近年來(lái),，國(guó)內(nèi)外在傳感器">濕度傳感器研發(fā)領(lǐng)域取得了長(zhǎng)足進(jìn)步,。濕敏傳感器正從簡(jiǎn)單的濕敏元件向集成化,、智能化,、多參數(shù)檢測(cè)的方向迅速發(fā)展，為開(kāi)發(fā)新一代濕度/溫度測(cè)控系統(tǒng)創(chuàng)造了有利條件,，也將濕度測(cè)量技術(shù)提高到新的水平,。
1濕敏元件的特性
濕敏元件是最簡(jiǎn)單的濕度傳感器,。濕敏元件主要電阻式,、電容式兩大類(lèi),。
1.1濕敏電阻
濕敏電阻的特點(diǎn)是在基片上覆蓋一層用感濕材料制成的膜，當(dāng)空氣中的水蒸氣吸附在感濕膜上時(shí),，元件的電阻率和電阻值都發(fā)生變化,，利用這一特性即可測(cè)量濕度。濕敏電阻的種類(lèi)很多，例如金屬氧化特濕敏電阻,、硅濕敏電阻,、陶瓷濕敏電阻等。濕敏電阻的優(yōu)點(diǎn)是靈敏度高,，主要缺點(diǎn)是線性度和產(chǎn)品的互換性差。
1.2濕敏電容
濕敏電容一般是用高分子薄膜電容制成的,，常用的高分子材料有聚苯乙烯,、聚酰亞胺、酷酸醋酸纖維等,。當(dāng)環(huán)境濕度發(fā)生改變時(shí),，濕敏電容的介電常數(shù)發(fā)生變化，使其電容量也發(fā)生變化,，其電容變化量與相對(duì)濕度成正比,。濕敏電容的主要優(yōu)點(diǎn)是靈敏度高、產(chǎn)品互換性好,、響應(yīng)速度快,、濕度的滯后量小、便于制造,、容易實(shí)現(xiàn)小型化和集成化,，其精度一般比濕敏電阻要低一些。國(guó)外生產(chǎn)濕敏電容的主廠家有Humirel公司,、Philips公司,、Siemens公司等。以Humirel公司生產(chǎn)的SH通測(cè)儀器1100型濕敏電容為例,，其測(cè)量范圍是（1%～99%）RH,，在55%RH時(shí)的電容量為180pF（典型值）。當(dāng)相對(duì)濕度從0變化到100%時(shí),，電容量的變化范圍是163pF～202pF,。溫度系數(shù)為0.04pF/℃，濕度滯后量為±1.5%,，響應(yīng)時(shí)間為5s,。
除電阻式、電容式濕敏元件之外,，還有電解質(zhì)離子型濕敏元件,、重量型濕敏元件（利用感濕膜重量的變化來(lái)改變振蕩頻率）、光強(qiáng)型濕敏元件,、聲表面波濕敏元件等,。濕敏元件的線性度及抗污染性差，在檢測(cè)環(huán)境濕度時(shí)，濕敏元件要長(zhǎng)期暴露在待測(cè)環(huán)境中,，很容易被污染而影響其測(cè)量精度及長(zhǎng)期穩(wěn)定性,。
2集成濕度傳感器的性能特點(diǎn)及產(chǎn)品分類(lèi)
目前，國(guó)外生產(chǎn)集成濕度傳感器的主要廠家及典型產(chǎn)品分別為Honeywell公司（HIH-3602,、HIH-3605,、HIH-3610型），Humirel公司（HM1500,、HM1520,、HF3223、HTF3223型）,，Sensiron公司（SHT11,、SHT15型）。這些產(chǎn)品可分成以下三種類(lèi)型：
2.1線性電壓輸出式集成濕度傳感器
典型產(chǎn)品有HIH3605/3610,、HM1500/1520,。其主要特點(diǎn)是采用恒壓供電，內(nèi)置放大電路,，能輸出與相對(duì)濕度呈比例關(guān)系的伏特級(jí)電壓信號(hào),，響應(yīng)速度快，重復(fù)性好,，抗污染能力強(qiáng),。
2.2線性頻率輸出集成濕度傳感器
典型產(chǎn)品為HF3223型。它采用模塊式結(jié)構(gòu),，屬于頻率輸出式集成濕度傳感器,，在55%RH時(shí)的輸出頻率為8750Hz（型值），當(dāng)上對(duì)濕度從10%變化到95%時(shí),，輸出頻率就從通測(cè)儀器9560Hz減小到8030Hz,。
這種傳感器具有線性度好、抗干擾能力強(qiáng),、便于配數(shù)字電路或單片機(jī),、價(jià)格低等優(yōu)點(diǎn)。
2.3頻率/溫度輸出式集成濕度傳感器
典型產(chǎn)品為HTF3223型,。它除具有HF3223的功能以外,，還增加了溫度信號(hào)輸出端，利用負(fù)溫度系數(shù)（NTC）熱敏電阻作為溫度傳感器,。當(dāng)環(huán)境溫度變化時(shí),，其電阻值也相應(yīng)改變并且從NTC端引出，配上二次儀表即可測(cè)量出溫度值,。
3單片智能化溫度/溫度傳感器
