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中芯國際透露40nm和32nm工藝開發(fā)計劃

2008-10-06
作者:中芯國際

??? 中國大陸代工廠商中芯國際" title="中芯國際">中芯國際(SMIC)近日透露了將于2009年推出45nm" title="45nm">45nm和40nm技術,。

??? 總部位于上海的中芯國際希望在2011年前完成32nm" title="32nm">32nm的開發(fā),并稱公司正與IBM商討32nm技術授權事宜,。中芯國際未透露該合作細節(jié)。

??? 在65nm" title="65nm">65nm節(jié)點之前,中芯國際一直自主開發(fā)工藝。而去年下半年中芯國際獲得了IBM45nm技術授權。

??? 中芯國際在技術方面落后于其主要競爭對手——特許,、臺積電和聯(lián)電。特許作為IBM“fabclub”成員,,計劃于2009年底前推出32nm技術,。IBM的32nm技術包括高k金屬柵技術。

??? 中芯國際表示,,對于目前公司所處的市場地位表示滿意,,稱公司更愿意成為數(shù)字電路代工領域的“快速追趕者”。風險投資公司WaldenInternational創(chuàng)始人兼主席Lip-BuTan在近日舉行的2008中芯國際技術論壇中表示,,65nm和45nm技術較之前的節(jié)點將存在更長的時間,,部分是因為高額的設計、掩模等成本,。

??? 相對于競爭對手,,中芯國際并未停止不前?!拔覀兟浜笥谧钕冗M的技術一個世代,,但我們正在追趕?!敝行緡H美國區(qū)總裁SamWang表示,。

??? 然而目前代工市場正在放緩。代工廠的初制晶圓數(shù)量正大幅減少,。據(jù)HSBCGlobalTechnologyResearch的分析師StevenPelayo表示,,第四季度晶圓代工廠的產能利用率將降低至75%以下。

??? Wang表示,,中芯國際保持對第三季度的預期,,但未對第四季度發(fā)表評論。

??? 中芯國際的技術路圖

??? 今年下半年,,中芯國際開始了65nm世代,。目前中芯國際計劃提供65nm的低功耗、通用和混合信號/RF技術代工,,采用4至10層金屬布線,、銅互聯(lián)和三層柵氧化等技術。

??? 據(jù)稱,,2008年第三季度中芯國際已進入65nm低功耗技術“工藝驗證" title="工藝驗證">工藝驗證(processqualification)”階段,。“工藝驗證”標志著該技術已可以進行“風險試產(riskproduction)”。預計年底可投產,。

??? 65nm通用技術和混合信號/RF技術將分別在明年第一季度和第二季度進入“工藝驗證”階段,。

??? 2009年第三季度前,中芯國際將進入45nm世代,,該技術來自IBM的授權,采用4至10層金屬布線,、銅互聯(lián)和超低k介質等技術,。該工藝將采用193nm沉浸式光刻,設備由ASML提供,。

??? 45nm低功耗技術預計將于2009年第三季度進入“工藝驗證”階段,。45nm通用技術和混合信號/RF技術將分別于2010年第一季度和第二季度進入“工藝驗證”階段。

??? 中芯國際市場和銷售聯(lián)合副總裁RobertTsu稱,,基于客戶的需要,,中芯國際將開發(fā)40nm工藝。40nm技術將于2009年底發(fā)布,。該技術同樣來于IBM的授權,。

??? 中芯國際的45nm和40nm工藝將在位于上海的300mm工廠投產。

??? 中芯國際預計32nm工藝將要到2011年第二季度之后才發(fā)布,。在公司技術路圖上,,該32nm低功耗技術將于2011年第二季度進入“工藝驗證”階段。

??? 32nm以下節(jié)點未出現(xiàn)在中芯國際的技術路圖中,。

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