2月2日,湖南凱美特氣體股份有限公司 (以下簡(jiǎn)稱“凱美特氣”)發(fā)布公告稱,,公司控股子公司岳陽(yáng)凱美特電子特種稀有氣體有限公司(以下簡(jiǎn)稱“岳陽(yáng)凱美特”)光刻氣產(chǎn)品獲得ASML子公司Cymer公司合格供應(yīng)商認(rèn)證,。
根據(jù)公告,岳陽(yáng)凱美特生產(chǎn)于2月2日收到Cymer公司發(fā)來(lái)的合格供應(yīng)商認(rèn)證函,,岳陽(yáng)凱美特生產(chǎn)的光刻氣產(chǎn)品通過(guò)了Cymer公司審查,,Cymer公司已將凱美特電子特種氣體公司光刻氣產(chǎn)品列入合格供應(yīng)商名單。
資料顯示,,ASML子公司Cymer是世界領(lǐng)先的準(zhǔn)分子激光源提供商,,是深紫外技術(shù)的行業(yè)領(lǐng)導(dǎo)者,是ASML集團(tuán)內(nèi)一家獨(dú)立運(yùn)營(yíng)的企業(yè),。
Cymer公司發(fā)明了如今半導(dǎo)體制造中最關(guān)鍵的光刻技術(shù)所需的深紫外(DUV)光源,,開(kāi)發(fā)、制造和服務(wù)深紫外(DUV)光源,。
產(chǎn)品組合包括使用氟化氬(ArF)或氟化氪(KrF)氣體產(chǎn)生深紫外光的準(zhǔn)分子激光器,。
凱美特氣表示,公司光刻氣產(chǎn)品通過(guò)Cymer公司的合格供應(yīng)商認(rèn)證,,是Cymer公司對(duì)公司在光刻氣生產(chǎn)領(lǐng)域的生產(chǎn)能力,、產(chǎn)品質(zhì)量的認(rèn)可,也是公司先進(jìn)的產(chǎn)品生產(chǎn)技術(shù),、鋼瓶?jī)?nèi)壁處理技術(shù),、氣體分析技術(shù)等各方面綜合實(shí)力、競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)的體現(xiàn),。
國(guó)產(chǎn)化浪潮下,,國(guó)內(nèi)廠商遇良機(jī)……
電子氣體是現(xiàn)代工業(yè)之基石,被譽(yù)為晶圓制造之“血液”,,下游廣泛應(yīng)用于集成電路,、面板、醫(yī)療、光纖等新興行業(yè)和冶金,、化工等傳統(tǒng)行業(yè),。
電子特氣在半導(dǎo)體晶圓制造應(yīng)用中占比約70%,其次是面板顯示市場(chǎng)占比約20%,。
除此之外,,電子特氣還廣泛應(yīng)用于LED、太陽(yáng)能電池,、醫(yī)療健康等領(lǐng)域,。
在集成電路等高端領(lǐng)域,電子氣體被液化空氣集團(tuán),、林德集團(tuán),、大陽(yáng)日酸、日本昭和電工等國(guó)外氣體公司壟斷,,國(guó)內(nèi)廠商市場(chǎng)份額較小,。
然而,近年來(lái),,隨著全球晶圓廠的加速擴(kuò)建以及產(chǎn)能的逐步釋放,,下游市場(chǎng)對(duì)電子特種氣體的需求廣闊。
另外,,隨著中國(guó)半導(dǎo)體制造的崛起,,也加速推動(dòng)了半導(dǎo)體材料的國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程。
有數(shù)據(jù)顯示,,2017-2021年,,中國(guó)特種氣體市場(chǎng)規(guī)模從175億元增至342億元,年復(fù)合增速達(dá)18%,,預(yù)計(jì)到2026年中國(guó)特種氣體行業(yè)的市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)到808億元,,2021-2026年復(fù)合增長(zhǎng)率為18.76%。
據(jù)悉,,凱美特氣并否國(guó)內(nèi)首家獲得ASML認(rèn)證的電子特氣廠商,,在此之前,國(guó)內(nèi)另一家電子特氣上市公司華特氣體自主研發(fā)的Ar/F/Ne,、Kr/Ne,、Ar/Ne和Kr/F/Ne4種混合氣已于2017年得到ASML的認(rèn)證。
此外,,國(guó)內(nèi)上市公司杭氧股份,、金宏氣體、 南大光電等也均在逐鹿高端電子特氣領(lǐng)域,。
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