??? 摘? 要: 一種用于微機(jī)械慣性傳感器研制與開發(fā)的檢測(cè)平臺(tái),介紹電容式慣性傳感器微電容信號(hào)的檢測(cè)原理、該系統(tǒng)的總體結(jié)構(gòu)、各個(gè)組成部分的工作原理" title="工作原理">工作原理及自動(dòng)檢測(cè)方法,。?

　　關(guān)鍵詞: 微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)? 微機(jī)械陀螺(MMG)? 檢測(cè)?

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　　隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,許多新的科學(xué)領(lǐng)域相繼涌現(xiàn),其中微米/納米技術(shù)就是諸多領(lǐng)域中引人注目的一項(xiàng)前沿技術(shù)。20世紀(jì)90年代以來,繼微米/納米技術(shù)成功應(yīng)用于大規(guī)模集成電路制作后,以集成電路工藝和微機(jī)械加工工藝為基礎(chǔ)的各種微傳感器和微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)脫穎而出,平均年增長(zhǎng)率達(dá)到30%,。微機(jī)械陀螺是其中的一個(gè)重要組成部分。目前,世界各個(gè)先進(jìn)工業(yè)國(guó)家都十分重視對(duì)MMG的研究及開發(fā),投入了大量人力物力,低精度的產(chǎn)品已經(jīng)問世,正在向高精度發(fā)展,。?

1 微機(jī)械振動(dòng)陀螺儀" title="陀螺儀">陀螺儀的簡(jiǎn)要工作原理?

　　陀螺系統(tǒng)組成見圖1,它由敏感元件,、驅(qū)動(dòng)電路、檢測(cè)電路和力反饋電路等組成,。在梳狀靜電驅(qū)動(dòng)器的差動(dòng)電容上分別施加帶有直流偏置但相位相反的交流電壓,由于交變的靜電驅(qū)動(dòng)力矩的作用,質(zhì)量片在平行于襯底的平面內(nèi)產(chǎn)生繞驅(qū)動(dòng)軸Z軸的簡(jiǎn)諧角振動(dòng),。當(dāng)在振動(dòng)平面內(nèi)沿垂直于檢測(cè)軸的方向(X方向)有空間角速度Ω輸入時(shí),在哥氏力的作用下,檢測(cè)質(zhì)量片便繞檢測(cè)軸(Y軸)上下振動(dòng)。這種振動(dòng)幅度非常小,可以由位于質(zhì)量片下方,、淀積在襯底上的電容極板檢測(cè),并通過電荷放大器,、相敏檢波電路和解調(diào)電路進(jìn)行處理,得到與空間角速度成正比的電壓信號(hào)。?

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　　在科研及加工過程中,一個(gè)重要的內(nèi)容就是檢測(cè)陀螺儀的特性,如工作狀態(tài)諧振頻率,、帶寬增益,、Q值等,于是就提出了微機(jī)械慣性傳感器檢測(cè)平臺(tái)的研制任務(wù)。根據(jù)陀螺儀的工作原理,整個(gè)儀器包括兩大部分:驅(qū)動(dòng)信號(hào)發(fā)生部分和表頭的輸出信號(hào)檢測(cè)部分,。驅(qū)動(dòng)信號(hào)發(fā)生部分對(duì)待測(cè)的慣性傳感器給予適當(dāng)?shù)尿?qū)動(dòng)信號(hào),使傳感器處于工作狀態(tài),。信號(hào)檢測(cè)部分要求檢測(cè)出微小電容變化,經(jīng)過放大、解調(diào)處理后,將模擬量轉(zhuǎn)換成數(shù)字量采集到PC機(jī)中,分析輸出信號(hào),以確定慣性儀表的特性,。?

2 微電容檢測(cè)技術(shù)?

　　在MMG檢測(cè)技術(shù)中,利用電容傳感器敏感試驗(yàn)質(zhì)量片在哥氏力作用下的振動(dòng)角位移,獲取輸入角速率信號(hào),。由于陀螺儀的尺寸微小,為了得到10°/h的中等精度,要求電容測(cè)量分辨率達(dá)到(0.01×10^-15)～(1×10^-18)法拉。因此,對(duì)于微機(jī)械加速度計(jì)和微機(jī)械陀螺儀來說,檢測(cè)試驗(yàn)質(zhì)量和基片之間的電容變化是一個(gè)關(guān)鍵技術(shù),。目前在MMG中采用的微電容檢測(cè)方案有三種:開關(guān)電容電路,、單位增益放大電路" title="放大電路">放大電路和電荷放大電路。?

2.1 開關(guān)電容電路?

　　其基本原理是利用電容的充放電將未知電容變化轉(zhuǎn)換為電壓輸出,。該測(cè)量電路包括一個(gè)電荷放大器,、一個(gè)采樣保持電路以及控制開關(guān)的時(shí)序,如圖2所示。?

