說起芯片制造,大家都知道制程工藝的重要性,,這是芯片行業(yè)的根基,不過隨著半導體工藝越來越復雜,,提升空間越來越小,而人們對于芯片性能的追求是永無止境的,,尤其是進入新的AI時代之后,。
這個時候,封裝技術(shù)的重要性就愈發(fā)凸顯了,,不但可以持續(xù)提高性能,,更給芯片制造帶來了極大的靈活性,可以讓人們進化隨心所欲地打造理想的芯片,,滿足各種不同需求,。
Intel作為半導體行業(yè)龍頭,半個多世紀以來一直非常重視封裝技術(shù),,不斷推動演化,。
最近,Intel先進系統(tǒng)封裝與測試事業(yè)部副總裁兼總經(jīng)理Mark Gardner就特意分享了Intel在封裝技術(shù)方面的最新成果與思考,。
在以往的SoC單芯片時代,,封裝技術(shù)往往不被在意。
隨著近些年chiplets芯粒的興起和流行,,封裝技術(shù)變得至關(guān)重要,,芯片的復雜度和優(yōu)化也呈現(xiàn)指數(shù)級增長。
比如在一個AI加速器中,,一個封裝內(nèi)會集成多個芯片,,包括但不限于CPU計算模塊、GPU加速模塊,、HBM高帶寬內(nèi)存和其他各種IP,,需要將它們以最合理的方式整合在一起,各自發(fā)揮最大性能,,還得做到高帶寬,、低延遲的互聯(lián),。
這就讓封裝技術(shù)真正走向前臺,,成為行業(yè)焦點。
說到封裝技術(shù),,Intel應該是最不陌生的,,悠久的歷史上經(jīng)歷了諸多演變。
早在20世紀70年代,,微處理器發(fā)展初期,,使用的還是Wire-Bond引線鍵合封裝技術(shù),包括QFP方形扁平,、QFN方形扁平無引腳,,因為那時候的芯片非常簡單,甚至可以手工絲焊,,直到現(xiàn)在一些簡單芯片也在使用,。
90年代的奔騰處理器,用上了倒裝鍵合、陶瓷基板的組合,,后來又發(fā)展出了有機基板,,以及初步的多芯片整合封裝。
最近幾年,,Intel處理器的封裝技術(shù)開始多點開花,,EMIB 2.5D、Foveros 3D,、EMIB 3.5D,、Foveros Direct 3D等各種方式層出不窮,經(jīng)常還會混合搭配使用,,從而制造更加復雜,、強大的芯片。
這些技術(shù)并非一朝一夕之功,,而是長期發(fā)展的結(jié)果,,比如基于EMIB 2.5D的首個產(chǎn)品Kaby Lake-G已經(jīng)投產(chǎn)將近十年了,它也是唯一一款集成了AMD核顯的Intel處理器,。
另外,,Intel近期還提出了玻璃基板(Glass Substrate)、玻璃核心(Glass Core),,目前仍在推進中,,計劃在本世紀20年代后半期推出(也就是2025-2030年間),作為整體平臺的一部分,。
Intel認為,,玻璃核心的關(guān)鍵在于持續(xù)擴展,包括微凸點技術(shù),、更大的基板尺寸,、增強的高速傳輸?shù)取?/p>
在新的形勢要求下,,Intel Foundry代工增加了系統(tǒng)級架構(gòu)和設(shè)計服務(wù),,與產(chǎn)品部門深度合作,不斷提出更先進,、更高效的封裝技術(shù),,再反哺給產(chǎn)品設(shè)計與制造,。
比如幾年前的數(shù)據(jù)中心GPU Max(代號Ponte Vecchio),,就使用了多達5種不同制造工藝,封裝了多達47個不同模塊,,耗費了1000億規(guī)模的晶體管,。
這就是Intel代工完整的先進封裝產(chǎn)品組合。
最左邊是傳統(tǒng)的FCBGA(倒裝芯片球柵陣列封裝),,有兩種不同的版本:FCBGA 2D,、FCBGA 2D+,。
其中,F(xiàn)CBGA 2D就是傳統(tǒng)的有機FCBGA封裝,,仍在量產(chǎn)中,,非常適合低成本的簡單產(chǎn)品,不需要高速I/O或芯片間高帶寬連接,。
FCBGA 2D+增加了基板層疊技術(shù)(Substrate Stacking),,適合芯片本身不復雜,但是主板連接部分尺寸較大的產(chǎn)品,,成本更優(yōu),,尤其是在網(wǎng)絡(luò)和交換設(shè)備領(lǐng)域。
