存儲器是現(xiàn)代信息系統(tǒng)的關鍵組件之一，其應用廣泛,，市場龐大,。由DRAM與NAND Flash所主導的主導的傳統(tǒng)存儲市場規(guī)模已超過1600億美元，而且長遠來看,，DRAM和NAND仍將占據(jù)主流市場很久,。那么存儲技術發(fā)展到現(xiàn)在，這兩大主流的傳統(tǒng)存儲技術背后的供應商們都在比拼什么,？

　　NAND Flash廠商在拼什么,？

　　一,、拼層數(shù)，蓋高樓

　　幾十年來,，NAND Flash一直是低成本和大密度數(shù)據(jù)存儲應用的主要技術,。這種非易失性存儲器存在于所有主要的電子終端市場，例如智能手機,、服務器,、PC、平板電腦和 USB 驅(qū)動器,。NAND Flash的成功與其不斷擴展存儲密度和成本的能力有關,，大約每兩年，NAND Flash 行業(yè)就能夠大幅提高位存儲密度,，現(xiàn)在位存儲密度的進一步增加是通過向三維過渡,，2014年，3D NAND技術進入市場,。而為了維持NAND Flash路線圖,，3D NAND Flash進入了層數(shù)的堆疊比拼。

　　2022年是NAND閃存的35周年,，而今年或許是NAND閃存又一個重要的一年?，F(xiàn)在幾乎頭部的存儲廠商都在制造200層以上的存儲芯片，甚至500層已經(jīng)陸續(xù)出現(xiàn)在存儲廠商們的路線圖中,。閃存芯片中的層數(shù)越多,，容量就越高。下表顯示了幾大NAND 制造商的3D NAND 的層數(shù)的主要計劃：

　　圖源：blocks&files

　　在NAND FLash領域,，三星電子將在2022年底推出200層或更多層的第8代NAND閃存,。據(jù)businesskorea的報道，有業(yè)內(nèi)人士認為,，三星已經(jīng)通過“雙?！钡姆绞将@得了256層技術。用于連接單元的孔越少,，芯片丟失的數(shù)據(jù)就越少,。因此，單棧技術比雙棧技術更先進,。然而,，100層被認為是單棧技術的技術極限。目前,，三星電子是世界上唯一一家可以使用單堆疊方式堆疊超過 100 層（128 層）的芯片制造商,。全球第二大 NAND 閃存生產(chǎn)商 SK 海力士和美國美光科技一直在使用雙堆棧技術堆疊72層或更多層。

　　業(yè)內(nèi)人士預測,，三星電子將加快200層以上NAND閃存的量產(chǎn)步伐,，他們表示三星電子將成為第一家通過在128層單堆棧中增加96層來發(fā)布224層NAND 閃存的芯片制造商,。與 176層相比，224層NAND閃存的生產(chǎn)效率和數(shù)據(jù)傳輸速度將提高30%,。

　　美光正在批量生產(chǎn)176層的閃存芯片,，這是其第五代3D NAND。3D NAND是通過在垂直堆棧中將多組單元相互層疊來制造的,。美光近日表示,，其正在開發(fā)232層的3D NAND，并聲稱其232層技術代表了世界上最先進的NAND,，路線圖規(guī)劃到了500層（但沒具體指明時間表）,。

　　美光的232層NAND芯片采用3D TLC架構(gòu)，原始容量為1Tb (128GB),。該芯片基于美光的 CuA（CMOS under array）架構(gòu),，并使用 NAND串堆疊技術在彼此之上構(gòu)建兩個3D NAND陣列。CuA的設計加上232層的NAND將大大減少美光1Tb 3D TLC NAND存儲器的裸片尺寸,，這將降低生產(chǎn)成本,，使美光能夠具有芯片定價權。

　?。▓D片來源：美光）

　　西部數(shù)據(jù)和鎧俠近日表示,，他們正在構(gòu)建162層的NAND，該公司計劃在2022年底推出其第6代 BiCS,。西部數(shù)據(jù)聲稱他們將通過使用新材料來縮小存儲單元的尺寸,，從而縮小芯片尺寸。西部數(shù)據(jù)計劃將這些芯片用于從USB驅(qū)動器到PCIe 5.0 SSD的等多種產(chǎn)品中,。

　　資料來源：西部數(shù)據(jù)

