半導(dǎo)體設(shè)備按照市場來分,，大致可分為三個不同的細分市場：晶圓設(shè)備,、組裝和封裝設(shè)備以及測試設(shè)備,。

　　其中晶圓設(shè)備占據(jù)大頭,，2021 年,，晶圓設(shè)備部分占半導(dǎo)體設(shè)備市場約 86% 的大部分份額,，全球晶圓半導(dǎo)體設(shè)備市場可進一步分為邏輯,、NAND,、DRAM和其他四個部分,；近幾年由于日月光,、Amkor、長電科技,、通富微電,、華天科技在內(nèi)的專業(yè)封測廠商在2.5D和3D先進封裝領(lǐng)域的大幅投資，導(dǎo)致對封裝和測試設(shè)備的需求有所提升,。

　　根據(jù)SEMI的報告,，如果從這三大分類的增長預(yù)期來看,，其中，晶圓廠設(shè)備這一分類預(yù)計將在2022年增長15.4%,，達到1010億美元的新行業(yè)紀錄,，到2023年達到1043 億美元。半導(dǎo)體測試設(shè)備市場預(yù)計2022年將增長12.1%至88億美元,，2023年受到高性能計算 (HPC) 應(yīng)用程序的需求再增加0.4%,。組裝和封裝設(shè)備預(yù)計將在2022年增長8.2%至78億美元，并在2023年小幅下降0.5%至77億美元,。

　　SEMI預(yù)計,，原始設(shè)備制造商的全球半導(dǎo)體制造設(shè)備總銷售額預(yù)計將在2022年達到創(chuàng)紀錄的1175億美元，比2021年的行業(yè)高點1025億美元增長14.7%,，并在2023年增至 1208 億美元,。

　　在這樣的背景下，國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商也受到了行業(yè)紅利,，上半年國產(chǎn)設(shè)備供應(yīng)商在設(shè)備中標,、企業(yè)營收等方面均迎來良好的增長。

　　01

　　國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備中標情況

　　半導(dǎo)體設(shè)備的增長與晶圓廠的擴張息息相關(guān),，晶圓廠擴產(chǎn)的資本支出中有70%-80%是用于購買半導(dǎo)體設(shè)備,。

　　從去年開始，缺芯引發(fā)了國內(nèi)晶圓廠積極擴產(chǎn),，例如,，上海積塔半導(dǎo)體已披露計劃斥資超過260億元人民幣在上海臨港經(jīng)濟開發(fā)區(qū)擴建 12 英寸晶圓廠產(chǎn)能；華虹半導(dǎo)體籌集180億元人民幣,，用于擴大其無錫 12 英寸晶圓廠的產(chǎn)能,；中芯國際在北京、深圳和上海的三個新的12英寸晶圓廠的建設(shè)進度保持正常等,。這些都加速了對國產(chǎn)設(shè)備的需求,。

　　因此，2022年上半年,，國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備招標采購量持續(xù)增長,。據(jù)德邦證券統(tǒng)計，今年1~6月國內(nèi)主流晶圓廠合計開標 548 臺設(shè)備,，源自中國大陸廠家制造的設(shè)備共計 189 臺,，占比達 34.5%,。這 548 臺開標的設(shè)備主要來自華虹無錫（291 臺）,、上海積塔（210 臺）、時代電氣（16 臺）,、福建晉華（23 臺）,、華力集成（6 臺）,、華力微電子（2 臺）。在這些招標的晶圓廠中,，國產(chǎn)設(shè)備中標數(shù)較多的晶圓廠為上海積塔（126 臺）,、華虹無錫（45 臺）、時代電氣（8 臺）,、福建晉華（9 臺）,。其中上海積塔國產(chǎn)率最高，達到60%,。

　　具體到設(shè)備類型來看,，這548 臺設(shè)備中，爐管設(shè)備為119臺,、沉積設(shè)備97 臺,、刻蝕設(shè)備82 臺、前道檢測設(shè)備64 臺,、后道測試設(shè)備46 臺,、清洗設(shè)備33 臺、干法去膠設(shè)備31 臺,、離子注入機28 臺拋光設(shè)備21 臺,、涂膠顯影設(shè)備17 臺、光刻機10 臺,。

　　其中國產(chǎn)率較高的環(huán)節(jié)是,，干法去膠設(shè)備的國產(chǎn)率高達81%、刻蝕設(shè)備為54%,、拋光設(shè)備為43%,、清洗設(shè)為58%、涂膠顯影設(shè)備為35.3%,。國產(chǎn)設(shè)備國產(chǎn)化率的提升,，離不開北方華創(chuàng)、中微公司,、盛美半導(dǎo)體,、芯源微、屹唐半導(dǎo)體,、至純科技,、華海清科等中國大陸廠家的不斷發(fā)展。