中間的是EMIB(嵌入式多芯片互連橋接),,也有兩種版本:EMIB 2.5D,、EMIB 3.5D。
EMIB 2.5D面向單層芯片,,也可以進行HBM堆疊,,芯片通過基板上的微型硅橋?qū)崿F(xiàn)連接,適合高密度的芯片間連接,,在AI和HPC領(lǐng)域優(yōu)勢顯著,。
EMIB 3.5D引入了3D堆疊技術(shù),芯片堆疊在一個有源或無源基板上(比如中介層),,更加靈活,,比如某些IP模塊因為對互聯(lián)距離、延遲的高要求,,不適合水平連接,,就得垂直堆疊。
最右邊是Foveros,,可以細分為兩個版本:Foveros 2.5D,、Foveros 3D、Foveros Direct 3D,。
其中,,F(xiàn)overos 2.5D/3D和EMIB 2.5D/3.5D類似,可以與其他中介層技術(shù)結(jié)合使用(3D更強調(diào)垂直堆疊),,不同之處在于采用基于焊料的方式連接芯片與晶圓,,而不是基底連接,適合高速I/O與較小芯片組分離的設(shè)計,。
值得一提的是,,EMIB 2.5D可以非常順暢地轉(zhuǎn)換到EMIB 3.5D。可以把已經(jīng)定義,、設(shè)計和制造的GPU或者HBM芯片采用EMIB 2.5D技術(shù)集成,,然后無需改變?nèi)魏卧O(shè)計,就可以再將其集成到EMIB 3.5D封裝的單元上,。
Foveros Direct技術(shù)則進一步采用銅-銅直接鍵合,,而不是焊料與焊料的連接,因此可以實現(xiàn)最高的帶寬,、最低的功耗,。
事實上,這些封裝技術(shù)都不是獨立的,,往往并非單一存在,、彼此排斥,尤其是AI和HPC產(chǎn)品經(jīng)常結(jié)合使用多種技術(shù),,比如可能會采用Foveros Direct 3D,,同時與HBM連接,最終形成EMIB 3.5D封裝,。
這些封裝技術(shù)并非停留在路線圖上,,而是現(xiàn)實,已經(jīng)落地商用,,有些更是用了多年,,涉及多代產(chǎn)品。
但是不同的芯片如何選擇最適合的封裝技術(shù),,仍然是一個難題,,比如為什么說EMIB是AI芯片的理想選擇?有哪些優(yōu)勢,?上邊這張圖就可以給出答案,。
EMIB 2.5D與硅中介層(Si Int)、重布線層(RDL)中介層等其他2.5D封裝技術(shù)相比,,第一個優(yōu)勢就是最低本,。
從圖中可以看到,EMIB橋接是一種非常小的硅片,,可以高效利用晶圓面積,,利用率往往超過90%,而其他中介層技術(shù)因為是大型封裝結(jié)構(gòu),,會造成很大的晶圓面積浪費,,利用率可能只有60%左右。
尤其是擴展到更大面積的芯片復合體時,,EMIB的成本優(yōu)勢會呈指數(shù)級增長,。
第二個優(yōu)勢是最的良率,第三個優(yōu)勢是最快產(chǎn)周期,,二者緊密相連,。
它不需要晶圓級封裝,或者叫芯片對晶圓(Chip-on-Wafer),,這包括將頂層芯片附著到晶圓上,,涉及模具、凸點等多個工藝步驟,,不但增加了良率損失的風險,,所需要的步驟和時間也更長,往往得多花幾個星期的時間,。
在如今變化多端的市場形勢下,,如果能提前幾周獲得樣片,并進行測試和驗證,,對于客戶來說是極具吸引力的,。
第四個優(yōu)勢源于硅橋嵌入基板的特性,可以匹配更大的遮罩(Reticle),。
制造基板時,,實際上是在一個大的方形面板上進行,能夠極大地提高面板利用率,,而基板尺寸與面板相匹配,,可擴展性更好,可以適應大型復雜封裝的需求,。
對于AI芯片來說,,肯定都希望在一個封裝中集成更多的HBM,容納更多的工作負載,。EMIB 2.5D就能很好地滿足,。
第五個優(yōu)勢是多樣化的供應鏈支持。
EMIB為客戶提供了更多的靈活性和選擇權(quán),,而且它已經(jīng)應用了近十年,,擁有成熟的技術(shù)和供應鏈。
Intel一直是2.5D封裝的領(lǐng)導者,,擁有龐大無比的產(chǎn)能,。
