《電子技術(shù)應(yīng)用》
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高功率QCW半導(dǎo)體陣列的可靠性研究
摘要: CEO制造生產(chǎn)了一系列的用于高功率QCW的陣列產(chǎn)品,。這些產(chǎn)品采用熱膨脹系數(shù)匹配熱沉技術(shù)以及硬封裝技術(shù),,進(jìn)而最大限度的提高器件的可靠性。
關(guān)鍵詞: 半導(dǎo)體 QCW 高功率 陣列
Abstract:
Key words :

 

CEO制造生產(chǎn)了一系列的用于<a class=高功率QCW的陣列產(chǎn)品" height="322" src="http://files.chinaaet.com/images/20111105/87785080-d31a-418f-aa33-0afc846e78ab.jpg" width="420" />

  CEO制造生產(chǎn)了一系列的用于高功率QCW的陣列產(chǎn)品,。這些產(chǎn)品采用熱膨脹系數(shù)匹配熱沉技術(shù)以及硬封裝技術(shù),,進(jìn)而最大限度的提高器件的可靠性,。

  這些產(chǎn)品的壽命測(cè)試結(jié)果在這里做了總結(jié)。這些測(cè)試量化了QCW陣列和相關(guān)激光增益模塊的可靠性,。這里給出了原始的壽命測(cè)試數(shù)據(jù),,并對(duì)其進(jìn)行了統(tǒng)計(jì)分析。這些結(jié)論對(duì)于激光系統(tǒng)設(shè)計(jì)者是很有用的,。

  該壽命測(cè)試展示了這些陣列在不同的運(yùn)行區(qū)域的高水平的可靠性,。如單條陣列的MTTF發(fā)射次數(shù)預(yù)測(cè)可高達(dá)198億次,四條陣列的MTTF發(fā)射次數(shù)也測(cè)可高達(dá)146億次,。另外,,也對(duì)一個(gè)大的泵浦源條件陣列的壽命進(jìn)行了分析,,可以看到預(yù)期的壽命為135億次發(fā)射次數(shù),。

  這比在重復(fù)率低于370Hz的運(yùn)行條件預(yù)期的運(yùn)行壽命高了10000個(gè)小時(shí)。

1. 引言

  二極管泵浦固體激光器(DPSS)被廣泛應(yīng)用于工業(yè),,科研以及軍事等領(lǐng)域,。這些應(yīng)用領(lǐng)域包括激光燒蝕,激光切割,,激光焊接,,激光測(cè)距,激光測(cè)探等許多用途,。每一個(gè)領(lǐng)域?qū)PSS激光器都有各種各樣的不同要求,,如脈沖能量,脈沖寬度以及光束質(zhì)量等等,。

  傳統(tǒng)上,,高能量脈沖DPSS激光器是通過(guò)Q-開(kāi)關(guān)技術(shù)獲得。一般都是連續(xù)(CW)激光二極管陣列對(duì)激光介質(zhì)如Nd:YAG棒或切片進(jìn)行泵浦的,。然而如果是利用準(zhǔn)連續(xù)(QCW)激光二極管陣列泵浦的話(huà),,我們可以從中獲得更多的優(yōu)點(diǎn)。相比CW, QCW激光二極管陣列的峰值功率會(huì)更高,。另外,,多個(gè)高峰值功率QCW巴條封裝在同一個(gè)區(qū)域。這些巴條就可以看作單個(gè)的CW巴條,,因?yàn)槊總€(gè)巴條在QCW模式運(yùn)行時(shí),,更低的平均熱量損失。這些因素,再加上能夠組裝更加緊湊的二極管陣列,,從而可以在QCW模式運(yùn)行下,,獲得非常高的峰值功率。再者,,QCW泵浦可以減少激光增益物質(zhì)的熱量,,從而有效的降低熱聚束效應(yīng),提高激光的光束質(zhì)量,。

 

      在以前,,QCW泵浦方案的最大缺點(diǎn)在于激光二極管陣列的壽命較短。今天,,壽命超過(guò)10000小時(shí)的CW激光二極管陣列在工業(yè)已經(jīng)得到廣泛的生產(chǎn),。這相當(dāng)于可以連續(xù)運(yùn)行416天,并被認(rèn)為是所有DPSS系統(tǒng)可靠性的一個(gè)指標(biāo),。QCW激光二極管陣列能夠在高功率水平下運(yùn)行的特性,,使得它們備受激光設(shè)計(jì)者的青睞(典型下,是相應(yīng)CW的2—3倍),。傳統(tǒng)上,,這些激光二極管輸出面上的巴條很容易遭遇光學(xué)突變破壞(COD),從而得不到應(yīng)用,。因此,,為了吸引激光系統(tǒng)設(shè)計(jì)者以及生廠(chǎng)商,COD必須得到有效的抑制,,產(chǎn)品也必須高于10000小時(shí)的工作壽命,。

