目前,，制造商正在不斷完善手持式裝置,，提供體積更小而功能更多的產(chǎn)品。但是他們不得不面對(duì)相互矛盾的要求——在讓產(chǎn)品功能超群的同時(shí)降低其成本,。
　　解決這一難題的方法之一是采用微型機(jī)電系統(tǒng)MEMS,。MEMS可以使制造商將一件產(chǎn)品的所有功能集成到單個(gè)芯片上,。MEMS對(duì)消費(fèi)電子產(chǎn)品的終極影響有很多，例如可以降低成本,、在不犧牲性能的情況下減小尺寸和重量的等,。手持式設(shè)備制造商正在逐漸意識(shí)到MEMS的價(jià)值以及這種技術(shù)所帶來的好處——大批量、低成本,、小尺寸,。根據(jù)市場的趨勢來看，雖然MEMS行業(yè)傳統(tǒng)上與汽車應(yīng)用相關(guān),，但是隨著微型傳感器敏感度越來越高并且價(jià)格便宜,，以及越來越多的人需要移動(dòng)產(chǎn)品的市場需求，該行業(yè)也開始在消費(fèi)市場中占據(jù)一席之地,。預(yù)計(jì)消費(fèi)電子市場" title="消費(fèi)電子市場">消費(fèi)電子市場對(duì)MEMS傳感器的使用將從2005年的3.55億美元增長到2010年的8億美元,。
1飛思卡爾" title="飛思卡爾">飛思卡爾基于MEMS傳感器
　　飛思卡爾半導(dǎo)體自1980年第一個(gè)傳感器問世以來，銷售的傳感器數(shù)量數(shù)以億計(jì),。飛思卡爾幫助客戶開發(fā)產(chǎn)品,，用以監(jiān)控日常生活中出現(xiàn)的大量產(chǎn)品和技術(shù),。 飛思卡爾將非常小的電子和機(jī)械組件包含在一個(gè)封裝中做成了MEMS傳感器。該封裝還整合了集成電路(IC),，當(dāng)MEMS感應(yīng),、處理或控制周圍環(huán)境時(shí)，它使系統(tǒng)的一部分能夠進(jìn)行信息處理,。傳感器適用于需要測量因傾斜,、移動(dòng)、定位,、震動(dòng)或擺動(dòng)而產(chǎn)生的各種力,，或者測量壓力、高度,、重量和水位的最終產(chǎn)品或嵌入式系統(tǒng),。
　　飛思卡爾的MEMS傳感器設(shè)備" title="傳感器設(shè)備">傳感器設(shè)備的應(yīng)用相當(dāng)廣泛。在汽車領(lǐng)域,，汽車設(shè)計(jì)人員和廠商在每輛汽車的不同地方都要應(yīng)用飛思卡爾的MEMS傳感器,。在加強(qiáng)汽車安全的應(yīng)用中，加速傳感器提供碰撞檢測功能并對(duì)前/側(cè)氣囊及其他汽車安全設(shè)備進(jìn)行有效部署,。在醫(yī)療領(lǐng)域和特殊的保健監(jiān)控應(yīng)用中,，使用MEMS傳感器，能使使用者擁有更準(zhǔn)確的血壓監(jiān)控設(shè)備,，功能更高的呼吸器,，為病人提供重要診斷。在蜂窩電話中,，MEMS產(chǎn)品能使自然的手部運(yùn)動(dòng)(而不是推動(dòng)按鈕的方法)用作激活各種功能,，另外它能夠檢測加速度或減速度(例如在設(shè)備跌落時(shí))，從而防止手持設(shè)備受損,，并將數(shù)據(jù)損失的風(fēng)險(xiǎn)降至最低,。此外，它可用于更精確的氣象站氣象測量和反應(yīng)更快,、更強(qiáng)的游戲設(shè)備等,。
2 飛思卡爾傳感器技術(shù)不斷創(chuàng)新
　　飛思卡爾基于MEMS的壓力傳感器和加速傳感器是汽車電子、保健監(jiān)控設(shè)備,、智能便攜電子設(shè)備(如蜂窩電話,、PDA和硬盤驅(qū)盤器；計(jì)算機(jī)外圍設(shè)備和無線設(shè)備)等關(guān)鍵應(yīng)用的關(guān)鍵組件,。
