MEMS（Micro Electromechanical System,，即微電子機(jī)械系統(tǒng)）是指集微型傳感器、執(zhí)行器以及信號(hào)處理和控制電路,、接口電路,、通信和電源于一體的微型機(jī)電系統(tǒng)。
MEMS壓力傳感器可以用類似集成電路的設(shè)計(jì)技術(shù)和制造工藝,，進(jìn)行高精度,、低成本的大批量生產(chǎn)，從而為消費(fèi)電子和工業(yè)過程控制產(chǎn)品用低廉的成本大量使用MEMS傳感器打開方便之門,，使壓力控制變得簡(jiǎn)單,、易用和智能化。傳統(tǒng)的機(jī)械量壓力傳感器是基于金屬彈性體受力變形,，由機(jī)械量彈性變形到電量轉(zhuǎn)換輸出,，因此它不可能如MEMS壓力傳感器那樣，像集成電路那么微小,，而且成本也遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于MEMS壓力傳感器,。相對(duì)于傳統(tǒng)的機(jī)械量傳感器，MEMS壓力傳感器的尺寸更小,，最大的不超過一個(gè)厘米,，相對(duì)于傳統(tǒng)“機(jī)械”制造技術(shù)，其性價(jià)比大幅度提高,。
圖1 惠斯頓電橋電原理
圖2 應(yīng)變片電橋的光刻版本
圖3 硅壓阻式壓力傳感器結(jié)構(gòu)
MEMS壓力傳感器原理
目前的MEMS壓力傳感器有硅壓阻式壓力傳感器和硅電容式壓力傳感器,，兩者都是在硅片上生成的微機(jī)械電子傳感器。
硅壓阻式壓力傳感器是采用高精密半導(dǎo)體電阻應(yīng)變片組成惠斯頓電橋作為力電變換測(cè)量電路的,，具有較高的測(cè)量精度,、較低的功耗和極低的成本?；菟诡D電橋的壓阻式傳感器,，如無壓力變化，其輸出為零,，幾乎不耗電,。其電原理如圖1所示。硅壓阻式壓力傳感器其應(yīng)變片電橋的光刻版本如圖2,。
MEMS硅壓阻式壓力傳感器采用周邊固定的圓形應(yīng)力杯硅薄膜內(nèi)壁,，采用MEMS技術(shù)直接將四個(gè)高精密半導(dǎo)體應(yīng)變片刻制在其表面應(yīng)力最大處，組成惠斯頓測(cè)量電橋,，作為力電變換測(cè)量電路,，將壓力這個(gè)物理量直接變換成電量，其測(cè)量精度能達(dá)0.01-0.03%FS,。硅壓阻式壓力傳感器結(jié)構(gòu)如圖3所示,，上下二層是玻璃體,，中間是硅片，硅片中部做成一應(yīng)力杯,，其應(yīng)力硅薄膜上部有一真空腔,，使之成為一個(gè)典型的絕壓壓力傳感器。應(yīng)力硅薄膜與真空腔接觸這一面經(jīng)光刻生成如圖2的電阻應(yīng)變片電橋電路,。當(dāng)外面的壓力經(jīng)引壓腔進(jìn)入傳感器應(yīng)力杯中,，應(yīng)力硅薄膜會(huì)因受外力作用而微微向上鼓起，發(fā)生彈性變形,，四個(gè)電阻應(yīng)變片因此而發(fā)生電阻變化,，破壞原先的惠斯頓電橋電路平衡，電橋輸出與壓力成正比的電壓信號(hào),。圖4是封裝如集成電路的硅壓阻式壓力傳感器實(shí)物照片,。
圖4 硅壓阻式壓力傳感器實(shí)物
圖6 電容式壓力傳感器實(shí)物
圖5 電容式壓力傳感器結(jié)構(gòu)
電容式壓力傳感器利用MEMS技術(shù)在硅片上制造出橫隔柵狀，上下二根橫隔柵成為一組電容式壓力傳感器,，上橫隔柵受壓力作用向下位移,，改變了上下二根橫隔柵的間距，也就改變了板間電容量的大小,，即△壓力=△電容量（圖5）,。電容式壓力傳感器實(shí)物如圖6。
MEMS壓力傳感器的應(yīng)用
MEMS壓力傳感器廣泛應(yīng)用于汽車電子如TPMS,、發(fā)動(dòng)機(jī)機(jī)油壓力傳感器,、汽車剎車系統(tǒng)空氣壓力傳感器、汽車發(fā)動(dòng)機(jī)進(jìn)氣歧管壓力傳感器（TMAP）,、柴油機(jī)共軌壓力傳感器,。消費(fèi)電子如胎壓計(jì)、血壓計(jì),、櫥用秤,、健康秤，洗衣機(jī),、洗碗機(jī),、電冰箱、微波爐,、烤箱,、吸塵器用壓力傳感器，空調(diào)壓力傳感器,，洗衣機(jī),、飲水機(jī),、洗碗機(jī),、太陽能熱水器用液位控制壓力傳感器,。工業(yè)電子如數(shù)字壓力表、數(shù)字流量表,、工業(yè)配料稱重等,。