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　　在測(cè)量過程中,先將未知電容(C₁,、C₂)充電至已知電壓V_ref,然后讓其放電,。充、放電過程由一定時(shí)序控制,不斷重復(fù),使未知電容總處于動(dòng)態(tài)的充放電過程,。C₁,、C₂連續(xù)地放電,電流脈沖經(jīng)過電荷放大器轉(zhuǎn)換為電壓。再經(jīng)過采樣保持器,得到輸出V_c,。將公式ΔC=2C₀·x/d₀代入,可得電容檢測(cè)電路的傳遞函數(shù)為:?

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2.2 單位增益放大器電路?

　　AD公司與U.C.Berkeley聯(lián)合開發(fā)的ADXL50 (5g的微機(jī)械加速度計(jì))采用了單位增益放大電路,。?

　　圖3是單位增益放大器的等效電路。圖3中,C_p為分布電容" title="分布電容">分布電容,C_gs為前置級(jí)輸入電容,R_gs為輸入電阻,。當(dāng)載波頻率在放大器的通頻帶以內(nèi)時(shí),前置級(jí)輸入電阻可忽略不計(jì),。由圖3可得,前置級(jí)有用信號(hào)輸出為:?

??? (V_s-V_out)jω(C₀+ΔC)+(-V_s-V_out)jω(C₀-ΔC)?

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　　分布電容C_p約為10pF,輸入電容C_gs約為1～10pF,一般都大于傳感器標(biāo)稱電容C₀(1pF左右)。可以看出,它們的存在都極大地降低了電容檢測(cè)靈敏度,。要提高電路靈敏度,就必須消除C_p,、C_gs的影響,通常采用的措施是等電位屏蔽。

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2.3 電荷放大器電路?

　　電荷放大器電路如圖4所示,。它采用具有低輸入阻抗的反相輸入運(yùn)算放大器,。其中C_p表示分布電容,C_f為標(biāo)準(zhǔn)反饋電容,R_f用來為放大器提供直流通道,保持電路正常工作。應(yīng)選取R_f,使時(shí)間常數(shù)R_fC_f遠(yuǎn)大于載波周期,以避免輸出波形畸變,。但R_f過大為今后電路集成帶來不便,。可以使用小阻值的電阻組成T型網(wǎng)絡(luò),替代大阻值電阻,。?

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　　若運(yùn)算放大器具有足夠的開環(huán)增益,反相輸入端為很好的虛地,那么,兩輸入端點(diǎn)之間的電位差為零,。因此,反相輸入端對(duì)地的分布電容C_p和放大器的輸入電容C_gs對(duì)電路測(cè)量不會(huì)造成影響。電荷放大電路相對(duì)于單位增益放大電路來說,結(jié)構(gòu)要簡(jiǎn)單,不需考慮等電位屏蔽問題;只需將雜散電容的影響轉(zhuǎn)化為對(duì)地的分布電容,即進(jìn)行合理的對(duì)地屏蔽,就能獲得較好的效果,。?

　　盡管在電荷放大電路中,可以忽略掉輸入電容及反相輸入端對(duì)地的分布電容,但是在檢測(cè)微小電容變化時(shí),輸出還是有很大的衰減,。這是由放大器輸入輸出端分布電容C_io造成的。當(dāng)載波電壓頻率大于1/(2πR_fC_f)和小于放大器的截止頻率時(shí),輸出電壓V_out應(yīng)該表示為:?

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3 檢測(cè)平臺(tái)的系統(tǒng)構(gòu)成及工作原理?

　　該系統(tǒng)的工作原理如圖5所示,。對(duì)慣性傳感器施以適當(dāng)?shù)募?lì)信號(hào)后,傳感器的動(dòng)片即處于振動(dòng)狀態(tài),上下極板間的電容發(fā)生周期變化,采用電荷放大器電路將該信號(hào)提取出來,經(jīng)交流放大,、解調(diào)后通過A/D轉(zhuǎn)換變成數(shù)字量采集到微機(jī)中,觀察傳感器的輸出響應(yīng),為下一步利用軟件方法分析微機(jī)械慣性傳感器的時(shí)域、頻域特性打下基礎(chǔ),。?

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3.1 激勵(lì)信號(hào)發(fā)生器?

