光譜共焦傳感器

　　光譜共焦傳感器可測量任何材料的物體表面,，如金屬,、玻璃、陶瓷,、塑料,、織物等。不論什么顏色,，物體表面是漫反射還是高光面,，乃至是鏡面,，法國STIL光譜共焦傳感器都能輕松測量。光譜共焦傳感器,，按類型可分為點(diǎn)光譜共焦,、線光譜共焦,、線陣視覺檢測系統(tǒng),、多點(diǎn)式傳感器，及3D測量系統(tǒng),。

　　↑STIL EVEREST-K1/K2 光學(xué)筆

　　針對觸控行業(yè)3D玻璃的測量需要,，STIL開發(fā)出超大測量角度的EVEREST-K1產(chǎn)品，在1mm的測量行程內(nèi),，鏡面測量角度最高達(dá)±44?,，相比常規(guī)光譜共焦傳感器25?的測量角度，此產(chǎn)品在保證產(chǎn)品分辨率小于50nm,、測量精度100nm的情況下,，最大可能地覆蓋了3D玻璃測量所需的角度。2019年推出的EVEREST-K2,，量程由1mm提高到2mm,，滿足了大量程測量的需求。

　　涂層測厚傳感器

　　↑涂層測厚傳感器

　　可在移動(dòng)產(chǎn)線上對涂層進(jìn)行非接觸,、實(shí)時(shí)快速,、無損測量。工作距離2-50cm,，可測量厚度為：10nm-1?m（亞微米涂層）,，1?m–500?m（涂料/聚合物），1?m-1mm（金屬涂層）,?？稍诟邷丨h(huán)境、易碎或潮濕環(huán)境等各種工業(yè)環(huán)境中工作,。適用于各種基材上的各種涂層,，如粉末和干濕油漆、汽車涂層,、金屬防腐合金涂層,、等離子噴涂減摩涂層、金屬盤的PTFE涂層,、玻璃油墨檢測,、陽極氧化鋁、金屬表面的橡膠涂層,、鋁部件上的熱噴涂等,。

　　優(yōu)勢特點(diǎn)：

　　【非接觸】測量涂層厚度時(shí)與部件無任何接觸,。激光和紅外傳感器可分析2至50厘米距離的涂層。這意味著可以在工業(yè)涂層環(huán)境中測量工件,，即使它們位于移動(dòng)產(chǎn)線上,、在高溫環(huán)境中，甚至易碎或潮濕環(huán)境中,。

　　【無損測量】由于激光束產(chǎn)生的熱量極少,，因此測量過程中涂層和工件都不會(huì)被損壞或改變。對于那些迄今已有的方法會(huì)破壞測試樣品的工業(yè)運(yùn)用,，它可以系統(tǒng)地測量每個(gè)工件,。

　　【實(shí)時(shí)快速】測量通常不到一秒鐘，具有高度重復(fù)性,。這樣可以控制高達(dá)100％的涂層部件,，嚴(yán)格遵循涂層工藝性能并實(shí)時(shí)反應(yīng)以保持最佳狀態(tài)。

　　白光干涉位移傳感器

　　白光干涉測量專用于非接觸式快速測量,，精密零部件之重點(diǎn)部位的表面粗糙度,、平面度、表面缺陷,、磨損情況,、腐蝕情況、孔隙間隙,、面形輪廓及臺階段差尺寸,，其測量精度可以達(dá)到納米級。目前,，在3D測量領(lǐng)域,，白光干涉儀是精度最高的測量儀器之一，具有以下優(yōu)點(diǎn)：

　　非接觸三維表面輪廓測量,。

　　噪音小,，測量重復(fù)性好。

　　納米級分辨率：Z軸分辨率最高可達(dá)0.1nm

　　測量的點(diǎn)云數(shù)多：一個(gè)面最多可以達(dá)到500萬個(gè)點(diǎn),，點(diǎn)間距小,，XY分辨率高。

　　多種視野范圍可供選擇,，快速切換物鏡變換視野,。

　　測量速度快，可實(shí)現(xiàn)在線測量,。

　　可以測量更大傾斜角的產(chǎn)品,，漫反射面可測接近90度的斜面。

　　軟件包MountainsMap可用于復(fù)雜的測量任務(wù),，如粗糙度,，表面結(jié)構(gòu),，微觀幾何形狀和輪廓。自動(dòng)化有多種選擇：可使用SDK,，I/O模塊和幾條工業(yè)產(chǎn)線解決方案,。

　　attocube激光干涉位移傳感器

　　Attocube systems AG，因其在工業(yè)研究領(lǐng)域的納米技術(shù)尖端解決方案的開發(fā),、生產(chǎn)和分銷的卓越創(chuàng)新而享譽(yù)國際,。其產(chǎn)品組合包括，超精密驅(qū)動(dòng)單元,，干涉位移傳感器和低溫顯微鏡系統(tǒng)及低溫恒溫器,，其工作接近技術(shù)和物理的極限,。其新建的納米工廠,，具有現(xiàn)代化工作設(shè)備和生產(chǎn)設(shè)施；認(rèn)證和合規(guī),，致力于引領(lǐng)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),。