  NGCEO制造CW和QCW激光二極管巴條和陣列已經(jīng)有十年多的歷史。NGCEO最近在陣列封裝技術(shù)和巴條制造過(guò)程取得了一些進(jìn)展,。進(jìn)而NGCEO可以生長(zhǎng)出壽命遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于工業(yè)應(yīng)用需求的QCW激光二極管陣列,。

2. 高功率QCW陣列

    NGCEO擁有一系列的高功率QCW陣列家族。這些產(chǎn)品都可以在要求高壽命(超過(guò)一年的連續(xù)運(yùn)行時(shí)間)的場(chǎng)合中使用,。在軍事工業(yè)等需求高功率,,以及嚴(yán)酷的工作環(huán)境要求[1],發(fā)展了一整套的技術(shù),。這些產(chǎn)品都應(yīng)用了這些技術(shù),。獲得長(zhǎng)壽命的QCW陣列,需要兩個(gè)條件:(1)高質(zhì)量的激光二極管巴條 和(2)基于硬焊接的陣列封裝技術(shù),。結(jié)合這兩個(gè)條件,,就可以獲得高可靠性的陣列。

2.1  QCW激光二極管巴條 

  NGCEO在絕大多數(shù)的QCW應(yīng)用中,,都使用83%填充(fill factor)的巴條,。這種巴條是專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)用于高功率運(yùn)行的,,在808nm處,輸出功率范圍可以達(dá)到:60-230W/bar,。更高的波長(zhǎng)情況可以獲得更高的輸出功率,。在典型808nm運(yùn)用下,功率以及效率關(guān)于電流的函數(shù)在圖1中給出,。這些數(shù)據(jù)的采集參數(shù)為:20Hz,,150μs的熱傳導(dǎo)制冷底座。

NGCEO高功率QCW激光二極管巴條的功率以及效率關(guān)于電流的函數(shù)關(guān)系圖

圖1,,NGCEO高功率QCW激光二極管巴條的功率以及效率關(guān)于電流的函數(shù)關(guān)系圖

 

2.2  硬焊接封裝技術(shù) 

  傳統(tǒng)QCW陣列壽命的主要限制因素在于封裝激光二極管巴條過(guò)程中使用的步驟和材料,。傳統(tǒng)中,軟焊接材料(例如,,銦)在整個(gè)陣列中的多個(gè)位置上使用,。使用軟焊料建立起來(lái)的陣列,由于焊料緩變(solder creep)更容易導(dǎo)致封裝失敗,。NGCEO在封裝方法上取得的進(jìn)展,,并誕生了Golden BulletTM 生產(chǎn)線(xiàn)。Golden BulletTM使用共熔合金AuSn作為焊料和熱膨脹系數(shù)匹配的熱沉,,進(jìn)行封裝,,有效的限制了焊料緩變不利因素,因此可以生產(chǎn)處高得多的可靠性,,和高壽命的巴條,。

  用于這些器件的一般組裝方法,可見(jiàn)圖2,。最開(kāi)始二極管巴條被焊接在CuW熱沉(上面覆蓋著AuSn焊料),經(jīng)過(guò)一個(gè)精心設(shè)計(jì)的適當(dāng)?shù)倪^(guò)程,,得到低應(yīng)力鍵和low-smile 巴條,。這個(gè)完成部分叫做底座巴條組裝體(MBA)。根據(jù)不同需求,,MBA可以被單獨(dú)測(cè)試以及根據(jù)波長(zhǎng)不同進(jìn)行組裝,。然后所有MBA焊接在一起,并附著在BeO的基底上,,并由兩個(gè)端口,,n- 和 p-結(jié),便于在二次加工中,,進(jìn)行連接,,上述全部過(guò)程,就完成了Golden BulletTM封裝,。Golden BulletTM可以被附著在標(biāo)準(zhǔn)的熱沉,,也可以根據(jù)客戶(hù)的需求附著在其他熱沉上,。他們都可以應(yīng)用在水冷和熱傳導(dǎo)冷卻場(chǎng)合。

 Golden BulletTM組裝過(guò)程示意圖
圖2. Golden BulletTM組裝過(guò)程示意圖

3. 壽命測(cè)試結(jié)果

  用于做壽命測(cè)試的兩個(gè)樣品分別為:?jiǎn)螚l和四條Golden BulletTM,。三片不同的晶片被用于生產(chǎn)樣品(所有三片不同晶片都用于單條Golden BulletTM和四條Golden BulletTM),。表1,概括了相關(guān)的測(cè)試參數(shù),。測(cè)試參數(shù)的選擇是基于典型的Nd:YAG DPSSL泵浦情況,。

