出品丨自主可控新鮮事

　　本文內(nèi)容來(lái)源于一顆青木,、365EDA電子論壇

　　近日,，我國(guó)EUV光刻機(jī)研發(fā)取得重大突破。

　　近年來(lái)在西方技術(shù)封鎖下,，先進(jìn)半導(dǎo)體關(guān)鍵制造設(shè)備EUV光刻機(jī)被限制出口至中國(guó)大陸,。而面對(duì)西方的不斷打壓，我國(guó)科研人員潛心研發(fā),，終于成功研制出EUV重要部件——光源工程化樣機(jī),，為我國(guó)突破“卡脖子”技術(shù)做出重大貢獻(xiàn)。

　　哈工大,、長(zhǎng)春光機(jī)所攻破EUV光刻機(jī)三大核心技術(shù)

　　EUV光刻機(jī)共有三大核心技術(shù),，分別為EUV光源系統(tǒng)，高精度弧形反射鏡系統(tǒng),、超高精度真空雙工件臺(tái),。

　　早在2015年，中國(guó)的長(zhǎng)春光機(jī)所就已經(jīng)研發(fā)出了EUV光刻機(jī)的高精度弧形反射鏡系統(tǒng),，多層層鍍膜面形誤差小于0.1nm,，達(dá)到了EUV級(jí)光刻機(jī)的標(biāo)準(zhǔn)。但這套系統(tǒng)有個(gè)小問(wèn)題,，并非所有零部件都是國(guó)產(chǎn)的,，其中鍍膜裝置采購(gòu)自海外。

　　2021年7月,，中科院控股企業(yè)北京中科科美成功研發(fā)出鍍膜精度控制在0.1nm以內(nèi)的直線式勞埃透鏡鍍膜裝置及納米聚焦鏡鍍膜裝置,，滿足了長(zhǎng)春光機(jī)所對(duì)零部件的技術(shù)要求。

　　中科科美研發(fā)的鍍膜裝置送到長(zhǎng)春光機(jī)所后,，我國(guó)立刻制造出了EUV級(jí)光刻機(jī)級(jí)別的高精度弧形反射鏡系統(tǒng),。

　　這次純國(guó)產(chǎn)，每一個(gè)零部件都是國(guó)產(chǎn),。

　　至此EUV光刻機(jī)的三大核心技術(shù)被我國(guó)突破了一個(gè),，還剩兩個(gè)。

　　2022年12月7日,，哈工大傳來(lái)喜訊,，儀器學(xué)院胡鵬程教授團(tuán)隊(duì)研發(fā)的“高速超精密激光干涉儀”，榮獲中國(guó)光學(xué)領(lǐng)域最高榮譽(yù)金隧獎(jiǎng),，并在金獎(jiǎng)名單里位列第一,。

　　這一技術(shù)解決了該領(lǐng)域存在的測(cè)不準(zhǔn)、測(cè)不精、測(cè)不快的核心難題,，對(duì)于促進(jìn)我國(guó)關(guān)鍵核心技術(shù),、突破“卡脖子”難題有著重大意義，是解決我國(guó)高端光刻機(jī)設(shè)備國(guó)產(chǎn)化的重要條件,。

　　具體來(lái)說(shuō),，高速超精密激光干涉儀的探測(cè)頭體積小，可以嵌入到試驗(yàn)裝置或精密裝備中,，在狹小的空間中進(jìn)行測(cè)量任務(wù),，再加上它只需要單根光纖就可以連接探測(cè)頭和主機(jī)，更容易完成超精密的測(cè)量目標(biāo),，可以對(duì)晶圓,、物鏡系統(tǒng)、工作臺(tái)位置的超精準(zhǔn)定位,，從而為我國(guó)高端光刻機(jī)研發(fā)提供嵌入式在線測(cè)量手段,，為納米計(jì)量測(cè)試提供核心儀器。

　　因?yàn)楣ご蟮呢暙I(xiàn),，EUV級(jí)光刻機(jī)的三大核心技術(shù)的第二項(xiàng),，被我國(guó)成功突破。

　　還剩下的那最后一項(xiàng)是EUV光源系統(tǒng),，也是EUV光刻機(jī)的心臟部件,。

　　沒(méi)有EUV級(jí)光源，哪怕其他光刻機(jī)部件中國(guó)全都造出來(lái)了也沒(méi)用,。

　　2023年4月13日,，長(zhǎng)春光機(jī)所官網(wǎng)公布消息，中國(guó)科學(xué)院院士,、中國(guó)科學(xué)院前院長(zhǎng)白春禮在長(zhǎng)春光機(jī)所參觀了EUV光源系統(tǒng),。

　　這是首次官方發(fā)文證實(shí)了我國(guó)已成功研發(fā)出EUV光源系統(tǒng)。

　　值得注意的是,，在官網(wǎng)介紹的配圖里明確表示,，白春禮院士參觀的是EUV光源樣機(jī)，也就是說(shuō)長(zhǎng)春光機(jī)所已經(jīng)完成了工程樣機(jī)的制造,。

　　隨著一項(xiàng)項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)的攻克,，我國(guó)距離芯片完全國(guó)產(chǎn)化的目標(biāo)也越來(lái)越近。

　　對(duì)此,，外媒的評(píng)價(jià)是“炸裂式技術(shù)突破”,。

　　光刻機(jī)巨頭和美半導(dǎo)體協(xié)會(huì)：不能失去中國(guó)市場(chǎng)

　　隨著中國(guó)對(duì)EUV光刻機(jī)研發(fā)進(jìn)度的不斷增長(zhǎng)，ASML對(duì)中國(guó)的態(tài)度也在不斷變化,。