第三方數(shù)據(jù)顯示,Intel EMIB 2.5D,、Foveros 2.5D封裝的總產(chǎn)能,,對比行業(yè)晶圓級先進封裝的總產(chǎn)能,規(guī)模領(lǐng)先2倍以上,。
因此,,無論客戶有多么急迫,、多么大規(guī)模的產(chǎn)能需求,Intel都可以輕松滿足,。
迄今為止,,Intel已經(jīng)完成了超過250個2.5D封裝設(shè)計項目,既包括Intel自己的產(chǎn)品,,也包括第三方客戶的產(chǎn)品,,涵蓋幾乎所有領(lǐng)域。
對于復雜封裝而言,,測試和驗證也是至關(guān)重要的一環(huán),。
畢竟,當一顆芯片內(nèi)封裝了四五十個不同模塊的時候,,哪怕只有一個不合格,,也會導致整體報廢。
所以,,不能等待整顆芯片封裝完成之后再進行測試,,那樣風險就太高了。
Intel開發(fā)了一種名為“裸片測試”(Die Sort)的技術(shù),,將一整塊晶圓切割成一個個單獨的裸片,,在組裝到基板上之前就進行分類和測試。
由于裸片面積很小,,加熱和冷卻都可以非??焖佟⒕_,,一兩秒就能變化約100攝氏度,。
這種精確的熱控制,使得過去只能在最終測試階段做的工作,,提前到了裸片測試階段,,從而更早地發(fā)現(xiàn)缺陷、及時糾正,,進而顯著提高生產(chǎn)效率與良品率,。
裸片在基板上堆疊完成之后、整體封裝完成之前,,Intel還可以進行一次“堆疊芯片測試”(Stacked Die Sort),,進一步測試與驗證功能、性能的完整性,。
以一顆包含多個不同模塊,、采用3D堆疊技術(shù)的復雜AI加速器為例,看一下Intel的多種封裝,、測試技術(shù)是如何協(xié)同工作的,。
首先,,EMIB可以替代傳統(tǒng)的大型、昂貴的中介層或橋接器,,從而降低成本,,提高生產(chǎn)效率、良品率,。
EMIB有一個很關(guān)鍵的點叫做熱壓鍵合(Thermal Compression Bonding),可以讓裸片更高效地組裝到基板上,。
EIMB可以結(jié)合Foveros Direct技術(shù),,包括3D混合鍵合(3D Hybrid Bonding),獲得最佳優(yōu)化封裝組合,。
接下來是超大封裝(Large Packages),,Intel目前正在開發(fā)120×120毫米的封裝尺寸,預計未來一兩年就能量產(chǎn),,而且不會止步于此,。
不過,隨著封裝尺寸越來越大,,很容易出現(xiàn)明顯的翹曲(Warpage)問題——NVIDIA Blackwell就不幸遇到了,。
為此,Intel引入了一系列創(chuàng)新技術(shù),,結(jié)合熱優(yōu)化,,從而能夠在翹曲情況下依然進行板級封裝(Board Assembl)。
然后是硅片與封裝協(xié)同設(shè)計(Silicon Package Co-Design),,以及模擬裸片測試(Simulated Die Sort),,它們共同打造了差異化的AI產(chǎn)品。
最后,,Intel代工自獨立以來,,已經(jīng)調(diào)整了策略,從而提供更靈活的代工服務(wù),。
比如,,客戶可以只選擇Intel代工的EMIB技術(shù)或封裝服務(wù),芯片部分則交給其他代工廠,。
比如,,客戶可以只需要Intel代工的裸片測試方案,同樣能單獨提供,。
Intel代工在晶圓制造層面也采取了相同的策略,,可以靈活地根據(jù)客戶需求,提供最有價值的服務(wù),。
事實上,,Intel與臺積電,、三星等其他代工廠雖然有競爭關(guān)系,但其實一直存在密切合作,,制定了互相兼容的設(shè)計規(guī)則,,以確保其他代工廠生產(chǎn)的晶圓,可以兼容Intel代工的封裝技術(shù),,從而為客戶提供更多選擇,,使其能夠自由地綜合使用不同代工的技術(shù)。
Intel還透露,,AWS亞馬遜云,、思科都已經(jīng)成為Intel代工的封裝服務(wù)客戶,合作主要集中在數(shù)據(jù)中心服務(wù)器,、AI加速器產(chǎn)品領(lǐng)域,。