SMU是一種精確供電設(shè)備,它不僅可以提供測(cè)量分辨率小于1mV的電壓源,,還可以提供測(cè)量分辨率低于1uA的電流源,。SMU還提供了遠(yuǎn)端檢測(cè)功能并擁有集成了雙極型電壓和吸收功率能力的四象限輸出功能。最后,,SMU可以提供線性掃描電壓和掃描電流,,能夠獲得儀器的IV特性曲線。目前,,SMU已經(jīng)廣泛使用于工業(yè)中,,并且成為了許多自動(dòng)化測(cè)試系統(tǒng)中的常用組成部件。需要了解更多SMU精確特性及其相關(guān)應(yīng)用的信息,,請(qǐng)閱讀下面對(duì)應(yīng)的段落,。
使SMU區(qū)別于其它標(biāo)準(zhǔn)電源器件的最顯著的特性就是它的高精度。精度定義為可重復(fù)性或可再生性,。在考慮到儀器的精度時(shí),請(qǐng)記住兩個(gè)與其相關(guān)的主要特性:靈敏度和精確度,。
靈敏度
靈敏度定義為儀器可以被檢測(cè)到的最小的可測(cè)量(或可提供)的變化值,。也就是說,靈敏度就是能夠在設(shè)備的輸出端設(shè)置的最小增量,,或能在設(shè)備的輸入端檢測(cè)到的最小增量,。SMU 提供了多個(gè)電壓電流范圍供用戶設(shè)置和讀取,所以比標(biāo)準(zhǔn)的電源器件具有更高的靈敏度,。例如,,NI PXI-4130 SMU就提供了從2A到200 μA 的5個(gè)電流范圍。
精確度
精確度是指電源給出的電壓電流值或者測(cè)量值的最大不確定性,。絕對(duì)精確度是以一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的有效讀取值作為參考而獲得的,。通常,對(duì)電源供給和測(cè)量?jī)蓚€(gè)方面,,SMU都具備小于等于輸出設(shè)定值0.1%的精確度,。譬如,,PXI-4130功率SMU的200μA量程的準(zhǔn)確度達(dá)到了0.3%。
遠(yuǎn)端電壓檢測(cè)
在精確的供給或測(cè)量電壓的應(yīng)用中,,一個(gè)最重要的問題就是,,待測(cè)設(shè)備(DUT)中導(dǎo)線阻抗對(duì)測(cè)量到的電壓值的影響。導(dǎo)線阻抗是無法消除的,,在涉及到長(zhǎng)距離細(xì)導(dǎo)線的應(yīng)用中,,它就能夠造成很大的影響。雖然通常鉛阻抗都不會(huì)超過幾歐姆,,但是這些小阻抗卻可能對(duì)加在DUT上的電壓產(chǎn)生巨大的作用,。尤其當(dāng)DUT的內(nèi)部阻抗很小的時(shí)候,這種現(xiàn)象尤為明顯,。
圖1顯示了一個(gè)普通電路,,包含一個(gè)電壓源儀器、導(dǎo)線和一個(gè)DUT,。在這個(gè)例子中,,假設(shè)從電壓源連接到DUT的正極和負(fù)極導(dǎo)線的鉛阻抗都為1 ?。
圖1. 典型的可編程電源器件的連接圖
假設(shè)電源器件的輸出為5V,,DUT的阻抗為1k,。按照下列公式,可以計(jì)算出DUT終端的實(shí)際電壓:
在這種情況下,,電壓實(shí)際只有4.99V,。對(duì)某些器件而言,這種小的變化是微不足道的,;然而,,對(duì)那些需要高精度操作電壓的應(yīng)用而言,這樣的誤差可能變得非常重要,。此外,,對(duì)那些低輸入阻抗的設(shè)備來說,這將極大地降低導(dǎo)線端待測(cè)設(shè)備上電壓的變化,。表1中列出了當(dāng)DUT輸入阻抗降低時(shí),,DUT兩端的電壓值:
表1. 阻抗不同的DUT上獲得的電壓
這種導(dǎo)線阻抗引起的電壓誤差,可以通過遠(yuǎn)端檢測(cè)來解決,,也就是4-線檢測(cè),。這種技術(shù)直接測(cè)量DUT兩端電壓,并進(jìn)行相應(yīng)補(bǔ)償,,可以去除導(dǎo)線阻抗上的電壓降,。這種方法類似于數(shù)字萬用表(DMM)采用的4-線阻抗測(cè)量方法,以消除阻抗測(cè)量中導(dǎo)線阻抗帶來的影響,。電源和DMM在輸出端都有兩個(gè)額外的接線端,,用于這種4-線遠(yuǎn)端檢測(cè)技術(shù),。這些額外接線端直接連接到DUT上。雖然用于遠(yuǎn)端檢測(cè)的導(dǎo)線中仍然存在導(dǎo)線阻抗,,但是電壓測(cè)量是處于高阻狀態(tài)的,,所以沒有電流會(huì)從檢測(cè)導(dǎo)線中流過,因此也將不存在電壓降,。
