眾所周知，全球能夠生產(chǎn)芯片光刻機(jī)的廠商只有四家,，分別是荷蘭的ASML,，日本的尼康,、佳能，中國的上海微電子,。

其中ASML的技術(shù)最強(qiáng),，是唯一能夠和生產(chǎn)EUV光刻機(jī)的廠商，目前精度已經(jīng)支持到3nm,。接著是尼康,，其浸潤式光刻機(jī)，分辨率可達(dá)到7nm及以下,。

再是佳能,，其干式光刻機(jī)，可實(shí)現(xiàn)55nm及以上的分辨率,，上海微電子也是干式光刻機(jī),，分辨率標(biāo)注為90nm。

不過近日,，有網(wǎng)友表示,，全球第五家光刻機(jī)廠商誕生了，并且還是一家中國大陸的廠商,，一時之間讓大家興奮不已,，畢竟目前在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域，我們最落后的就是光刻機(jī)了,，有了突破必須興奮啊,。

這家廠商叫大族激光,，是國內(nèi)頂尖的激光設(shè)備龍頭,，在全球激光設(shè)備企業(yè)中，Trumpf營收,、利潤規(guī)模第一,，大族激光營收、利潤規(guī)模排名第二,。

大族激光在互動平臺中表示,，公司的光刻機(jī)項(xiàng)目主要應(yīng)用在分立器件領(lǐng)域，分辨率3－5μm,；其中,，接近式光刻機(jī)已投入市場，步進(jìn)式光刻機(jī)已啟動用戶優(yōu)化,。

這基本上就證實(shí)了大族激光擁有自己的光刻機(jī),，所以網(wǎng)友們當(dāng)然很興奮了， 雖然接近式（也稱接觸式）,、步進(jìn)式光刻機(jī)技術(shù)相對于上海微電子還比較落后,，但也是光刻機(jī)啊,。

我們先說一個技術(shù)上的常識，光刻機(jī)在曝光方式上可以分為三類：接觸式光刻機(jī),、接近式光刻機(jī)和投影式光刻機(jī),。

像前面提到ASML、尼康,、佳能,、上海微電子這四大，均使用的是投影式光刻機(jī),，目前已經(jīng)第4代,。

但其實(shí)目前像能夠生產(chǎn)接觸式、步進(jìn)式光刻機(jī)的廠商還有很多,，這些分別是第一,、二代光刻機(jī)。只是這些光刻機(jī),，生產(chǎn)的芯片工藝很是成熟,，大多都是μm級別，達(dá)不到nm工藝,，所以大家習(xí)慣性的不說這些光刻機(jī),。

故，大族激光也表示,，自己的光刻機(jī)項(xiàng)目主要應(yīng)用在分立器件領(lǐng)域,，分辨率為3－5μm。所以這種光刻機(jī),，并不是大家想的能夠制造高端芯片的光刻機(jī),，也并不是當(dāng)前的主流芯片制造的光刻機(jī)，大家不必太激動,。

當(dāng)然,，任何技術(shù)都是從低端開始的，大族激光雖然現(xiàn)在只能夠生產(chǎn)接觸式,、接近式光刻機(jī),，說不定后續(xù)也能夠生產(chǎn)浸潤式、EUV光刻機(jī)呢,，所以我們還是可以報以極大的期待的,。

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