1 前言
隨著集成電路的發(fā)展,，小型化與多功能成了大家共同追求的目標(biāo)，這不僅加速了IC設(shè)計(jì)的發(fā)展,，也促進(jìn)了IC封裝設(shè)計(jì)的發(fā)展,。IC封裝設(shè)計(jì)也可以在一定程度上提高產(chǎn)品的集成度,，同時(shí)也對(duì)產(chǎn)品的可靠性起著很重要的影響作用。本文總結(jié)和研究了一些封裝工藝中提高可靠性的方法,。
2 引線(xiàn)框架
引線(xiàn)框架的主要功能是芯片的載體,，用于將芯片的I/O引出。在引線(xiàn)框架的設(shè)計(jì)過(guò)程中,，需要考慮幾個(gè)因素,。
2.1 與塑封料的粘結(jié)性
引線(xiàn)框架與塑封料之間的粘結(jié)強(qiáng)度高，產(chǎn)品的氣密性更佳,，可靠性更高,；與塑封料的粘結(jié)性不好，會(huì)導(dǎo)致分層及其他形式的失效,。影響粘結(jié)強(qiáng)度的因素除了塑封料的性能之外,，引線(xiàn)框架的設(shè)計(jì)也可以起到增強(qiáng)粘結(jié)強(qiáng)度的作用，如在引腳和基島邊緣或背面設(shè)計(jì)圖案,，如圖1所示,。
圖1 各種增強(qiáng)型框架
2.2 芯片與引腳之間的連接
引線(xiàn)框架的最重要的功能是芯片與外界之間的載體，因此,，引線(xiàn)框架應(yīng)設(shè)計(jì)得利于芯片與引腳之間的連接,，要考慮線(xiàn)弧的長(zhǎng)度以及弧度。
2.3 考慮塑封料在型腔內(nèi)的流動(dòng)
對(duì)于多芯片類(lèi)的復(fù)雜設(shè)計(jì),，還應(yīng)考慮塑封時(shí)塑封料在芯片與芯片或芯片與模具之間的流動(dòng)性。
3 焊線(xiàn)
3.1 增強(qiáng)焊線(xiàn)強(qiáng)度
焊線(xiàn)強(qiáng)度除了焊點(diǎn)處的結(jié)合強(qiáng)度外,，線(xiàn)弧的形狀也會(huì)對(duì)焊線(xiàn)強(qiáng)度有一定的影響,。
增強(qiáng)焊線(xiàn)強(qiáng)度的方法之一是在焊線(xiàn)第二點(diǎn)種球，有BSOB和BBOS兩種方式,。如圖2所示,。
圖2 BSOB和BBOS的示意圖
BSOB的方法是先在焊線(xiàn)的第二點(diǎn)種球，然后再將第二點(diǎn)壓在焊球上,；BBOS的方法是在焊線(xiàn)的第二點(diǎn)上再壓一個(gè)焊球,。兩種方法均能增強(qiáng)焊線(xiàn)強(qiáng)度，經(jīng)試驗(yàn),，BBOS略強(qiáng)于BSOB,。BBOS還應(yīng)用于die todie（芯片與芯片）之間的焊接，如圖3所示,。
圖3 BBOS用于疊晶及芯片與芯片之間焊接的情況
3.2 降低線(xiàn)弧高度
現(xiàn)在的封裝都向更薄更小發(fā)展,，對(duì)芯片厚度、膠水厚度和線(xiàn)弧高度都有嚴(yán)格控制,。一般弧度的線(xiàn)弧,，弧高（芯片表面至線(xiàn)弧最高點(diǎn)的距離）一般不低于100μm，要形成更低的線(xiàn)弧，有以下兩種方法,。RB（Reverse BONding反向焊接）和FFB（FoldedForward Bonding折疊焊接 ）,，如圖4和圖5所示。
圖4 反向焊接（RB）
圖5 折疊正向焊接（FFB）
反向焊接雖然可以形成低的線(xiàn)弧,，但是種球形成了大的焊球,，使得焊線(xiàn)間距受到限制。折疊正向焊接方法是繼反向焊接之后開(kāi)發(fā)的用于低線(xiàn)弧的焊接方法,，如圖5所示,。
低線(xiàn)弧不僅能夠滿(mǎn)足塑封體厚度更薄的要求，還能減少塑封時(shí)的沖絲以及線(xiàn)弧的擺動(dòng)（wiresweep）,，對(duì)增加封裝可靠性有一定的幫助,。
3.3 等離子清洗
提高焊接可靠性的一個(gè)重要方法是使用等離子清洗。等離子清洗除能清潔掉芯片及引線(xiàn)框架表面的沾污和氧化物之外,，還能激活表面,，使結(jié)合面更加牢固。等離子清洗需要保證氣體在產(chǎn)品各個(gè)表面均勻的流動(dòng),，因此需要使用有孔料盒,，如圖6所示。
