近日,，一份20世紀(jì)制定的文件頻繁現(xiàn)身,。本月13日消息，美國(guó)商務(wù)部產(chǎn)業(yè)和安全局（BIS）舉行電話會(huì)議。在會(huì)議中，美國(guó)商務(wù)部出口執(zhí)法助理副部長(zhǎng)Kendler表示,，針對(duì)中國(guó)半導(dǎo)體出口管制的ECCN技術(shù)參數(shù)將和“瓦森納協(xié)定”達(dá)成協(xié)同，根據(jù)出口管理?xiàng)l例（EAR）第746.8條,，BIS打算將相關(guān)條款寫進(jìn)該協(xié)定中,。Kendler指出，這一管制規(guī)定對(duì)俄羅斯也同樣有效,。就在一個(gè)月前,，美國(guó)已將28nm以下的12英寸硅片納入瓦森納協(xié)定中，借以壓制中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè),。

　　什么是瓦森納協(xié)定,？為什么它可以限制中國(guó)半導(dǎo)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展？未來(lái)中國(guó)還會(huì)被限制更多產(chǎn)業(yè)嗎,？

　　什么是瓦森納協(xié)定,？

　　先來(lái)簡(jiǎn)單了解一下瓦森納協(xié)定。

　　瓦森納協(xié)定,，又名瓦瑟納爾協(xié)定,，全名為《關(guān)于常規(guī)武器與兩用產(chǎn)品和技術(shù)出口控制的瓦瑟納爾協(xié)定》（The Wassenaar Arrangement on Export Controls for Conventional Arms and Dual-Use Good and Technologies），是一項(xiàng)于1996年5月12日簽訂,，專門管制傳統(tǒng)武器及軍商兩用貨品的多邊出口控制機(jī)制的協(xié)定，目前含42個(gè)成員國(guó)家,。協(xié)定安排參加國(guó)通過(guò)國(guó)家政策來(lái)確保這些物項(xiàng)的轉(zhuǎn)讓不會(huì)有助于發(fā)展受轉(zhuǎn)讓國(guó)的軍事能力,。

瓦森納協(xié)定

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　　1949年二戰(zhàn)結(jié)束后，為了防止社會(huì)主義陣營(yíng)發(fā)展高端武器,，美國(guó)聯(lián)合英法德意土澳等歐洲,、大洋洲17個(gè)國(guó)家，在巴黎成立“輸出管制統(tǒng)籌委員會(huì)” ,，簡(jiǎn)稱“巴統(tǒng)”,，即瓦森納協(xié)定的前身,。1952年巴統(tǒng)中國(guó)委員會(huì)成立，中國(guó)被列入禁運(yùn)名單,。1996年美國(guó)牽頭在“巴統(tǒng)”17國(guó)的基礎(chǔ)上締結(jié)了《瓦森納協(xié)定》,，進(jìn)一步限制中國(guó)科技產(chǎn)業(yè)發(fā)展。

　　文件共包括兩份清單,，一份是軍民兩用商品和技術(shù)清單,，另一份是軍品清單，涵蓋了各類武器彈藥,、設(shè)備及作戰(zhàn)平臺(tái)管制清單,。

　　我們主要關(guān)注第一份清單。它將9類物品納入管控,。即先進(jìn)材料,、材料處理設(shè)備、電子器件,、計(jì)算機(jī),、電信與信息安全、傳感與激光,、導(dǎo)航與航空電子儀器,、船舶與海事設(shè)備、推進(jìn)系統(tǒng),。其中第三類電子器件中,，就囊括了光刻機(jī)、刻蝕機(jī)等關(guān)鍵設(shè)備,。

　　值得注意的是《瓦森納協(xié)定》最初沒(méi)有正式列舉被管制的國(guó)家,，只在口頭上將伊朗、伊拉克,、朝鮮和利比亞4國(guó)列入管制對(duì)象,，各國(guó)也只是參照共同管制原則和清單自行決定管制措施和方式，即“各國(guó)自行處理”原則,。目前中國(guó)儼然已成為該協(xié)定的主要針對(duì)國(guó),，《瓦森納協(xié)定》正逐步淪為美國(guó)制約中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的“私人工具”。

　　瓦森納協(xié)定締約國(guó)

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　　如何限制中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè),？

　　前文提到,，瓦森納協(xié)定兩用清單的第三類包含中國(guó)需要的各類半導(dǎo)體設(shè)備與元器件。2004年,，捷克政府曾批準(zhǔn)捷克ERA公司向我國(guó)出售10部總價(jià)值為5570萬(wàn)美元的“維拉”雷達(dá)系統(tǒng),，但在美國(guó)的壓力下，取消了這一合同,。2006年,，我國(guó)與意大利阿萊尼亞空間公司曾簽署了發(fā)射意衛(wèi)星的合作協(xié)議,，但由于美國(guó)的干預(yù)，意方不惜經(jīng)濟(jì)和信譽(yù)損失而最終取消了合作協(xié)議,。

　　EUV光刻機(jī)作為芯片產(chǎn)業(yè)的核心與最先進(jìn)的半導(dǎo)體設(shè)備,，自然受到美國(guó)的“格外關(guān)注”。

