如果大家關注光刻機,，一定在網上聽說過一句話，說是ASML嘲笑中國光刻機的：“就是給全套圖紙,，中國人也造不出光刻機來,。”

這句話究竟ASML有沒有說,，就無從考證了,。不過上海微電子的創(chuàng)始人＆董事長兼總經理賀榮明曾在公開場合表示，公司剛成立時,，他帶隊去歐洲考察,，說要造光刻機時，歐洲的光刻機專家確實說過這樣的話,。

當然,，現(xiàn)在看起來，這句話就是笑話,，因為上海微電子已經造出了光刻機,，雖然精度還在90nm，但就是造了出來,。

但從這句話,，還是能夠看出，中國光刻機在過去,，究竟有多難,，歐洲對中國要造光刻機，有多蔑視,。

美國造出全球第一臺光刻機是在1961年,，是美國的GCA公司造出來的，這是一臺接觸式光刻機,，曝光精度1um,，線寬＞3um，用于2～6寸的晶圓片,。

而中國據(jù)說第一臺接觸式光刻機是在1966年左右造出來的,，由中國科學院微電子研究所與上海光學儀器廠協(xié)作，造出了一臺65型接觸式光刻機,。

后來美國在70年代,，造出了接近式光刻機，后來在70年代末又推出了分布式光刻機……

但當時的中國實在底子薄,，半導體也沒得到重視,，差不多是0,，又加上美國對中國實行技術封鎖,，很多人連光刻機是什么都不知道,，更不要說去造了。

所以很多年來,，國內一直停留在接觸式光刻機,，沒有新的進展。更重要的是,，當時中國芯片制造也沒跟上時代,，這臺接觸式光刻機，也沒有大規(guī)模的應用,，更多是用于研究,，和工業(yè)化生產沒有關系。

直到70年代末,，中國科技界發(fā)現(xiàn)半導體越來越重要,，而半導體離不開光刻機，才明確提出要改進光刻設備,，盡快趕超世界先進水平,。

于是清華大學精密儀器系，中電科等科研機構再次發(fā)力,，大家紛紛開始研發(fā)新型光刻機,。

據(jù)稱1980年清華大學的研發(fā)團隊研發(fā)出了分布式投影光刻機，而到1985年中電科45所也研發(fā)出了分布式投影光刻機,，其性能與美國GCA公司在1978年推出的差不多,，也就是只落后了7年左右。

但還是像之前一樣,，國內的芯片產業(yè)本身就不發(fā)達,，研制出光刻機，也是用于理論研究,，根本就沒有放到晶圓廠大規(guī)模應用,，而脫離工業(yè)生產的光刻機，產業(yè)化一直停滯不前,，基本上是為了造而造,，不是為了市場需要而造。

而80年代后,，國內又興起了一股引進潮,，說得不好聽一點，就是“造不如買”,，只要有錢,，就可以從美國,、日本、歐洲買到光刻機,，以及全套的芯片生產線,，那還造什么造？

于是本來只落后幾年的光刻機技術,，以及國產芯片產業(yè),，在那10多年間，再次停滯不前了,，被美國,、歐洲、日本,、韓國超過,，并甩到了腦后。

直到1999年,，科索沃戰(zhàn)爭爆發(fā),，這場戰(zhàn)爭中，美國用電子信息技術,，癱瘓了南聯(lián)盟幾乎所有網絡系統(tǒng),。

這讓國內科技界真正重視起電子、信息,、半導體產業(yè)了,，同時也轉變了思想，那就是“買不如造”,，因為買的東西不是自己的,，一旦和美國鬧翻，國家信息安全將面臨嚴重威脅,。

于是研制先進的光刻機再次被提出來,，并被列入了“863重大科技攻關計劃”。

在2002年的時候,，承擔攻堅項目任務的上海微電子裝備（集團）股份有限公司就這樣正式成立了,，總經理就是賀榮明，公司成立后,，他就帶著技術團隊去歐洲,、美國考察學習，歐洲專家很瞧不起他們,，于是就說出了：給全套圖紙,，中國人也造不出光刻機的話。

上海微電子成立后,，想要造的光刻機,，是193nm光源的干式光刻機,，但此時已經落后國際水平20多年了，因為像尼康,、佳能已經在20多年前就研究193nm的光刻機了,，正在向165nm進發(fā)。

而ASML此時更是聯(lián)手臺積電,，轉向浸潤式光刻機,，用水為介質,，要跳過165nm,，用水為介質，讓193nm光源直接等效于134nm光源的光刻機,。

努力了5年,，2007年上海微電子的光刻機研制成功，但核心器件主要來源于美國,、歐洲等,，美國對其進行了禁運，所以雖然研制出來了,，還是無法量產,，只是空中樓閣。

接下來的時間,，上海微電子只能與國內供應鏈一起,，攻關各種關鍵材料，實現(xiàn)國產,，擺脫對西方元件的依賴,，這一努力又是10年，直到2016年,，上海微電子193nm光源的90nm精度的干式光刻機,，才實現(xiàn)全面量產。

后來的故事大家都清楚,，由于光刻機的核心元件,、技術一直被封鎖，所以上海微電子的光刻機技術,，也一直沒有太多的進步,，目前最高精度為90nm。

更重要的是,，光刻機的進步必須要跟隨產業(yè)的進步,，目前國內的晶圓制造設備，基本上都是來源于西方,，光刻機與其它設備是配套的,，大家買ASML的,、尼康的、佳能的,，基本不用國產的,。

再加上美國禁運、技術限制,，國產光刻機到現(xiàn)在,，依然落后國外20年，可以說還沒有完全走出困境,。

不過,，現(xiàn)在大家都明白了一點，那就是“買不如造”,，只有自己擁有的,，才能不被卡脖子，所以光刻機項目得到了前所未有的重視,，一直在努力追趕,。

更重要的是，芯片產業(yè)也清楚的明白,，只有自己的才是能夠掌控的,，也越來越多的使用國產光刻機，讓其產業(yè)化,。但說實話,，要追上國際水平，還得繼續(xù)努力,，并且可能還得許多年,，得坐得住冷板凳才行。

       原文標題 : 國產光刻機的艱難往事：給全套圖紙,，中國人也造不出光刻機,？

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