0 引言

　　硅電容壓力傳感器是利用硅基材料， 應(yīng)用電容原理,， 采用MEMS 工藝制作的一類新型壓力傳感器,。因其具有穩(wěn)定性好， 非線性和可靠性優(yōu)越的性能被廣泛用于工業(yè)控制和測(cè)量領(lǐng)域,。但是差動(dòng)電容式壓力傳感器的輸出差動(dòng)電容信號(hào)通常都非常微弱,， 因此， 如何將微小電容變化量檢測(cè)及轉(zhuǎn)換為后續(xù)電路容易處理的信號(hào)至關(guān)重要,。目前,， 比較常用的檢測(cè)調(diào)理電路如諧振法、振蕩法,、開關(guān)電容法,、AC 電橋法、運(yùn)算放大器檢測(cè)法等,。這些調(diào)理電路都是采用分離元件設(shè)計(jì)而成的,， 而文中將采用一款電容專用檢測(cè)轉(zhuǎn)換芯片CAV424作為調(diào)理電路的核心部件。實(shí)驗(yàn)表明該電路穩(wěn)定性高,， 功耗低,， 且非線性度在02%~ 0 1%, 非常適合使用干電池供電的儀表儀器。

　　1 CAV424工作原理

　　1. 1 測(cè)量原理

　　CAV424是專門用于電容檢測(cè)轉(zhuǎn)換的集成芯片,， 其工作原理圖及外圍連接圖如圖1所示,。

圖1 CAV424工作原理圖及外圍連接圖

　　由圖1可知， 通過(guò)電容C osc調(diào)整參考振蕩器的頻率來(lái)驅(qū)動(dòng)2個(gè)構(gòu)造對(duì)稱的積分器并使它們?cè)跁r(shí)間和相位上同步,。2 個(gè)被控制的積分器的振幅分別由電容C X1和C X2來(lái)決定,， 這里C X1作參考電容， C X2作為測(cè)量電容,。由于積分器具有很高的共模抑制比和分辨率,， 所以2個(gè)振幅的差值所提供的信號(hào)就反映出2個(gè)電容C X1和C X2的差值。這個(gè)電壓差值通過(guò)后面的有源濾波器濾波為直流電源信號(hào)（整流效應(yīng)）,， 然后送到可調(diào)的放大器,， 調(diào)整RL 1和RL 2的值， 可得到所需要的輸出電壓值,。如果2 個(gè)電容C X1和C X2值相同,， 那么經(jīng)過(guò)整流和濾波得到的一個(gè)直流電壓信號(hào)就是零。如果測(cè)量C X2電容改變了△C X2, 那么得到的輸出電壓與之是成正比的,。如果2個(gè)電容C X1和C X2值不相同,， 那么當(dāng)C X2 = 0時(shí)， 在輸出端得到的是一個(gè)偏置值,， 它始終是疊加在直流電壓信號(hào)上的,。

　　1.2 測(cè)量輸出

　　根據(jù)CAV424工作原理及外圍電路連接圖， 可得測(cè)量輸出表達(dá)式：

　　這里取ICX1= ICX2= IC, 所以輸出表達(dá)式（ 1）可簡(jiǎn)化為：

　　式中：

　　VM 為參考電壓2 5 V; Ic 為2個(gè)積分器的充電電流,， 這里取常數(shù)5 A; fOSC為參考振蕩器頻率范圍,， 其由被測(cè)電容的最小值決定。

　　2 硬件電路及軟件設(shè)計(jì)

　　2. 1 系統(tǒng)設(shè)計(jì)

　　該系統(tǒng)主要以CAV424檢測(cè)芯片和微處理器控制模塊為核心,， 另外還有輸出顯示模塊以及電源模塊等,。系統(tǒng)框圖如圖2所示。

圖2 系統(tǒng)框圖,。

　　CAV424檢測(cè)芯片在系統(tǒng)中主要任務(wù)是將傳感器的差動(dòng)電容信號(hào)轉(zhuǎn)換為可測(cè)的電壓信號(hào),。差動(dòng)式壓力傳感器的低壓端連接C X1參考電容端， 高壓端連接C X2被測(cè)電容端,， 這樣連接可以保證輸出電壓始終為正,。