　　此外,，西部數(shù)據(jù)還將于2024年推出具有超過200層的BiCS+內(nèi)存，與BiCS6相比,，它的每個晶圓的位數(shù)將增加55%,，傳輸速度提高60%，寫入速度提高15%,。值得注意的是,，BiCS+僅用于數(shù)據(jù)中SSD，因為該公司計劃為消費者存儲提供不同級別的2xx層 NAND,，稱為BiCS-Y,。除此之外,，西部數(shù)據(jù)還表示,，他們正在研究多種技術以提高密度和容量，包括 PLC,，并計劃在2032年構(gòu)建500層以上的NAND,。

　　SK海力士在200層的跨越上可能稍微晚些,，目前為止SK海力士最新的3D NAND是512Gb 176層堆疊的3D NAND，不過早在去年3月份的IEEE IRPS上,，SK海力士CEO李錫熙就已經(jīng)展望到600層,。

　　國內(nèi)方面主要競爭者是長江存儲，長江存儲這幾年的發(fā)展很快,，此前長江存儲CEO楊士寧層表示：“長江存儲用短短3年時間實現(xiàn)了從32層到64層再到128層的跨越,。長江存儲3年完成了他們6年走過的路”。而現(xiàn)在,，據(jù)Digitimes的報道,，業(yè)內(nèi)人士透露，長江存儲最近已向少數(shù)客戶交付了其內(nèi)部開發(fā)的192 層3D NAND閃存樣品,。

　　這些巨頭廠商清晰明確的NAND路線圖也證明了NAND 和 SSD 市場的技術健康和活力,。總體而言,，NAND閃存供應商都準備在2022年底至2023年之間推出其200 層以上的芯片產(chǎn)品,，這是該行業(yè)向更高密度3D NAND 閃存過渡的里程碑。

　　二,、拼資本支出,，拼產(chǎn)能

　　對于存儲廠商來說，重資本是行業(yè)的特點,，產(chǎn)能的保障也是企業(yè)保持致勝的一大關鍵,。而隨著NAND閃存供應商加入200層以上NAND閃存芯片的競爭，必將需要新的晶圓廠和新設備,。

　　IC Insights預測今年NAND閃存資本支出將增8%至299億美元,，超過2018年278 億美元的歷史新高。閃存資本支出在2017年飆升,，當時該行業(yè)向3D NAND過渡,，此后每年資本支出都超過200億美元。299億美元的支出占2022年整個IC行業(yè)1904億美元資本支出預測的16%,，僅落后于代工部門,，該部門預計將占今年行業(yè)資本支出的41%。

　　來源：IC insights

　　新的和最近升級的NAND閃存工廠包括三星的平澤P1和P2（也用于 DRAM 和代工）,，以及三星在中國西安的二期投資,；鎧俠在日本巖手的 Fab 6 (Flash Ventures) 和 Fab K1；美光在新加坡的第三家閃存工廠,。SK海力士為其 M15 工廠的剩余空間配備了 NAND閃存,。

　　此外，據(jù)TheElec獲悉，三星計劃于今年5月初在其平澤工廠的新先進晶圓廠P3上安裝晶圓廠設備,，該公司的目標是在今年下半年內(nèi)完成工廠的建設,，消息人士稱，三星將首先在5月的第一周為NAND閃存生產(chǎn)安裝晶圓廠設備,。P3是一家混合工廠,，將同時生產(chǎn)存儲芯片和邏輯芯片，其中就包括第七代176層V-NAND芯片,。預計三星未來幾年將在P3上花費至少30萬億韓元到近50萬億韓元,。

　　而SK海力士也在大連建設新的3D NAND閃存晶圓廠，該項目于5月16日開工,。2021年底,，SK海力士完成了收購英特爾NAND閃存及SSD業(yè)務案的第一階段，從英特爾手中接管了SSD業(yè)務及其位于大連的NAND閃存制造廠的資產(chǎn),。為加快推動項目發(fā)展,，所以SK海力士決定在大連繼續(xù)擴大投資并建設新工廠。