　　本土設(shè)備中標數(shù)量的增長,，以及國內(nèi)晶圓廠的國產(chǎn)化率的提升,，都反映出大陸半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)發(fā)展欣欣向榮。

　　02

　　上半年國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商營收普漲

　　2022年上半年,，電動汽車產(chǎn)業(yè),、大數(shù)據(jù)及人工智能的快速發(fā)展,，對芯片產(chǎn)出的需求量與日俱增。再加上近些年來,，國產(chǎn)替代意識和意愿的加強,，給本土半導(dǎo)體業(yè)務(wù)的發(fā)展提供了強大的空間。因此,，國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商上半年營收基本都實現(xiàn)了不同程度的增長,，并且由于手中的大量訂單，他們對今年剩余時間的出貨前景也保持信心,。

　　從整體類別上看,，國產(chǎn)設(shè)備基本可以覆蓋到半導(dǎo)體制造的各階段所需。尤其在刻蝕,、清洗,、薄膜等設(shè)備方面表現(xiàn)突出。無論是從一,、二級市場追捧,、上市公司業(yè)績亮眼等角度來看，本土半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商已經(jīng)進入了黃金發(fā)展周期,。

　　北方華創(chuàng)和中微公司是刻蝕設(shè)備領(lǐng)域的公司,，刻蝕設(shè)備也是我國最具優(yōu)勢的半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域，已經(jīng)逐漸進入成熟期,。其中中微公司的介質(zhì)刻蝕已進入臺積電5nm產(chǎn)線,，北方華創(chuàng)在ICP（電感耦合等離子體）刻蝕領(lǐng)域較具優(yōu)勢，其14納米等離子硅刻蝕機已成功進入主流項目產(chǎn)線,。

　　北方華創(chuàng)預(yù)計2022年半年度營收50.5億元-57.7億元,，比上年同期增長40%-60%。中微公司預(yù)計 2022年半年度營業(yè)收入約 19.7 億元,，同比增長約 47.1% （2021 年上半年營業(yè)收入13.4 億元,，同比增長約 36.8%）；凈利潤為 4.1億元到 4.5億元,，同比增加 565.42%到 630.34%,。新增訂單約30.6億元，同比增長約62%,。

　　清洗設(shè)備供應(yīng)商盛美半導(dǎo)體2022年上半年營業(yè)收入為10.96億元,，同比增長75.21%，凈利潤為2.37億元,，較上年同期增長163.83%,。半導(dǎo)體清洗設(shè)備、前道半導(dǎo)體電鍍設(shè)備和先進封裝濕法設(shè)備（包含后道電鍍設(shè)備）的營業(yè)收入均有較大增長。

　　CMP設(shè)備供應(yīng)商華海清科預(yù)計2022年半年度營業(yè)收入為 6.8億元至7.5億元,，同比增長131.60%至 155.44%。實現(xiàn)歸屬于母公司所有者的凈利潤為 1.7億元至1.95億元,，同比增長140.99%至176.43%,。

　　半導(dǎo)體晶體生長設(shè)備供應(yīng)商晶盛機電預(yù)計2022年上半年歸屬于上市公司股東的凈利潤為10.8億元–12.5億元，比上年同期增長79.91%–108.22%,。

　　另外據(jù)消息人士稱,，包括拓荊科技、涂膠顯影設(shè)備供應(yīng)商芯源微在內(nèi)的半導(dǎo)體設(shè)備制造商上半年的收入也有顯著增長,，未來 6-12 個月的訂單可見度明顯,。

　　這些上市半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)中多是十幾年摸爬滾打過來的老牌企業(yè)，如今終于守得云開見月明,。此前芯謀研究評價老牌國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)中提到,，“務(wù)實、穩(wěn)定的行業(yè)領(lǐng)頭人和技術(shù)團隊,，正是半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)邁向成功的關(guān)鍵之一,。他們經(jīng)過數(shù)十年的積累，承受住了市場的考驗,。當產(chǎn)業(yè)化機遇來臨之時,，這些經(jīng)驗老道、實力雄厚的實干企業(yè)就乘風而起,?！?/p>

　　國內(nèi)設(shè)備業(yè)的蓬勃發(fā)展不僅體現(xiàn)在上市的設(shè)備企業(yè)中，非上市設(shè)備企業(yè)也迎來了良好的進展,。

　　2022年上半年,，摩爾精英的MEE-T系列ATE測試設(shè)備成功導(dǎo)入3家全球前十大模擬芯片廠商和十余家國產(chǎn)芯片廠商的量產(chǎn)供應(yīng)鏈。