　　隨著技術(shù)的飛速發(fā)展,，飛思卡爾半導(dǎo)體近期又推出三款敏感度極高的傳感器。這些傳感器可以加快MEMS行業(yè)向消費(fèi)市場的更高采用率轉(zhuǎn)換,。此次基于MEMS的MMA6270Q(XY-軸),、MMA6280Q(XZ-軸)和 MMA7261Q (XYZ-軸) 傳感器(也稱為加速計(jì)" title="加速計(jì)">加速計(jì))的推出將飛思卡爾當(dāng)前的產(chǎn)品系列從1.5g增加到10g。這三款針對(duì)低成本消費(fèi)電子市場的低重力(low-g)傳感器是電子系統(tǒng)的理想之選,，它可以探測通過微小的力量變化就可導(dǎo)致的墜落,、傾斜、移動(dòng),、定位和振動(dòng),。MMA7261Q和MMA62XXQ傳感器分別如圖1和圖2所示。
　　MMA6270Q(XY-軸),、MMA6280Q(XZ-軸)和MMA7261Q(XYZ-軸)傳感器設(shè)備根據(jù)應(yīng)用需要提供2或3個(gè)感應(yīng)軸,。MMA6280Q是業(yè)界第一個(gè)XZ軸加速計(jì)，可在橫向和垂直平面上感應(yīng),，無需子卡,。因此在不需要三軸" title="三軸">三軸設(shè)備的情況下，它是一款經(jīng)濟(jì),、高效的解決方案,。其應(yīng)用包括高級(jí)步程計(jì)，可測量步行中人的腳步運(yùn)動(dòng),、距離和速度,。三軸傳感器設(shè)備允許根據(jù)多種不同應(yīng)用和功能選擇敏感度。

3 典型應(yīng)用
　　基于MEMS的傳感器可用于消費(fèi)產(chǎn)品,、工業(yè)或保健監(jiān)控產(chǎn)品或應(yīng)用于具有傳感功能的嵌入式系統(tǒng),。其應(yīng)用實(shí)例如下：(1)GPS系統(tǒng)；(2)硬盤的自由落體保護(hù),；(3)像機(jī)的穩(wěn)定性,；(4)在游戲設(shè)備中的滾動(dòng)界面；(5)墜落檢測,；(6)墜落日志,；(7)HDD保護(hù)；(8)MP3播放器,；(9)便攜電子產(chǎn)品,；(10)用于擔(dān)保的記錄；(11)電子羅盤,；(12)人類環(huán)境學(xué)工具,；(13)游戲；(14)圖像穩(wěn)定性,。
　　MMA6270Q,、MMA6280Q和 MMA7261Q的功能如下：
　　· 各個(gè)方向運(yùn)動(dòng)的雙軸或三軸感應(yīng)；
　　· 客戶可選擇重力范圍,；
　　· MMA62x0Q：1.5g/ 2g/ 4g/ 6g,；
　　· MMA7261Q：2.5g/ 3.3g/ 6.7g/ 10g,；
　　· 低電流消耗(500μA)；
　　· 睡眠模式只需3μA,，可延長電池壽命;
　　· 低電壓操作(2.2～3.6V);
　　· 快速電源響應(yīng)時(shí)間(1ms);
　　· 高敏感度,、低噪音、更高的清晰度,、更大的準(zhǔn)確性;
　　· 將信號(hào)條件,、放大功能和溫度與低通濾波器相結(jié)合;
　　· 小尺寸的方型扁平無引腳(QFN)封裝(6x6x1.45毫米);
　　· 符合限制使用有害物質(zhì)(RoHS)的指令。
　　開發(fā)工具包括MC9S08QG8 MCU,。它結(jié)合了MMA7260Q XYZ軸加速計(jì)(可直接由MMA6270Q,、MMA6280Q或MMA7261Q代替)和2.4GHz MC13191無線收發(fā)器，以及USB 2.0全速的MC68HC908JW32,。
　　評(píng)估工具包也可用于三款基于MEMS的傳感器,。小型電路板可用于評(píng)估設(shè)備，以快速開發(fā)原型產(chǎn)品,。