8 月 20 日消息,,韓媒 businesskorea 今天(8 月 20 日)發(fā)布博文,,曝料稱三星計(jì)劃削減 High-NA EUV 采購規(guī)模,,而且和 ASML 聯(lián)合創(chuàng)立研究中心項(xiàng)目也遇到諸多障礙。
圖源:ASML
三星于 2023 年 12 月和 ASML 簽署了一份諒解備忘錄(MOU),,將在韓國首都圈建立一個 EUV 聯(lián)合研究中心,。
援引消息源報道,三星原本計(jì)劃在未來 10 年內(nèi),,采購 Twinscan EXE:5200,、EXE:5400 和 EXE:5600 三款后續(xù) Twinscan EXE:5000 High-NA 光刻機(jī),而最新報道稱三星已經(jīng)通知 ASML,,不僅削減 Twinscan EXE:5000 系列 EUV 光刻機(jī)采購數(shù)量,,而且后續(xù)僅采購 EXE:5200。
報道稱這一決定是在副董事長 Jun Young-hyun 被任命為 DS(設(shè)備解決方案)部門的新負(fù)責(zé)人,,并重新審查正在進(jìn)行的項(xiàng)目和投資之后做出的,。
一位熟悉情況的業(yè)內(nèi)人士說:
在京畿道華城購買土地建造研究設(shè)施的過程以及設(shè)計(jì)和審批過程都在進(jìn)行中,然而,,隨著三星決定減少設(shè)備引進(jìn),,相關(guān)進(jìn)程已完全停止。
聯(lián)合研究中心是否會在其他地方建立,,或者建立本身是否會被取消,,將在今后的討論中決定。
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