　　2018年4 月,，中芯國(guó)際向 ASML 訂購(gòu)了一臺(tái) EUV 光刻機(jī),，交易金額高達(dá)1.2億美元，預(yù)計(jì)2019年交貨,。此前中芯國(guó)際已經(jīng)與ASML深度合作多年,，除EUV光刻機(jī)外的大部分產(chǎn)品都已經(jīng)進(jìn)口。ASML公開回應(yīng)了中芯國(guó)際采購(gòu)EUV光刻機(jī)這件事,，稱他們對(duì)包括中國(guó)客戶在內(nèi)的全球客戶都一視同仁,，且向中國(guó)出售 EUV 光刻機(jī)并沒(méi)有違反《瓦森納協(xié)定》。荷蘭政府也在同年發(fā)放EUV的出口許可證,。

　　EUV光刻機(jī)

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　　然而交易還未開始就受到美國(guó)阻攔,。據(jù)知情人士消息，美國(guó)在中芯國(guó)際下訂單后的幾個(gè)月內(nèi),，派出官員與荷蘭政府召開四次會(huì)議,，討論能否取消這筆交易。同年12月,，ASML 元件供應(yīng)商 Prodrive 的一家工廠又發(fā)生重大火災(zāi),，導(dǎo)致2019 年年初的產(chǎn)品延后發(fā)出。2019年初,，美國(guó)國(guó)防部官員召見(jiàn)荷蘭駐美大使商討交易的“安全風(fēng)險(xiǎn)”,，同年6月美國(guó)國(guó)務(wù)卿蓬佩奧訪問(wèn)荷蘭并再次施壓。6月30日,，荷蘭政府向ASML頒發(fā)的出口許可證到期,。至此，中芯國(guó)際與ASML的EUV光刻機(jī)交易就被擱置,，后續(xù)只有DUV光刻機(jī)可以完成采購(gòu)流程,。

　　事實(shí)上，美國(guó)對(duì)于中國(guó)光刻機(jī)的限制應(yīng)用當(dāng)時(shí)的瓦森納協(xié)定理由并不充分,，禁售理由是因?yàn)镋UV光刻機(jī)中含有美國(guó)專利而做出限制,。不過(guò)該協(xié)定每年都會(huì)修訂規(guī)則，目前美國(guó)已將ECCN技術(shù)參數(shù)和瓦森納協(xié)定達(dá)成協(xié)同,，瓦森納協(xié)定徹底變成美國(guó)“一言堂”只是時(shí)間問(wèn)題了,。從另一個(gè)角度來(lái)說(shuō),， EUV光刻機(jī)的元器件基本都來(lái)自瓦森納協(xié)定的締約國(guó)境內(nèi),，美國(guó)可以從任意一個(gè)環(huán)節(jié)插手來(lái)阻止交易完成,，中芯國(guó)際要想繞過(guò)所有締約國(guó)進(jìn)口EUV光刻機(jī)困難重重。

　　除光刻機(jī)外,，硅片也是中國(guó)被限制的重要產(chǎn)品之一,。

　　2019年年底，《瓦森納協(xié)定》完成一次重大修訂：“對(duì)300mm直徑硅晶圓的切割,、研磨,、拋光達(dá)到局部平整度的技術(shù)要求，在任意26mm*8mm的面積內(nèi)平整度差小于等于20nm,，以及邊緣去除方面小于等于2mm,。”2022年9月又被爆出28nm以下12英寸大硅片納入?yún)f(xié)定限制,。目前,，《瓦森納協(xié)定》限制中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的規(guī)則越來(lái)越多，限制規(guī)模也越來(lái)越大,。從光刻機(jī)到硅片,，從航空芯片到精密機(jī)床，無(wú)不囊括其中,。

　　未來(lái)美國(guó)

　　還會(huì)利用瓦森納協(xié)定限制什么,？

　　近日，最近美國(guó)華盛頓辦事處高級(jí)法律顧問(wèn)接受國(guó)內(nèi)媒體采訪時(shí)稱：由于俄羅斯也是瓦森納協(xié)定成員國(guó)之一,，未來(lái)可能在某些措施實(shí)施時(shí)加以阻止或推遲,，所以美國(guó)試圖尋求新方法與歐盟、北約達(dá)成合作來(lái)調(diào)整出口管制措施,。

　　這也意味著,，美國(guó)已經(jīng)不滿足瓦森納協(xié)定對(duì)于中國(guó)的制約力，企圖完全拋棄過(guò)去多國(guó)聯(lián)合指定條約時(shí)的“自行處理”原則,，讓瓦森納協(xié)定徹底淪為美國(guó)的“私人武器”,。

　　此前荷蘭光刻設(shè)備研究專家Jos Versteeg在接受媒體訪談時(shí)也談到，即便是美國(guó)商務(wù)部沒(méi)有明言ASML是否需要對(duì)華禁運(yùn),，“瓦森納協(xié)定”本身也可以鉗制ASML對(duì)華正常經(jīng)貿(mào)往來(lái),。

　　目前美國(guó)BIS正著手限制中國(guó)的EDA產(chǎn)業(yè)，將受限產(chǎn)業(yè)鏈繼續(xù)向上游延伸,。據(jù)了解BIS此次行動(dòng)的執(zhí)行文件就是2021年12更新的瓦森納協(xié)定,。不過(guò)瓦森納協(xié)定總有容量“上限”的一天，它加入的限制產(chǎn)業(yè)越多,，中國(guó)也會(huì)相應(yīng)的將更多產(chǎn)業(yè)納入國(guó)產(chǎn)替代的快車道,。近年來(lái)在刻蝕機(jī)與硅片領(lǐng)域，國(guó)產(chǎn)替代項(xiàng)目已經(jīng)吹響反攻的號(hào)角。隨著國(guó)產(chǎn)替代產(chǎn)品逐漸增多,，瓦森納協(xié)定對(duì)中國(guó)的影響也將減弱,。

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