典型的MEMS壓力傳感器管芯（die）結(jié)構(gòu)和電原理如圖7所示，左是電原理圖,，即由電阻應(yīng)變片組成的惠斯頓電橋,，右為管芯內(nèi)部結(jié)構(gòu)圖。典型的MEMS壓力傳感器管芯可以用來生產(chǎn)各種壓力傳感器產(chǎn)品,，如圖8所示,。MEMS壓力傳感器管芯可以與儀表放大器和ADC管芯封裝在一個(gè)封裝內(nèi)（MCM），使產(chǎn)品設(shè)計(jì)師很容易使用這個(gè)高度集成的產(chǎn)品設(shè)計(jì)最終產(chǎn)品,。
MEMS壓力傳感器的設(shè)計(jì),、生產(chǎn)、銷售鏈
MEMS壓力傳感器的設(shè)計(jì),、生產(chǎn),、銷售鏈如圖9所示。目前集成電路的4寸圓晶片生產(chǎn)線的大多數(shù)工藝可為MEMS生產(chǎn)所用,。但是需要增加雙面光刻機(jī),、濕法腐蝕臺(tái)和鍵合機(jī)三項(xiàng)MEMS特有的工藝設(shè)備。壓力傳感器產(chǎn)品生產(chǎn)廠商需要增加價(jià)格不菲的標(biāo)準(zhǔn)壓力檢測(cè)設(shè)備,。
對(duì)于MEMS壓力傳感器生產(chǎn)廠家來說,，開拓汽車電子以及消費(fèi)電子領(lǐng)域的銷售經(jīng)驗(yàn)和渠道是十分重要和急需的。特別是汽車電子對(duì)MEMS壓力傳感器的需要量在近幾年激增,，如捷伸電子的年需求量約為200-300萬個(gè),。
MEMS芯片在設(shè)計(jì)、工藝,、生產(chǎn)方面與IC的異同
與傳統(tǒng)IC行業(yè)注重二維靜止的電路設(shè)計(jì)不同,，MEMS以理論力學(xué)為基礎(chǔ)，結(jié)合電路知識(shí)設(shè)計(jì)三維動(dòng)態(tài)產(chǎn)品,。對(duì)于在微米尺度進(jìn)行機(jī)械設(shè)計(jì)會(huì)更多地依靠經(jīng)驗(yàn),，設(shè)計(jì)開發(fā)工具（Ansys）也與傳統(tǒng)IC（如EDA）不同。MEMS加工除了使用大量傳統(tǒng)的IC工藝,，還需要一些特殊工藝,，如雙面刻蝕，雙面光刻等,。MEMS比較傳統(tǒng)IC,，工藝簡(jiǎn)單，光刻步驟少,，MEMS生產(chǎn)的一些非標(biāo)準(zhǔn)的特殊工藝,，工藝參數(shù)需要按照產(chǎn)品的要求來進(jìn)行調(diào)整,。由于需要產(chǎn)品設(shè)計(jì)、工藝設(shè)計(jì)和生產(chǎn)三方面的密切配合,，IDM的模式要優(yōu)于Fabless+Foundry的模式,。MEMS對(duì)封裝技術(shù)的要求很高。傳統(tǒng)半導(dǎo)體廠商的4〃生產(chǎn)線正面臨淘汰,，即使用來生產(chǎn)LDO,，其利潤(rùn)也非常低，但是,，如果生產(chǎn)MEMS,，則可獲得較高的利潤(rùn)。4〃線上的每一個(gè)圓晶片可生產(chǎn)合格的MEMS壓力傳感器Die5-6K個(gè),，每個(gè)出售后,，可獲成本7-10倍的毛利（如圖10）。轉(zhuǎn)產(chǎn)MEMS對(duì)廠家的工藝要求改動(dòng)不大,，新增輔助設(shè)備有限,，投資少、效益高,。MEMS芯片與IC芯片整合封裝是集成電路技術(shù)發(fā)展的新趨勢(shì),，也是傳統(tǒng)IC廠商的新機(jī)遇。圖11是MEMS在4〃圓晶片生產(chǎn)線上,。
4〃生產(chǎn)MEMS壓力傳感器成本估計(jì)
4”圓晶片生產(chǎn)線生產(chǎn)MEMS壓力傳感器成本估計(jì)如表所示,，新增固定成本是指為該項(xiàng)目投入的人員成本和新設(shè)備的折舊（人員：專家1名+MEMS設(shè)計(jì)師2名+工程師4名+工藝師5名+技工12名，年成本147萬元,，新增設(shè)備投入650萬元,，按90%四年折舊計(jì)算）；現(xiàn)有4”線成本是指在5次光刻條件下使用4”線的成本（包括人工,、化劑,、水電、備件等的均攤成本）,；硅片材料成本是指雙拋4寸硅片的價(jià)格,。