2024年3月20日,，半導(dǎo)體行業(yè)盛會 SEMICON China 2024啟幕,，全球高端半導(dǎo)體設(shè)備制造商德國PVA TePla集團再次亮相，并向行業(yè)展示其最新打造的國產(chǎn)碳化硅晶體生長設(shè)備“SiCN”,。該設(shè)備專為中國市場定制,，并結(jié)合半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)特點,，將德國的設(shè)計經(jīng)驗和理念與中國本土化生產(chǎn)配套能力優(yōu)勢聯(lián)合,，采用PVT法(物理氣相傳輸工藝)生產(chǎn)碳化硅晶體，計劃于2024年第二季度投入市場,。

PVA TePla亮相SEMICONChina2024

　　“作為PVA TePla在華打造的首款國產(chǎn)碳化硅晶體生長設(shè)備,，‘SiCN’旨在幫助我們更好地滿足本土化需求，為中國市場提供成熟穩(wěn)定的工藝設(shè)備,，進一步幫助合作伙伴提升市場競爭力?！钡聡鳳VA TePla集團半導(dǎo)體業(yè)務(wù)中國區(qū)負責(zé)人謝秀紅表示,，“中國已成為全球第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中碳化硅襯底制造的重要基地。PVA TePla在晶體生長設(shè)備設(shè)計和制造領(lǐng)域積累了豐富的經(jīng)驗,，未來將持續(xù)致力于加強本土化供應(yīng)鏈建設(shè),，完善本土團隊的技術(shù)服務(wù)能力，助力中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展,?！?/p>

　　打造首款國產(chǎn)碳化硅晶體生長設(shè)備

　　在中國，電動汽車和諸多新興行業(yè)的蓬勃發(fā)展為碳化硅襯底材料帶來廣闊機遇,。碳化硅半導(dǎo)體材料的生產(chǎn)技術(shù)日漸成熟穩(wěn)定,，并已形成相當(dāng)?shù)墓I(yè)規(guī)模。作為最早將碳化硅晶體設(shè)備引入中國市場的企業(yè)之一,，德國PVA TePla集團始終致力于融合中德前沿技術(shù)優(yōu)勢,。“SiCN”融匯了中國的本土化采購,、生產(chǎn)配套能力和德國的技術(shù)積累和傳承,，通過設(shè)備更好的可靠性和一致性運行，有效提高良品率,，在降低制造成本的同時達到更優(yōu)效益,，幫助下游客戶有效提高最終產(chǎn)品的附加值和核心競爭力。

PVA TePla碳化硅晶體生長設(shè)備

　　·定制化：特定的晶體生長工藝通常是企業(yè)的高度機密,，定制化晶體生長平臺對于驗證和優(yōu)化其工藝至關(guān)重要,。PVA TePla可為客戶提供專業(yè)定制化解決方案，以滿足行業(yè)獨特的工藝和知識產(chǎn)權(quán)需求,，從而實現(xiàn)無縫擴展以進行大規(guī)模生產(chǎn),。

　　·靈活性：“SiCN”的設(shè)計可采用和更換成熟供應(yīng)商的標(biāo)準(zhǔn)組件以及定制組件，保證設(shè)備可以使用最新的研發(fā)成果,，實現(xiàn)持續(xù)的技術(shù)進步,。

　　·可靠生產(chǎn)：“SiCN”系統(tǒng)設(shè)計緊湊，自動化程度高,，可最大化節(jié)約整體運營空間,，同時方便維護,，可實現(xiàn)可靠的大規(guī)模生產(chǎn)?？蛻暨€可整合如加料小車,、多種真空泵選項和測量設(shè)備等其他部件，進一步提升系統(tǒng)功能,。

　　·高生產(chǎn)效能：晶體生長過程需要具備在超過2,000°C的高溫條件下長時間運行,，因此優(yōu)異的能源效率可以實現(xiàn)更佳的成本效益?！癝iCN”采用經(jīng)驗證的低能耗感應(yīng)線圈設(shè)計,，實現(xiàn)高效率的感應(yīng)加熱，有效降低能耗,，優(yōu)化生產(chǎn)成本,。

　　德國PVA TePla集團已在全球范圍內(nèi)銷售SiC晶體生長系統(tǒng)，并與全球領(lǐng)先的主流碳化硅襯底材料供應(yīng)商共同研發(fā)并為其提供長晶設(shè)備,，其設(shè)備穩(wěn)定性和產(chǎn)品質(zhì)量一致性,，在大尺寸碳化硅材料的研發(fā)過程中起到了關(guān)鍵作用。

　　建立中國供應(yīng)鏈與本土化配套服務(wù)

　　目前,，德國PVA TePla集團已在中國建立生產(chǎn)基地,、演示中心及供應(yīng)鏈中心，旨在將高端設(shè)備國產(chǎn)化,，以更好地助力中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)提升和發(fā)展,，特別是碳化硅晶體和大尺寸單晶硅片的生產(chǎn)。同時,，為了貼合本土市場需求,，德國PVA TePla集團也在進一步完善本地團隊技術(shù)服務(wù)，加強與下游合作伙伴的研發(fā)合作,，并且提供更加專業(yè)化,、定制化的本地支持，幫助合作伙伴更加便捷,、快速的實現(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn)能力,。

　　隨著中國成為全球碳化硅的重要生產(chǎn)基地，德國PVA TePla集團將持續(xù)深耕中國市場,，加強本土化生產(chǎn)供應(yīng)與配套服務(wù)能力,，深化本地創(chuàng)新研發(fā)合作，助力中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展,。

　　關(guān)于德國PVA TePla集團(德國普發(fā)拓普)

　　德國PVA TePla集團是全球領(lǐng)先的材料和測量測試技術(shù)領(lǐng)域高科技解決方案供應(yīng)商,。憑借廣泛的創(chuàng)新產(chǎn)品、工藝和服務(wù)組合,，PVA TePla支持客戶克服許多不同行業(yè)的苛刻挑戰(zhàn),。作為系統(tǒng)供應(yīng)商,，PVA TePla為材料加工、精煉生產(chǎn),、復(fù)雜工藝提供可靠保障,。從概念到加工，PVA TePla為半導(dǎo)體材料,、晶體,、光學(xué)元件和其他高科技材料的生產(chǎn)提供系統(tǒng)和解決方案。在測量測試領(lǐng)域,，PVA TePla也針對廣泛應(yīng)用提供高精度測量和分析設(shè)備,，包括從表面檢測到3D檢測，從而有助于質(zhì)量控制,，過程監(jiān)控和缺陷分析。通過這些方案和服務(wù),，PVA TePla支持客戶提高產(chǎn)品質(zhì)量,，優(yōu)化生產(chǎn)流程，增強其在市場上的競爭力,。