　　IDS3010是超緊湊型干涉式位移測量傳感器，配備了三個(gè)基于光纖的傳感器頭,。非常適合機(jī)器集成,，并兼容各種工業(yè)網(wǎng)絡(luò)。由于集成了網(wǎng)絡(luò)服務(wù)器,，因此可以隨時(shí)對傳感器進(jìn)行遠(yuǎn)程校準(zhǔn),，初始化和（重新）配置。

　　無與倫比的技術(shù)規(guī)格使系統(tǒng)性能倍增：IDS3010以10-12m的亞原子分辨率提供10MHz的數(shù)據(jù)采集帶寬,。靈敏度非常出色的前提下,，仍可達(dá)到5米的工作距離，并能夠跟蹤高達(dá)2m/s的目標(biāo)速度,。

　　IDS3010干涉式位移傳感器,，是attocube激光干涉儀的最新和小型化版本，用于測量納米范圍內(nèi)的位移（增量距離）,。IDS3010的模塊化和小型化設(shè)計(jì),，使三個(gè)測量軸都能輕松適應(yīng)各種應(yīng)用。IDS3010非常緊湊便攜,，可直接集成到機(jī)器中,，是具有挑戰(zhàn)性的OEM和同步加速器應(yīng)用的首選產(chǎn)品。被動(dòng)冷卻的外殼可最大程度地減少噪聲和振動(dòng),，避免干擾其他光學(xué)和電氣組件,。

　　傳感器可直接集成到機(jī)床、半導(dǎo)體設(shè)備,、三坐標(biāo)測量系統(tǒng)等設(shè)備上,。能夠在三個(gè)軸上測量,，可實(shí)現(xiàn)從幾毫米到幾米的大工作距離測量，可對不同材料進(jìn)行最精確的測量,。提供模塊化測量設(shè)置和極其緊湊的激光傳感器頭已獲得專利,，該技術(shù)還可以進(jìn)行振動(dòng)測量，旋轉(zhuǎn)跳動(dòng)測量或機(jī)床校準(zhǔn),。

　　attocube壓電納米精密定位臺

　　Attocube的室溫和低溫納米精度移動(dòng)平臺,， 專為納米定位而設(shè)計(jì)，在極端環(huán)境條件下（如低溫,，高磁場和超高真空）具有最高精度,。適用于大氣和真空條件，并且可根據(jù)客戶的應(yīng)用提供各種不同的選擇,，如使用重量輕的強(qiáng)鋁用于大氣層,，而不銹鋼外殼兼容高達(dá)真空條件。壓電納米精密定位臺具有如下特點(diǎn)：

　　【高負(fù)荷】借助獨(dú)特的壓電驅(qū)動(dòng)技術(shù),，剛性機(jī)械設(shè)計(jì)及交叉滾子軸承的應(yīng)用,，ECS定位器能夠在納米級上移動(dòng)，可承受高達(dá)幾千克的負(fù)載,。

　　【材料＆預(yù)期壽命】室溫優(yōu)化的驅(qū)動(dòng)機(jī)制,，再加上不銹鋼鋁作為主體材料，與高端系列閥門定位器相比,，可顯著降低成本,，同時(shí)可實(shí)現(xiàn)約500000次循環(huán)壽命。

　　【多軸操作】attocube的ECS定位器具有多種設(shè)計(jì),，尺寸和行程范圍,。它們可以直接堆疊在一起進(jìn)行多軸操作。

　　【閉環(huán)控制】結(jié)合三軸驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備ECS100,，ECS定位器能夠?qū)崿F(xiàn)1nm（1μ°）的閉環(huán)定位分辨率,，同時(shí)提供最高可達(dá)4.5 mm/s （10°/s）的速度。50nm（50μ°）的位置可重復(fù)性是工業(yè)生產(chǎn)線的最高標(biāo)準(zhǔn),。

　　【大行程范圍】ECS系列定位器,，采用了基于attocube慣性驅(qū)動(dòng)技術(shù)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，該驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)專門對大行程范圍為厘米的,、環(huán)境溫度下的應(yīng)用進(jìn)行了修改,。

　　【真空兼容】工業(yè)產(chǎn)線的定位器，用于室溫和超高真空到環(huán)境的壓力范圍,。所有平臺均可采用陽極氧化鋁或不銹鋼制成,，滿足光學(xué)和特高壓應(yīng)用。

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