　　根據(jù)微機(jī)械輪式振動(dòng)陀螺儀的工作原理,最多需要4路激勵(lì)信號(hào),。激勵(lì)信號(hào)為正弦波,每?jī)陕废辔幌喾础榱藴y(cè)量陀螺儀的頻率特性,需要不斷改變激勵(lì)信號(hào)的頻率,。目前不同設(shè)計(jì)的陀螺儀諧振頻率在幾百赫茲到10千赫茲之間,激勵(lì)信號(hào)也需要在這個(gè)范圍內(nèi)進(jìn)行調(diào)節(jié)。另外,陀螺儀的驅(qū)動(dòng)力矩等于驅(qū)動(dòng)信號(hào)的交流分量與直流分量的乘積,所以還要施加正或負(fù)的直流偏置,使陀螺能處于正常工作狀態(tài),。交流相位和直流偏置組合見表1,。?

　　一般的RC振蕩電路生成的正弦波頻率靠改變R、C值來調(diào)節(jié),不能連續(xù)大范圍調(diào)節(jié),。所以,設(shè)計(jì)中采用數(shù)字方法合成模擬波形,其原理見圖6,。圖6中8254為軟件可編程計(jì)數(shù)器。其包含3個(gè)獨(dú)立的16位計(jì)數(shù)器,計(jì)數(shù)最高頻率可達(dá)8MHz,設(shè)計(jì)中輸入3MHz的時(shí)鐘,將2個(gè)計(jì)數(shù)器串連使用,這樣可以增加頻率控制范圍,。8254產(chǎn)生的方波信號(hào)作為后面并行計(jì)數(shù)器的計(jì)數(shù)脈沖輸入,。并行計(jì)數(shù)器由2片74LS161組成8位二進(jìn)制循環(huán)計(jì)數(shù)器。74LS161計(jì)數(shù)到最大值時(shí)會(huì)自動(dòng)清零,重新開始計(jì)數(shù),其輸出可作為E²PROM 2817A的地址信號(hào)(即每個(gè)正弦周期內(nèi)采樣點(diǎn)數(shù)為256個(gè)),。2817A的數(shù)據(jù)讀取時(shí)間為150ns,。設(shè)計(jì)電路時(shí)將它的片選和讀信號(hào)均設(shè)為有效,以提高數(shù)據(jù)讀取速度。D/A轉(zhuǎn)換采用DAC-08電流輸出型D/A轉(zhuǎn)換器,。電流輸出時(shí)間85ns,放大器采用高速高精度運(yùn)放OP-37,。同理,D/A轉(zhuǎn)換器的片選和轉(zhuǎn)換開始信號(hào)總為有效,其輸出跟隨輸入變化,提高轉(zhuǎn)換速度。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,此信號(hào)發(fā)生器完全可以生成10kHz以內(nèi)可調(diào)頻的正弦波。而且使用可編程計(jì)數(shù)器8254,輸出正弦波的頻率可以用軟件方法調(diào)節(jié),。如果想輸出非正弦波形,只要修改E2PROM的數(shù)據(jù),就可以輸出任意形狀的周期波型,。?

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3.2 低通跟蹤濾波器?

　　數(shù)字信號(hào)發(fā)生器具有控制靈活的優(yōu)點(diǎn),但是輸出信號(hào)不夠平滑,其中會(huì)有臺(tái)階波。在對(duì)信號(hào)要求比較高的場(chǎng)合,還需要進(jìn)行濾波,。本設(shè)計(jì)中信號(hào)的頻率變化范圍很大:幾百赫茲到10千赫茲,。為了進(jìn)一步提高信號(hào)質(zhì)量,采用AD633模擬乘法器構(gòu)成低通跟蹤濾波器,其原理如圖7。?

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??? 通帶的截止頻率是由電壓E_C控制的,輸出是OUTPUTA,截止頻率:?

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??? OUTPUTB處是乘法器的直接輸出端,截止頻率與RC濾波器相同: ?

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　　這種濾波器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,沒有開關(guān)電容,噪聲小,一般采用數(shù)模轉(zhuǎn)換器控制E_C, 控制通帶頻率也比較容易,。?

3.3 交流放大器?

　　微機(jī)械慣性傳感器在施加激勵(lì)信號(hào)后,即處于振動(dòng)狀態(tài),。傳感器有差動(dòng)微電容量變化C₀+ΔC和C₀-ΔC。采用電荷放大器電路提取出ΔC,此電壓信號(hào)仍然很弱,需要進(jìn)一步放大處理,于是采用圖8所示的交流放大器,。

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??? 交流放大器由4個(gè)放大倍數(shù)為-1,、-2、-5,、-10的運(yùn)算放大器級(jí)聯(lián)組成,進(jìn)一步放大被測(cè)信號(hào),同時(shí)調(diào)整幅值以便適應(yīng)解調(diào)器的輸入,。圖8中的開關(guān)選用ADG211模擬開關(guān),通過控制模擬開關(guān)的開合,可以任意選擇某級(jí)或某幾級(jí)放大器參加工作,實(shí)現(xiàn)對(duì)放大倍數(shù)正負(fù)1、2,、5,、10、20,、50,、100的整倍數(shù)調(diào)整。例如,將模擬開關(guān)S₀,、S₂,、S₈、S₁₃閉合,其他開關(guān)全部打開,交流放大器的總放大倍數(shù)即為:(-1)×(-2)×(-10)=-20,。?