　　DRAM廠商拼什么,？

　　不可不爭的EUV

　　隨著DRAM要想進入到10nm工藝一下,，EUV儼然已成必不可少。我們也看到,，三星,、SK海力士和美光這三大DRAM廠商已經(jīng)先后擁抱了EUV技術。

　　三星電子基于極紫外（EUV）光刻技術的1z-nm工藝的DRAM已于今年2月份完成了量產(chǎn),。半導體分析機構(gòu)TechInsights拆解了采用EUV光刻技術和ArF-i光刻技術的三星1z-nm工藝DRAM,，它認為該技術提升了三星的生產(chǎn)效率，并減小了DRAM的核心尺寸,。DRAM 單元尺寸和 D/R 縮放最近越來越難,，但三星將 D1z 的 D/R 降低到 15.7 nm，比 D1y 縮小了 8.2%,。據(jù)了解,，三星還將繼續(xù)為下一代DRAM增加EUV步驟。上文中提到的三星的P3工廠也將采用EUV工藝生產(chǎn)10nm DRAM,。

　　三星 DRAM 單元尺寸趨勢,，D3x 到 D1z

　　（圖源：TechInsights）

　　美光有望從2024年開始生產(chǎn)基于極紫外 (EUV) 光刻工藝的DRAM 芯片,，在1γ(Gamma)節(jié)點的有限的層數(shù)中部署 EUV,，然后會將其擴展到具有更大層采用率的1δ(Delta)節(jié)點。旨在通過允許制造更小的芯片特征來保持摩爾定律的存在,。這一舉措有望幫助其在技術上保持領先于競爭對手,。

　　SK海力士也引入了EUV光刻設備來解決以往DUV光刻的局限性,，制程工藝能輕松達到10nm以下，以此來提升生產(chǎn)效率,。2021年2月1日，SK海力士完成首個用于DRAM的EUV晶圓廠M16,，并引進了EUV光刻設備,。2021年7月，SK海力士宣布量產(chǎn)了1anm工藝的8千兆的LPDDR4 EUV DRAM,。

　　3D堆疊成為DRAM新未來

　　但是對于DRAM來說,，目前業(yè)界的共識或者面臨的挑戰(zhàn)是，在平面工藝下,，DRAM最重要也最艱難的挑戰(zhàn),，就是儲存電容的高深寬比，儲存電容的深寬比通常會隨著組件工藝微縮而呈倍數(shù)增加,，也就是說,，平面DRAM的工藝微縮會越來越困難，即使是通過極紫外光刻 (EUV) 工藝,，也不足以為整個未來十年提供所需的位密度改進,。因此，主要設備供應商和領先的DRAM制造商正在考慮將單片3D DRAM（類似 3D NAND）作為長期擴展的潛在解決方案,。

　　據(jù)了解,，3D DRAM是將存儲單元（Cell）堆疊至邏輯單元上方以實現(xiàn)在單位晶圓面積上產(chǎn)出上更多的產(chǎn)量，這樣3D DRAM就可以有效地解決平面DRAM的挑戰(zhàn),。除了晶圓的裸晶產(chǎn)出量增加外,，使用3D堆疊技術也能因為可重復使用儲存電容而有效降低 DRAM的單位成本。

　　在這其中,，HBM（High Bandwidth Memory,，高帶寬存儲器）技術可謂是DRAM從傳統(tǒng)2D向立體3D發(fā)展的主要代表產(chǎn)品，使DRAM開啟了3D化道路,。HBM是通過TSV技術進行芯片堆疊,，以增加吞吐量并克服單一封裝內(nèi)帶寬的限制。HBM能充分利用空間并縮小面積,，并且突破了內(nèi)存容量與帶寬瓶頸,。

　　據(jù)Yole的觀點和預測，這種新穎的3D技術將在2029-2030年期間進入市場,。在此之前,，我們預計混合鍵合系統(tǒng)可能會開始滲透 DRAM 設備市場，用于制造3D堆疊 DRAM,，例如高帶寬內(nèi)存 (HBM),，可能從HBM3+一代開始,。

　　寫在最后

　　現(xiàn)在諸如數(shù)據(jù)中心、汽車,、5G等對內(nèi)存的需求越來越大,，要求也越來越高，技術的演進也一直在滾滾向前,。不同時代,，不同需求下，這些存儲廠商們總能研發(fā)出新的技術來滿足時代的發(fā)展,。當然新型存儲也是時代發(fā)展的產(chǎn)物,，它們不是為了取代現(xiàn)有的存儲解決方案，而是在延遲,、生產(chǎn)力等方面對現(xiàn)有的存儲進行很好的補充,。最后說一句，存儲是不得不發(fā)展的國家戰(zhàn)略性高技術產(chǎn)業(yè),，我國應該抓住存儲器技術發(fā)展多元化的新機遇,，實現(xiàn)突破。