　　2. 2 電容檢測(cè)電路設(shè)計(jì)

　　根據(jù)硅電容壓力傳感器核心器件可看成由中心可動(dòng)電極和兩邊的固定電極組成的2個(gè)可變電容， 其敏感電容可以簡(jiǎn)單地認(rèn)為是平板電容,， 而平板電容公式為：

　　并且將C X1參連接到差壓的高壓端,， C X2連接到低壓端。由此可得C X1參和C X2表達(dá)式：

　　因此可得式（ 2） 最終表達(dá)式：

　　式中： ε為兩極板間介質(zhì)的介電常數(shù),； S 為兩極板相對(duì)有效面積,； δ為兩極板的間隙。

　　因此,， 在小位移情況下,， 外加壓力和△δ成比例關(guān)系， 可見電容的倒數(shù)差與輸入壓力成線性關(guān)系,。所以文中將CAV424的CX 1作為參考電容端連接到差壓的高壓端是合適的,， 這樣的線性關(guān)系減少了系統(tǒng)誤差的影響， 提高了系統(tǒng)的可靠性和準(zhǔn)確性,。CAV424檢測(cè)轉(zhuǎn)換原理如圖3所示,。

圖3 CAV424檢測(cè)原理圖

　　2.3 控制及顯示電路設(shè)計(jì)

　　控制顯示電路以單片機(jī)為核心， 選用PIC16F877單片機(jī)為控制器,， 其內(nèi)部含有10位高精度A /D轉(zhuǎn)化器,， 能夠直接處理模擬電壓， 調(diào)整CAV424的GLP , 可以使輸出電壓范圍在2 5~ 35V 之間,， 滿足單片處理信號(hào)的要求,。顯示器件選用LCM 046液晶模塊,， 其功耗低， 工作電流只有μA級(jí),， 并且其與處理器連接簡(jiǎn)單,。連接圖如圖4所示。

圖4 液晶連接圖

　　2.4 軟件設(shè)計(jì)

　　軟件設(shè)計(jì)主要包括A /D 轉(zhuǎn)換程序和LCM 046 數(shù)據(jù)顯示兩部分,。另外還有非線性補(bǔ)償部分,， 在線性不好的情況下可以采用插值法進(jìn)行必要的線性補(bǔ)償。軟件流程圖設(shè)計(jì)如圖5,、圖6,、圖7所示。

　　3 實(shí)驗(yàn)與結(jié)果分析

　　試驗(yàn)中差動(dòng)式電容傳感器的低壓端連接CAV424的C X2管腳,， 高壓端連接C X1管腳,。根據(jù)差動(dòng)電容值的變化范圍， Cosc這里取82 pF, 則fOSC = 29. 036 kH z;GLP = 1 +RL1/RL2中的RL 1, RL2分別取300Ω  和100 Ω , 這樣使得CAV424輸出的電壓范圍在25~3 75 V, 在ADC 模擬輸入范圍內(nèi),。試驗(yàn)中選取兩種量程的電容傳感器作為實(shí)驗(yàn)的測(cè)試對(duì)象,， 分別是130 Pa 和10M Pa 兩種。

　　在實(shí)驗(yàn)環(huán)境相同情況下,， 實(shí)驗(yàn)測(cè)得常溫下數(shù)據(jù)如表1,、表2 所示。

表1 130 Pa對(duì)應(yīng)輸出電壓值

表2 10MPa對(duì)應(yīng)輸出電壓值

　　從表1,、表2可以看出實(shí)際測(cè)量值與理論值差值范圍在0 001 47~ 0000 3, 誤差小于02%, 且線性也比較理想,。整體性能符合實(shí)際要求， 因此利用1片CAV424作為測(cè)量電路檢測(cè)前端是可行的,， 有很好的實(shí)用性,。