SMU通常具備了遠(yuǎn)端檢測(cè)的能力,,以充分利用它們所提供的增強(qiáng)的電壓靈敏度。PXI-4130 SMU上就具備遠(yuǎn)端檢測(cè)能力(也稱為”開爾文檢測(cè)”),,并可以在軟件中設(shè)置其開關(guān)狀態(tài),。
4-象限操作(供能和吸能)
SMU的另外一個(gè)特性便是輸出的靈活性。SMU具有4象限輸出,,可以提供正電壓正電流(第一象限),、負(fù)電壓正電流(第二象限)、負(fù)電壓負(fù)電流(第三象限)和正電壓負(fù)電流(第四象限),。典型地,,SMU的數(shù)據(jù)手冊(cè)中會(huì)包含一幅與圖2類似的象限圖,顯示了在每個(gè)象限內(nèi)可使用的最大電壓和電流,。吸收象限區(qū)中通常采用一條實(shí)線表征持續(xù)功率耗散,,采用一條虛線表征在脈沖模式下吸收電流的能力。理解這種差異是很重要的,,因?yàn)镾MU的持續(xù)功率耗散能力可能比它的脈沖耗散能力要小得多,。
對(duì)那些同時(shí)需要電源供給和吸收的應(yīng)用(例如測(cè)試充電電池的充電周期,或者測(cè)試數(shù)字半導(dǎo)體器件管腳上的輸出短路電流)而言,,4-象限操作功能是非常必要的,。PXI-4130可以在I和III象限區(qū)提供40W的功率,在II和IV象限區(qū)可以吸收10W的功率,。
圖2. NI PXI-4130 Power SMU通道1的象限圖
雙極
對(duì)于歸類為4-象限的電源或SMU而言,,它必須具備在同一端口提供正電壓和負(fù)電壓的能力。這對(duì)描述同時(shí)具有正向和反向特性的有源設(shè)備中的擊穿現(xiàn)象是非常重要的,。你可以采用一個(gè)輸出通道來提供從負(fù)到正的掃描電壓,以表征這些正向和反向特性,。PXI-4130功率SMU在它的兩極SMU通道上提供了+20 V到-20 V的電壓輸出,。
功率吸收
類似的,歸類為4-象限的電源或SMU,,不僅必須能夠提供功率,,還必須能夠吸收功率。提供功率是指為電路提供激勵(lì),,而吸收功率是指消耗外部有源器件(例如電池,、充電電容,、或另一個(gè)電源)提供的功率??梢耘渲?-象限源,,將其設(shè)為吸收電流模式來對(duì)電容或電池進(jìn)行放電。譬如,,PXI-4130提供了高達(dá)10W的功率吸收能力,。
掃描
SMU的主要應(yīng)用是對(duì)各種電子器件、半導(dǎo)體設(shè)備和用戶芯片設(shè)計(jì)進(jìn)行表征和分類,。通??梢圆捎脤⒁幌盗须妷夯螂娏髦狄話呙璺绞教峁┙oDUT來實(shí)現(xiàn)以上功能。繪制二極管和三極管的IV曲線就是這種應(yīng)用的一個(gè)典型案例,。在這種應(yīng)用中,,給在DUT的兩端提供掃描電壓,并測(cè)量其得到的電流,。
掃描可以采用多種方式,,可以是線性方式或者對(duì)數(shù)方式,也可以是自定義方式,,直流方式或者脈沖方式,。當(dāng)SMU測(cè)量得到的電壓和電流時(shí),以3000S/秒的速度掃描電壓和電流,。此外,,PXI-4130還提供了一個(gè)額外可編程電源作為實(shí)用通道,可以提供6V電壓和1A電流,。你可以使用該通道為雙極結(jié)型晶體管(BJT)提供基極電流,,或者為場(chǎng)效應(yīng)管(FET)提供柵極電壓。圖4描述了NI LabVIEW SignalExpress環(huán)境中,,采用PXI-4130 power SMU掃描雙極結(jié)型晶體管得到的IV曲線,。
圖4. 使用PXI-4130 Power SM掃描雙極結(jié)型晶體管得到的IV特性曲線
PXI可編程電源和SMU
NI為PXI提供了兩種高精度電源:PXI-4110可編程電源和PXI-4130 功率SMU。雖然它們都只是一塊3U的 PXI模塊,,但卻都比其他傳統(tǒng)的電源具備更高的精確度,。圖5顯示了這兩種NI高精度電源與傳統(tǒng)可編程電源之間在電流測(cè)量靈敏度方面的對(duì)比。
圖5. NI公司PXI高精度電源的價(jià)格和精度的比較