表1 壽命測(cè)試參數(shù)總結(jié)


 

  兩個(gè)樣品都焊接在水冷熱交換器上,并NGCEO的源于NIST的激光二極管測(cè)試平臺(tái),。NGCEO 自動(dòng)壽命測(cè)試平臺(tái),,這些器件在測(cè)試之前就燒在樣品上。驅(qū)動(dòng)樣品的電流源為 NGCEO eDrive 激光控制器,。壽命測(cè)試平臺(tái)在每隔90分鐘(大概400百萬(wàn)的發(fā)射次數(shù))對(duì)每個(gè)器件的輸出功率進(jìn)行測(cè)量的,,數(shù)據(jù)以對(duì)數(shù)形式儲(chǔ)存的。圖3,,展示了測(cè)試結(jié)果,。15個(gè)四條樣品中的三個(gè)樣品,由于遭遇到毀滅性的破壞(所有這三個(gè)都沒(méi)能發(fā)射800萬(wàn)次),,因此這三個(gè)樣品的測(cè)量數(shù)據(jù)不包括在展示的圖3中,。因?yàn)樵谏a(chǎn)陣列過(guò)程中的初期致命性德樣品被排除在外了,所以數(shù)據(jù)展現(xiàn)了NGCEO器件的期望表現(xiàn),。

單條(上)和四條(下)Golden BulletTM工作電流為110A的壽命測(cè)試數(shù)據(jù)
 
圖3:?jiǎn)螚l(上)和四條(下)Golden BulletTM工作電流為110A的壽命測(cè)試數(shù)據(jù)

  在2009 年12月份后半月,,樣品已經(jīng)采集了將近91億發(fā)射次數(shù)的時(shí)間。二極管巴條都未經(jīng)受COD(排除初期的致命傷),,所有的樣品都是緩慢衰老的,。四條樣品的退化率更慢。因?yàn)闃悠反砹怂母蜅l的平均退化率,,所有高的退化率巴條與低的退化率巴條,,相互之間會(huì)抵消掉。

4. 可靠性分析

  在激光二極管工業(yè)中,,關(guān)于器件失效有好幾種定義,。出乎這份分析的目的,在恒定的驅(qū)動(dòng)電流下,,器件的功率衰減了20%以上,,即可定義為器件失效。因?yàn)榇蠖鄶?shù)樣品在截止在文章提交時(shí)并未失效,,一種可接受的外延方法應(yīng)用于這份分析,。大部分的退化率與時(shí)間都呈現(xiàn)線(xiàn)性關(guān)系。因此,,在最后30億發(fā)射次數(shù)的退化率用于擬合,,擬合得到的公式,,用于確定每個(gè)樣品的失效時(shí)間點(diǎn)(TTF)。

  利用統(tǒng)計(jì)分析軟件(MinitabTM),,對(duì)TTF數(shù)據(jù)進(jìn)行分析,。數(shù)據(jù)用四種分布(威布爾,基底為e的對(duì)數(shù)正態(tài),,指數(shù)分布,,正態(tài)分布)公式在圖中畫(huà)出來(lái)。用以確定哪種分布,,與實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)更符合,。選擇基底為e的對(duì)數(shù)正態(tài)分析單條和四條樣品的性質(zhì)分析。圖4展示了最后的到的可靠性曲線(xiàn),,曲線(xiàn)至于95%的置信區(qū)間,。計(jì)算得到的MTTF值為:?jiǎn)螚l樣品---198億次,四條樣品---146億次,。NGCEO仍然在延續(xù)這個(gè)測(cè)試實(shí)驗(yàn),,用于驗(yàn)證實(shí)際的失效時(shí)間是否與外延法得到的數(shù)據(jù)相符合。

 單條(上)和四條(下)QCW Golden BulletTM工作電流為110A的可靠線(xiàn)曲線(xiàn)
圖4,, 單條(上)和四條(下)QCW Golden BulletTM工作電流為110A的可靠線(xiàn)曲線(xiàn)

 

5.  PowerPULSETM激光增益模塊 

  NGCEO利用自身的高功率QCW二極管陣列技術(shù)和激光增益模塊生產(chǎn)線(xiàn)創(chuàng)造了PowerPULSETM 系列激光增益模塊,。這些增益模塊包含高壽命的QCW陣列(激光棒:Nd:YAG, Nd:YLF, Nd:YVO4),能夠產(chǎn)生高于1焦耳的脈沖能量。PowerPULSETM 激光增益模塊的樣品如圖5所示,。

