?。ㄈ騎MT2022年5月24日訊）半導(dǎo)體制造業(yè)提供溫度管理解決方案的領(lǐng)導(dǎo)者——ERS electronic開發(fā)了一種溫度校準(zhǔn)設(shè)備，該設(shè)備可以在晶圓實(shí)際針測區(qū)域進(jìn)行高精確度（低至30mK）全自動(dòng)測量,。目前,，被命名為ProbeSense?的該設(shè)備正在申請(qǐng)技術(shù)專利,。

　　由一個(gè)溫度傳感器組成，安裝在晶圓探針臺(tái)的探針卡處的ProbeSense?,，將在晶圓針測中,，遵循探針XYZ軸的移動(dòng)規(guī)律，在保證測試環(huán)境相同的情況下,，對(duì)晶圓表面進(jìn)行多點(diǎn)溫度測量,。ProbeSense?將與適配板一起交付，實(shí)現(xiàn)與行業(yè)主流探針臺(tái)兼容的同時(shí),，滿足客戶的需要,。此外，在ProbeSense?的整套裝備中還包含一個(gè)溫度測量儀器,，該儀器的精確度已經(jīng)預(yù)先與溫度傳感器同步校準(zhǔn)在了mk范圍之內(nèi),。為了進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)測量過程無需人力操作的全自動(dòng)化，探針臺(tái)中還將裝載ProbeSense?配套軟件,，以在不同溫度下,，針對(duì)卡盤不同位置運(yùn)行測試腳本。MPI是首批在其探針臺(tái)上提供這項(xiàng)功能的探針臺(tái)制造商之一,。