3.4 數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)?

　　使用計(jì)算機(jī)總線,與外設(shè)之間必須有接口,。本系統(tǒng)采用雙端口RAM作為數(shù)據(jù)緩存。先將信號(hào)采樣并存儲(chǔ)其中,然后成組地向主機(jī)傳送,從而有效地發(fā)揮了主,、從資源的效率,且設(shè)計(jì)也相對(duì)簡(jiǎn)單,。?

3.4.1 系統(tǒng)工作原理?

　　系統(tǒng)基本組成原理如圖9。主要有雙端口RAM,、邏輯控制模塊" title="控制模塊">控制模塊,、A/D轉(zhuǎn)換器組、計(jì)算機(jī)接口,。主機(jī)通過接口啟動(dòng)邏輯控制模塊后,CPU資源向其他請(qǐng)求開放,邏輯控制模塊發(fā)控制信號(hào)啟動(dòng)A/D轉(zhuǎn)換器并進(jìn)行采樣,并將轉(zhuǎn)換結(jié)果存入雙端口RAM,。當(dāng)RAM中的數(shù)據(jù)達(dá)到一定數(shù)量時(shí),邏輯控制模塊向計(jì)算機(jī)發(fā)出中斷請(qǐng)求。主機(jī)接到請(qǐng)求后進(jìn)入中斷服務(wù)程序,向邏輯控制模塊發(fā)出命令,決定是否繼續(xù)采樣,并將RAM內(nèi)的數(shù)據(jù)讀入內(nèi)存,。?

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3.4.2 硬件設(shè)計(jì)?

　　本設(shè)計(jì)使用Cypress公司的CY7C136(2k×8bit)雙端口RAM,。其兩個(gè)端口都有獨(dú)立的控制信號(hào)、片選CE、輸出允許OE和讀寫控制R/W,。這組控制信號(hào)使得兩個(gè)端口可以像獨(dú)立的存儲(chǔ)器一樣使用,。使用這種器件要注意當(dāng)兩個(gè)端口訪問同一個(gè)單元時(shí),有可能導(dǎo)致數(shù)據(jù)讀出的結(jié)果不正確。解決這個(gè)問題的方法有兩個(gè):一種是監(jiān)測(cè)busy信號(hào)輸出,當(dāng)檢測(cè)到busy信號(hào)有效時(shí),就使訪問周期拉長(zhǎng),這是從硬件上解決;另一種方法是軟件上保證兩個(gè)端口不同時(shí)訪問一個(gè)單元,即將雙端口RAM進(jìn)行分塊,。本系統(tǒng)采用后者,將busy信號(hào)輸出通過上拉電阻接到電源正極,。?

　　在系統(tǒng)中,邏輯控制模塊的作用非同小可,是控制采樣、存儲(chǔ),、與計(jì)算機(jī)接口的核心,。本系統(tǒng)為了方便對(duì)采樣速率等參數(shù)進(jìn)行設(shè)置,在該模塊中采用了MCS-51單片機(jī)。這樣可以通過編程設(shè)定采樣速率,。?

　　與主機(jī)的信息交換包括:?

　　(1)接收主機(jī)控制信號(hào),以決定是否開始采樣;?

　　(2)在存儲(chǔ)區(qū)滿后,向主機(jī)發(fā)中斷請(qǐng)求,。?

　　本系統(tǒng)使用AT89C51的地址總線來選通RAM的存儲(chǔ)單元,對(duì)其進(jìn)行寫操作,將采樣結(jié)果存入相應(yīng)的單元。?

3.4.3 軟件設(shè)計(jì)?

　　系統(tǒng)軟件包括主機(jī)程序和邏輯控制模塊中89C51程序,。軟件的關(guān)鍵是單片機(jī)控制A/D轉(zhuǎn)換器和存儲(chǔ)器部分,軟件流程見圖10,。?

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　　至于系統(tǒng)的采樣速率,一般通過調(diào)用定時(shí)中斷來實(shí)現(xiàn)。?

　　微機(jī)械慣性通用檢測(cè)系統(tǒng)針對(duì)性強(qiáng)(專用于微機(jī)械陀螺儀和加速度計(jì)),可實(shí)現(xiàn)敏感元件的自動(dòng)測(cè)試,自動(dòng)掃頻測(cè)出傳感器的諧振頻率,、Q值等,并且還可以在一定程度上實(shí)現(xiàn)硬件功能再調(diào)整,在實(shí)際檢測(cè)中取得了較好的效果,。?

參考文獻(xiàn)?

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