 PowerPULSETM 激光增益模塊

圖5,,PowerPULSETM 激光增益模塊

  這些模塊包含高壽命的QCW激光二極管陣列和一個(gè)激光棒。

  PowerPULSETM 激光增益模塊用于包括多種熱交換器的高能系統(tǒng)中,,每個(gè)模塊中都包含多根巴條的QCW陣列,,與上面壽命測(cè)試所用的四條樣品相類(lèi)似。這些模塊典型的包含20 – 200 QCW激光二極管巴條不等,。因此,,講四條樣品陣列作為一個(gè)單獨(dú)的主題,進(jìn)行分析會(huì)很有趣,。因?yàn)椋@個(gè)代表在一個(gè)PowerPULSETM 激光增益模塊中的激光二極管陣列,。通過(guò)把在圖3中,,各個(gè)點(diǎn)的不同功率值相加,然后外延這些結(jié)果,。我們得到圖6所示的結(jié)果:

所有4巴條樣品的總得測(cè)量輸出功率
 
圖6. 從圖3中獲得的所有4巴條樣品的總得測(cè)量輸出功率

  以上數(shù)據(jù)是91億次之前的數(shù)據(jù)室測(cè)量值,,超過(guò)91億次的數(shù)據(jù)是外延得到的。

  如果講輸出功率衰減了20%作為衡量失效時(shí)間的話(huà),,我們從圖6,,可以看出在一個(gè)典型的PowerPULSETM 激光增益模塊中的QCW陣列的失效時(shí)間大概為135億次發(fā)射次數(shù),。值得指出的是,這些陣列是為了可靠運(yùn)行在相當(dāng)高的輸出功率而設(shè)計(jì),。因此,,為了獲得更長(zhǎng)的使用壽命,隨著衰減的增加,,我們可以適當(dāng)?shù)奶岣唑?qū)動(dòng)電流值,。

 

  產(chǎn)品運(yùn)行壽命與重復(fù)率之間的曲線(xiàn)關(guān)系在圖7中給出。這些數(shù)據(jù)是基于135億次產(chǎn)品壽命(圖6,,分析四條Golden BulletTM的壽命),,并且假設(shè)是連續(xù)運(yùn)行(24小時(shí)/天,7天/周)的情況下給出的,。因此,,這個(gè)圖可以作為PowerPULSETM 激光增益模塊的使用指導(dǎo)。例如,,在重復(fù)率為100Hz,,數(shù)據(jù)給出的模塊壽命時(shí)間為1500天。在所有的重復(fù)率小于370Hz的情況下,,產(chǎn)品的預(yù)期壽命到高于416天(10000小時(shí)),。

PowerPULSETM 激光增益模塊生產(chǎn)線(xiàn)的代表曲線(xiàn)圖
 
圖7,多條Golden BulletTM QCW激光二極管陣列組裝體壽命與重復(fù)率的曲線(xiàn)關(guān)系圖

這是PowerPULSETM 激光增益模塊生產(chǎn)線(xiàn)的代表曲線(xiàn)圖

6. 結(jié)論

  Northrop Grumman Cutting Edge Optronics 基于自身的Golden BulletTM封裝技術(shù)以及高功率的QCW激光二極管條巴,,發(fā)展了一系列的QCW激光二極管陣列產(chǎn)品,。這些產(chǎn)品的代表性樣品經(jīng)過(guò)了壽命測(cè)試,也表明了具有高壽命(單條的MTTF值為198億次,,四條的MTTF值為146億次),。在整個(gè)壽命測(cè)試過(guò)程中,所有的樣品都沒(méi)有發(fā)生突變,,都是緩慢退化的,。

  NGCEO利用成功的高壽命QCW二極管陣列技術(shù)創(chuàng)造了QCW泵浦激光增益模塊(PowerPULSETM 生產(chǎn)線(xiàn))。這些增益模塊能夠產(chǎn)生高于1焦耳的脈沖能量,。更重要的是,,在所有的重復(fù)率小于370Hz的情況下,產(chǎn)品的預(yù)期壽命到高于416天(10000小時(shí))----工業(yè)上標(biāo)準(zhǔn)的產(chǎn)品壽命,。因此,,這些優(yōu)點(diǎn)就可以通過(guò)脈沖泵浦DPSS激光器獲得,并未犧牲產(chǎn)品的壽命,。

參考文獻(xiàn)

[1] Feeler, R.Junghans, J.,Stephens, E., “High-power QCW arrays for operation over wide temperature extremes,” Proccedings of SPIE Vol.7198, 71981F(2009)


 

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