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基于阻抗匹配器的二極管幅-相檢測(cè)電路設(shè)計(jì)

半導(dǎo)體芯片領(lǐng)域的競(jìng)爭(zhēng)很大程度上取決于半導(dǎo)體裝備以及核心零部件的競(jìng)爭(zhēng),，如射頻電源、阻抗匹配器等,。設(shè)備的抗干擾能力以及穩(wěn)定性等特性是衡量設(shè)備優(yōu)劣的重要標(biāo)準(zhǔn),。對(duì)于阻抗匹配器而言，控制回路的精準(zhǔn),、穩(wěn)定以及快速響應(yīng)是決定阻抗匹配器這款產(chǎn)品性能好壞的重要指標(biāo),。因此，基于電容分壓采樣,、電流互感器采樣以及運(yùn)放電路等相關(guān)原理,，設(shè)計(jì)了一款純硬件電路的阻抗幅值、相位檢測(cè)回路,，并用仿真軟件ADS2021進(jìn)行模擬仿真實(shí)驗(yàn),，得到表征射頻電源和負(fù)載之間阻抗匹配程度的模擬量Urms。通過實(shí)驗(yàn)測(cè)試表明,，Urms越大表征射頻源與負(fù)載之間失配越嚴(yán)重,，功率傳輸效率越低；Urms越小表征射頻源和負(fù)載之間的匹配程度越好,，功率傳輸效率越高,。同時(shí)，通過改變母線信號(hào)的輸入功率，得到Urms與輸入功率具有較高的線性相關(guān)性,，因此該檢測(cè)回路具有很好的穩(wěn)定性,，能夠適用于寬范圍匹配器阻抗的幅值、相位檢測(cè),。 關(guān)鍵詞：阻抗匹配,Urms,幅值-相位信號(hào),線性相關(guān)

發(fā)表于：7/11/2023