　　MEE-T系列ATE測試設(shè)備是一款成熟穩(wěn)定的數(shù)?；旌蠝y試機,，擅長手機AP、MCU,、PMIC,、IoT等各類芯片產(chǎn)品，巔峰期全球裝機量達到3500臺,。值得一提的是,，MEE-T系列測試設(shè)備協(xié)助某國際模擬巨頭廠商，為其主力產(chǎn)品提升了6.7倍的測試產(chǎn)出效率,，穩(wěn)定性提升了413%,。

　　03

　　資本還在垂青設(shè)備領(lǐng)域

　　在國產(chǎn)設(shè)備的高需求和發(fā)展前景之下，許多初創(chuàng)的半導(dǎo)體設(shè)備公司也獲得了資本的青睞。

　　2022年2月和5月,，北京特思迪半導(dǎo)體設(shè)備有限公司分別獲得兩次戰(zhàn)略融資,，投資者中有哈勃投資的身影。其專注于半導(dǎo)體領(lǐng)域表面加工設(shè)備的研發(fā),、生產(chǎn)和銷售,，針對半導(dǎo)體襯底材料、半導(dǎo)體器件,、先進封裝,、MEMS等領(lǐng)域，提供減薄,、拋光,、CMP的系統(tǒng)解決方案和工藝設(shè)備。2022年5月7日,，電子科大校友企業(yè),、晶圓傳輸設(shè)備供應(yīng)商泓滸半導(dǎo)體完成數(shù)千萬元A輪戰(zhàn)略融資。

　　在半導(dǎo)體檢測設(shè)備領(lǐng)域,，2022年2月17日,，精積微半導(dǎo)體完成3億元戰(zhàn)略融資，聚焦明場晶圓有圖形缺陷檢測設(shè)備領(lǐng)域相關(guān)產(chǎn)品的研究開發(fā)以及生產(chǎn)制造等,；2022年2月15日,，中安半導(dǎo)體完成A輪2億元融資，該公司主要提供半導(dǎo)體硅片平整度檢測設(shè)備,、三維形貌檢測設(shè)備等服務(wù),；2022年2月11日，微崇半導(dǎo)體完成數(shù)千萬元Pre-A輪融資,，該公司致力于研發(fā)材料檢測技術(shù),，生產(chǎn)半導(dǎo)體前道檢測設(shè)備。

　　在封裝設(shè)備領(lǐng)域,，2022年6月15日,，稷以科技完成了中興創(chuàng)投等的戰(zhàn)略融資，金額未透露,，稷以科技的等離子體設(shè)備可用于半導(dǎo)體芯片封裝,；2022年4月，深圳泰研半導(dǎo)體裝備有限公司獲得合創(chuàng)資本投資的數(shù)千萬元A輪融資,，泰研半導(dǎo)體是先進封裝領(lǐng)域的半導(dǎo)體工藝與設(shè)備服務(wù)商,，可為客戶提供SiP、Fanout,、Chiplet,、3D等先進封裝產(chǎn)線上激光+等離子+ 鍍膜成套復(fù)合工藝與制程應(yīng)用設(shè)備,。

　　在整個半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)中，前道設(shè)備在總銷售額大約占85%左右的市場,，后道測試設(shè)備占9%,，后道封裝設(shè)備占比約6%。

　　過去封測類設(shè)備幾乎被國外廠商壟斷,，但是現(xiàn)在隨著國際形勢的變化,，封測OAST廠商們的國產(chǎn)選擇意愿度大幅提升，這也給了國產(chǎn)測試設(shè)備和封裝設(shè)備提供了產(chǎn)業(yè)培育和客戶驗證的機會,。再加上現(xiàn)在資本的看重,，或許能為我國封測設(shè)備的發(fā)展起到一定的推動作用,。

　　04

　　結(jié)語

　　中國是全球最大的半導(dǎo)體設(shè)備市場,，隨著需求不斷上升而推動的高代工資本支出、工藝的開發(fā),、存儲芯片的開發(fā),、環(huán)保生產(chǎn)驅(qū)動的光伏需求、LED,、MEMS,、功率器件和先進封裝的需求不斷增長，未來10年,，中國將成為全球半導(dǎo)體芯片制造的中心,。

　　從歷史角度來看，半導(dǎo)體設(shè)備公司的興起與成長隨著全球芯片制造中心而遷移,。據(jù)SIA的數(shù)據(jù),，在中國大陸晶圓產(chǎn)能的持續(xù)快速擴張的態(tài)勢下，到2030年,，大陸的晶圓產(chǎn)能在全球的占比有望達到24%,。

　　因此，預(yù)計國內(nèi)設(shè)備企業(yè)的市場占比將在未來幾年內(nèi)穩(wěn)步上升,。但在這個上升的過程中,，離不開半導(dǎo)體客戶更大的支持。

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