　　美國(guó)剛啟動(dòng)對(duì)華制裁時(shí)，ASML的一個(gè)工程師網(wǎng)上發(fā)文說(shuō)就算給中國(guó)人圖紙他們也造不出光刻機(jī),，甚至還說(shuō)：

　　先別提把極紫外光刻機(jī)EUV給造出來(lái),，就是把EUV給用好都是一件無(wú)比復(fù)雜的事情,，臺(tái)積電算是我們的客戶，我很佩服臺(tái)積電的工程師或者說(shuō)他們整個(gè)的體系,。他們對(duì)光刻機(jī)的使用技巧達(dá)到了某種讓人欽佩的高度,。

　　意思很明確，他認(rèn)為中國(guó)人別說(shuō)造出EUV光刻機(jī),，就連用好EUV光刻機(jī)都?jí)騿堋?/p>

　　2021年7月,，中國(guó)造出了純國(guó)產(chǎn)的高精度弧形反射鏡系統(tǒng)并公示。

　　2022年1月,，ASML總裁溫克寧在公開(kāi)場(chǎng)合表示：

　　中國(guó)目前不太可能獨(dú)立掌握頂級(jí)光刻技術(shù),，因?yàn)榘⑺果溡蕾囉?quot;不懈的創(chuàng)新"，并整合了只有非中國(guó)供應(yīng)商才能獲得的組件,。

　　但同時(shí)他也說(shuō)：

　　中國(guó)并非永遠(yuǎn)無(wú)法掌握頂級(jí)光刻技術(shù),，因?yàn)槲覀兯赖奈锢矶桑袊?guó)人也知道,，他們一定會(huì)努力去掌握這項(xiàng)技術(shù),。永遠(yuǎn)不要說(shuō)得太絕對(duì)。他們肯定在嘗試,?！?/p>

　　簡(jiǎn)單的說(shuō)，溫克寧認(rèn)為中國(guó)的研發(fā)有點(diǎn)威脅,，需要略加警惕,，但威脅不大。

　　2022年下半年,，哈工大成功研發(fā)真空用超高精度激光干涉儀,，并公開(kāi)獲獎(jiǎng)。

　　2023年1月,，ASML總裁溫克寧在公開(kāi)場(chǎng)合表示：

　　美國(guó)帶頭的針對(duì)中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)的制裁措施,，不僅不會(huì)給中國(guó)造成太大傷害，反而會(huì)倒逼中國(guó)人在高端芯片領(lǐng)域研究出自己的技術(shù),。

　　“中國(guó)的物理定律和全世界的都一樣,，中國(guó)沒(méi)理由造不出光刻機(jī)”

　　3月9日，荷蘭政府首次表態(tài),，將以“國(guó)家安全”為由,，宣布將對(duì)包括“最先進(jìn)的”深紫外光刻機(jī)（DUV）在內(nèi)的特定半導(dǎo)體制造設(shè)備實(shí)施新的出口管制，并加入美國(guó)對(duì)華芯片出口管制的陣營(yíng),。但ASML CEO溫寧克卻似乎并不想加入美國(guó)的管制陣營(yíng),。

　　2023年4月13日，長(zhǎng)春光機(jī)所官網(wǎng)宣布中國(guó)已成功研發(fā)EUV光源的工程樣機(jī)。

　　4月17日,，荷蘭ASML總裁溫可寧在公開(kāi)場(chǎng)合發(fā)言稱：

　　“中國(guó)自主研發(fā)光刻機(jī),，自主建設(shè)芯片產(chǎn)業(yè)鏈，將會(huì)破壞全球芯片產(chǎn)業(yè)鏈,?！?/strong>

　　隨后4月27日，他在公司召開(kāi)的年度股東大會(huì)中,，對(duì)一些國(guó)家實(shí)施芯片補(bǔ)貼帶來(lái)的影響發(fā)出了警告,，并對(duì)中國(guó)采購(gòu)設(shè)備需求進(jìn)行了展望。

　　溫寧克稱,，美國(guó)或歐盟的芯片法案將導(dǎo)致半導(dǎo)體行業(yè)無(wú)法立刻消化新增產(chǎn)能,，從而導(dǎo)致芯片產(chǎn)業(yè)不斷出現(xiàn)供應(yīng)過(guò)剩或短缺的情況,。中國(guó)大陸是阿斯麥僅次于中國(guó)臺(tái)灣地區(qū)和韓國(guó)的第三大市場(chǎng),。因此他強(qiáng)調(diào)，阿斯麥與中國(guó)市場(chǎng)的往來(lái),，無(wú)論是對(duì)阿斯麥來(lái)說(shuō),，還是對(duì)中國(guó)客戶來(lái)說(shuō)，都十分重要,。

　　此外,，據(jù)美媒報(bào)道，當(dāng)?shù)貢r(shí)間5月3日,，美國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)（SIA）總裁兼首席執(zhí)行官約翰·紐菲爾在接受彭博社采訪時(shí)表示,，中國(guó)是美國(guó)半導(dǎo)體最大的市場(chǎng)，盡管美國(guó)政府存在所謂“國(guó)家安全”方面的顧慮,，但美國(guó)半導(dǎo)體公司不能缺席中國(guó)市場(chǎng),。

　　在西方重重打壓與阻撓下，中國(guó)更加堅(jiān)定了自立自強(qiáng)的決心,，增強(qiáng)了自主研發(fā)能力,，在這種趨勢(shì)下，西方的態(tài)度似乎正在發(fā)生轉(zhuǎn)變,。

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