2002年Sensiron公司在世界上率先研制成功SHT11,、SHT15型智能化溫度/溫度傳感器,，其外形尺寸僅為7.6（mm）×5（mm）×2.5（mm），體積與火柴頭相近,。出廠前,，每只傳感器都在溫度室中做過(guò)精密標(biāo)準(zhǔn)，標(biāo)準(zhǔn)系數(shù)被編成相應(yīng)的程序存入校準(zhǔn)存儲(chǔ)器中,，在測(cè)量過(guò)程中可對(duì)相對(duì)濕度進(jìn)行自動(dòng)校準(zhǔn),。它們不僅能準(zhǔn)確測(cè)量相對(duì)溫度，還能測(cè)量溫度和露點(diǎn),。測(cè)量相對(duì)溫度的范圍是0～100%,，分辨力達(dá)0.03%RH，最高精度為±2%RH,。測(cè)量溫度的范圍是-40℃～ 123.8℃，分辨力為0.01℃,。測(cè)量露點(diǎn)的精度<±1℃,。在測(cè)量濕度、溫度時(shí)A/D轉(zhuǎn)換器的位數(shù)分別可達(dá)12位,、14位,。利用降低分辨力的方法可以提高測(cè)量速率，減小芯片的功耗,。SHT11/15的產(chǎn)品互換性好,，響應(yīng)速度快，抗干擾能力強(qiáng),，不需要外部元件,，適配各種單片機(jī)，可廣泛用于醫(yī)療設(shè)備及溫度/濕度調(diào)節(jié)系統(tǒng)中,。
芯片內(nèi)部包含相對(duì)濕度傳感器,、溫度傳感器、放大器,、14位A/D轉(zhuǎn)換器,、校準(zhǔn)存儲(chǔ)器（E2PROM）、易失存儲(chǔ)器（RAM）是,、狀態(tài)寄存器,、循環(huán)冗余校驗(yàn)碼（CRC）寄存器、二線串行接口,、控制單元,、加熱器及低電壓檢測(cè)電路。其測(cè)量原理是首先利用兩只傳感器分別產(chǎn)生相對(duì)濕度,、溫度的信號(hào),，然后經(jīng)過(guò)放大,，分別送至A/D轉(zhuǎn)換器進(jìn)行模/數(shù)轉(zhuǎn)換、校準(zhǔn)和糾錯(cuò),，最后通過(guò)二線串行接口將相對(duì)濕度及溫度的數(shù)據(jù)送至μC,。鑒于SHT11/15輸出的相對(duì)濕度讀數(shù)值與被測(cè)相對(duì)濕度呈非線性關(guān)系，為獲得相對(duì)濕度的準(zhǔn)確數(shù)據(jù),，必須利用μC對(duì)讀數(shù)值進(jìn)行非線性補(bǔ)償,。此外當(dāng)環(huán)境溫度TA≠ 25℃時(shí)，還需要對(duì)相對(duì)濕度傳感器進(jìn)行溫度補(bǔ)償,。
芯片內(nèi)部有一個(gè)加熱器,。將狀態(tài)寄存器的第2位置“1”時(shí)該加熱器接通電源，可使傳感器的溫度大約升高5℃,，電源電流亦增加8mA（采用 5V電源）,。使用加熱器可實(shí)現(xiàn)以下三種功能：①通過(guò)比較加熱前后測(cè)出的相對(duì)濕度值及溫度值，可確定傳感器是否正常工作,；②在潮濕環(huán)境下使用加熱器,，可避免傳感器凝露；③測(cè)量露點(diǎn)時(shí)也需要使用加熱器,。
露點(diǎn)也是濕度測(cè)量中的一個(gè)重要參數(shù),，它表示在水汽冷卻過(guò)程中最初發(fā)生結(jié)露的溫度。為了計(jì)算露點(diǎn),，Sensirion公司還向用戶(hù)提供一個(gè)測(cè)量露點(diǎn)的程序“SHTxdp.bsx”,。利用該程序可以控制內(nèi)部加熱器的通、斷,，再根據(jù)所測(cè)得的溫度值及相對(duì)濕度值計(jì)算出露點(diǎn),。在命令響應(yīng)界面上運(yùn)行此程序時(shí)，計(jì)算機(jī)屏通測(cè)儀器幕上就顯示提示符“>”,。用戶(hù)首先從鍵盤(pán)上輸入字母“S”,，然后輸入相應(yīng)的數(shù)字，即可獲得下述結(jié)果：
輸入數(shù)字“1”時(shí),，測(cè)量并顯示出攝氏溫度dgC=xx.x,；輸入數(shù)字“2”時(shí)，測(cè)量并顯示出相對(duì)濕度%RH=xx.x,；輸入數(shù)字“3”時(shí),，打開(kāi)加熱器，使傳感器溫度升高5℃,；輸入數(shù)字“4”時(shí),，關(guān)閉加熱器，使傳感器降溫,；輸入數(shù)字“5”時(shí),，顯示露點(diǎn)溫度 dpC=xx.x,。
4集成濕度傳感器典型產(chǎn)品的技術(shù)指標(biāo)
集成濕度傳感器的測(cè)量范圍一般可達(dá)到0～100%。但有的廠家為保證精度指標(biāo)而將測(cè)量范圍限制為10%～95%,。設(shè)計(jì) 3.3V低壓供電的濕度/溫度測(cè)試系統(tǒng)時(shí),，可選用SHT11、SHT15傳感器,。這種傳感器在測(cè)量階段的工作電流為550μA,，平均工作電流為28μA（12位）或2μA（8位）。上電時(shí)默認(rèn)為休眠模式（SleepMode）,，電源電流僅為0.3μA（典型值）,。測(cè)量完畢只要沒(méi)有新的命令，就自動(dòng)返回休眠模式,，能使芯片功耗降至最低,。此外，它們還具有低電壓檢測(cè)功能,。當(dāng)電源電壓低于 2.45V±0.1V時(shí),，狀態(tài)寄存器的第6位立即更新，使芯片不工作,，從而起到了保護(hù)作用。