收近50億元,，行業(yè)營收同比增速63％,，相較全年51％的一致預(yù)期，實現(xiàn)超預(yù)期增長,，進(jìn)一步驗證晶圓廠高速擴(kuò)產(chǎn)下的半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)高景氣度,。

北方華創(chuàng)：22Q1營收21億元，同比增長51％,；其中1－2月營收13．66億元,，同比增長135％,，貢獻(xiàn)一季度主要增長。同時,，公司首次披露訂單數(shù)據(jù),，1－2月公司新增訂單超30億元，同比增長超60％,。全年來看,，一季度通常為行業(yè)淡季，多數(shù)訂單會在下半年集中確認(rèn)收入,，從而帶動下半年營收高增速,，此外結(jié)合公司披露的訂單增速，我們預(yù)計公司后續(xù)季度將繼續(xù)實現(xiàn)超預(yù)期增長,。

中微公司：22Q1營收9．4億元,，同比增長57％；其中刻蝕設(shè)備營收7．14億元,，實現(xiàn)翻倍增長,；MOCVD設(shè)備收入0．42億元，同比下降68．59％,，主要因公司新簽Mini LED MOCVD規(guī)模訂單尚未確認(rèn)收入,。展望后續(xù)季度，我們認(rèn)為公司刻蝕設(shè)備將繼續(xù)保持高增速增長,；新簽的超180腔Mini LED MOCVD訂單也將隨著產(chǎn)品進(jìn)一步交付持續(xù)貢獻(xiàn)收入,。

盛美上海：22Q1營收3．5億元，同比增長29％,，稍不及預(yù)期,，主要因為受疫情等因素影響導(dǎo)致公司交付設(shè)備驗收確認(rèn)進(jìn)度放緩所致；預(yù)計隨著后續(xù)廠務(wù)端情況改善,，延遲部分收入將貢獻(xiàn)后續(xù)季度增長，公司設(shè)備交付確認(rèn)也將快速恢復(fù)常態(tài)化,。

華峰測控：22Q1營收2．6億元,，同比增長123％，后續(xù)隨著8300系列產(chǎn)品持續(xù)放量,，公司產(chǎn)品結(jié)構(gòu)將進(jìn)一步改善,，同時貢獻(xiàn)公司收入規(guī)模進(jìn)一步擴(kuò)大。

長川科技：22Q1營收5．4億元,，同比增長83％,，同樣實現(xiàn)超預(yù)期增長；后續(xù)高端SOC測試機(jī)將繼續(xù)為公司貢獻(xiàn)增量收入,。

拓荊科技：22Q1營收1億元,，同比增長82％,；作為目前國內(nèi)唯一實現(xiàn)PECVD和SACVD設(shè)備產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用的國產(chǎn)廠商，公司在晶圓廠薄膜沉積設(shè)備國產(chǎn)化推進(jìn)中具有非常強(qiáng)的不可替代性,，后續(xù)也將隨著下游擴(kuò)產(chǎn)實現(xiàn)高速增長,。

萬業(yè)企業(yè)：22Q1營收0．9億元，同比下降77％,，主要因為公司房地產(chǎn)業(yè)務(wù)占比仍比較大,，一季度房地產(chǎn)部分未集中交付所致。半導(dǎo)體設(shè)備部分,，公司旗下凱世通離子注入機(jī)于去年實現(xiàn)0－1突破,，營收近1．2億元；年初至今來看,，公司半導(dǎo)體設(shè)備部分新增訂單已超6．8億元,，將持續(xù)為公司后續(xù)集成電路設(shè)備業(yè)務(wù)增長提供保障。

至純科技：22Q1營收5．4億元,，同比增長136％,。2021年，公司半導(dǎo)體設(shè)備新增訂單11．2億元,，公司預(yù)計2022年濕法設(shè)備訂單目標(biāo)將超20億元,，近翻倍增長驗證公司信心與實力。

芯源微：22Q1營收1．8億元,，同比增長62％,。截至21Q3末，公司公告的在手訂單近13億,，隨著訂單逐步交付,，將繼續(xù)為公司2022年高速增長保駕護(hù)航。

2,、盈利能力持續(xù)改善,，業(yè)績拐點將至

業(yè)績角度來看，相較于海外設(shè)備大廠近30％的扣非后凈利率水平,，國內(nèi)前道設(shè)備企業(yè)仍有較大提升空間,。

但從22Q1數(shù)據(jù)來看，隨著國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備持續(xù)放量,，主要國產(chǎn)設(shè)備公司盈利能力多數(shù)均實現(xiàn)較大幅度提升,，利潤增速遠(yuǎn)高于營收增速，可以預(yù)見隨著2022年行業(yè)持續(xù)高景氣度帶動各半導(dǎo)體設(shè)備廠商持續(xù)放量,，規(guī)模效應(yīng),、產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)優(yōu)化等將進(jìn)一步助推半導(dǎo)體設(shè)備公司盈利能力持續(xù)改善，迎接業(yè)績增長拐點,。

具體來看：

1）北方華創(chuàng)綜合扣非凈利率水平相較21Q1的2％提升5 pcts達(dá)到7％,；

2）中微公司隨著MOCVD毛利率水平大幅改善,，以及刻蝕毛利率抬升，扣非后凈利率水平由21Q1的2％高速增長至22Q1的近20％,；

3）盛美上海受收入確認(rèn)延遲,、以及加大研發(fā)開發(fā)新設(shè)備影響，扣非后凈利率相較去年有所回調(diào),，達(dá)到7％,；

4）華峰測控受產(chǎn)品結(jié)構(gòu)調(diào)整以及規(guī)模效應(yīng)影響，扣非后凈利率由去年36％提高至48％,；

5）長川科技則因所得稅等影響,，導(dǎo)致扣非后凈利率回調(diào)至12％；

6）拓荊科技扣非后歸母凈利潤仍未實現(xiàn)扭虧為盈,，但隨著2021年公司主要產(chǎn)品PECVD設(shè)備毛利率提升至40％多的行業(yè)水平,，加之規(guī)模化之后研發(fā)投入比例常態(tài)化,，我們期待公司2022年實現(xiàn)扣非后歸母凈利潤扭虧為盈,；

7）至純科技22Q1扣非后凈利率達(dá)7％，主要受益于更好的費用管控,；

8）芯源微22Q1扣非后歸母凈利率達(dá)到17％,，主要得益于更好的毛利率，以及研發(fā)費用相較去年一季度確認(rèn)比例相對較低,。

3,、在手訂單充沛，加大零部件備貨保供應(yīng)

合同負(fù)債角度看,，北方華創(chuàng)合同負(fù)債再創(chuàng)新高,，公司在手訂單持續(xù)充沛；中微公司,、拓荊科技合同負(fù)債大幅提升,，一部分原因可能來自于公司變更設(shè)備收款策略（是否收取預(yù)收款，預(yù)售比例調(diào)整等）,，更多也側(cè)面印證公司在手訂單的持續(xù)增長,。

擴(kuò)產(chǎn)需求旺盛導(dǎo)致的供應(yīng)緊張已經(jīng)從半導(dǎo)體設(shè)備向上游零部件端蔓延。我們復(fù)盤2021年各大國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備公司的采購情況,，可以看到各公司2021年依舊采取超前2倍多的采購策略以保證設(shè)備交付。尤其可以看到,，北方華創(chuàng)2021年采購總額達(dá)176億元,，超當(dāng)年50億材料成本3倍之多；22Q1末存貨也相較21Q1末大幅增長,；側(cè)面印證公司在手訂單充沛,，加足馬力備貨零部件滿足晶圓廠旺盛需求,。