圖6 等離子清洗使用的料盒
等離子清洗的幾個(gè)關(guān)鍵影響因素有：
?。?）氣體成分,。等離子清洗使用的氣體一般為氬氣、氧氣和氫氣,，也可以使用混合氣體,。氬氣和氧氣用來(lái)清洗有機(jī)殘留，氫氣用來(lái)清洗氧化物,。
?。?）料盒和產(chǎn)品排布。清洗效果的一致性是很重要的,，有利于獲得封裝組裝工藝的高質(zhì)量控制 [3],。對(duì)于射頻型等離子清洗機(jī)而言，應(yīng)該讓料盒的排布順應(yīng)氣體的流向,，讓氣體均勻流通在料盒的各個(gè)位置,。
（3）功率和時(shí)間,。對(duì)不同廠(chǎng)家制造的等離子清洗機(jī)以及不同類(lèi)型的產(chǎn)品,，都要通過(guò)DOE實(shí)驗(yàn)方法，找出最合適的設(shè)定范圍,。
?。?）評(píng)定方法,。最直觀(guān)的評(píng)定等離子清洗效果的方法是滴水試驗(yàn)，通過(guò)觀(guān)察界面角來(lái)判定親水性,，如圖7,。
圖7 浸濕示意圖
浸濕角在20°~40°之間是合適狀態(tài)，16h后浸濕角會(huì)大于40°,。因此,，等離子清洗后的延遲時(shí)間建議為8h。
評(píng)估等離子清洗效果的另一方法為比較PpK或CpK,，這也是使用等離子清洗的最終目標(biāo),。為了獲得穩(wěn)定的高質(zhì)量控制，我們做了PpK的比較試驗(yàn),，結(jié)果證明,，等離子清洗能夠在一定程度上提高產(chǎn)品的質(zhì)量穩(wěn)定性。試驗(yàn)內(nèi)容如下：
試驗(yàn)設(shè)備：EUROPLASMA,；氣體：Ar+H2（氬氣+氫氣）,；線(xiàn)徑：30μm金線(xiàn)；焊球直徑：82.5μm,；等離子清洗機(jī)RF功率：300W,；清洗時(shí)間：180s。
表1 等離子清洗前后樣品焊球推力測(cè)試結(jié)果比較
由此可見(jiàn),，等離子清洗對(duì)金線(xiàn)的結(jié)合力有一定程度的提高,，同時(shí)也提高了品質(zhì)穩(wěn)定性。
4 塑封
影響塑封效果的主要因素有以下幾個(gè)方面,。
4.1 模具和框架設(shè)計(jì)
前文中提到一些加強(qiáng)框架與塑封料之間結(jié)合力的設(shè)計(jì)方法,，當(dāng)需要用到大面積的基島時(shí)，就需要考慮用到加強(qiáng)型的設(shè)計(jì),；同時(shí)，接近塑封體邊緣的部分也是脆弱點(diǎn),，也需要一些加強(qiáng)結(jié)合力的方法,。
框架和塑封模具之間關(guān)系密切，它們互補(bǔ)互足,，設(shè)計(jì)模具時(shí)需要綜合考量框架,、內(nèi)部芯片擺放位置、走線(xiàn)方向以及塑封料的物理化學(xué)性能,。
4.2 塑封料
塑封料性能的好壞也直接影響可靠性,。一般判斷塑封料等級(jí)的首要因素為MSL（潮濕敏感度等級(jí)），MSL等級(jí)越高,，其對(duì)芯片的保護(hù)越好,。其次,，熱硬度即熱轉(zhuǎn)化溫度及與不同金屬面之間的粘結(jié)性能也是需要考慮的重要因素。
5 總結(jié)
在進(jìn)行封裝設(shè)計(jì)時(shí),，除了考慮電性能方面的穩(wěn)定性之外,，封裝工藝的可靠性設(shè)計(jì)也是重要的環(huán)節(jié)。封裝工藝需要依靠行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)和各個(gè)公司總結(jié)出的經(jīng)驗(yàn),，同時(shí),，封裝工藝設(shè)計(jì)和可靠性測(cè)試與失效分析是密不可分的，它們具有相輔相成的關(guān)系,。封裝工藝需要通過(guò)可靠性試驗(yàn)來(lái)衡量,，需要失效分析來(lái)尋找問(wèn)題的原因，需要經(jīng)驗(yàn)與技術(shù)來(lái)得出改進(jìn)的方法,。