激光制造

　　激光器是生產(chǎn)薄膜太陽能電池模塊的重要工具,，特別是高性能超短脈沖激光器,，其能提供持續(xù)時間僅幾個皮秒的超短脈沖,，這不但能幫助制造商提高產(chǎn)量,，而且還能優(yōu)化加工工藝。

　　目前,，在針對解決未來能源問題的討論中,，光伏能源作為一種可再生能源扮演著重要角色。技術進步是實現(xiàn)電能平價消費的一個至關重要的前提條件,，比如通過技術進步將光伏發(fā)電的成本降低到接近傳統(tǒng)能源的成本,。

　　目前,，晶硅太陽能電池是光伏市場中的主導產(chǎn)品，其轉(zhuǎn)換效率最高達20%,。在晶硅太陽能電池的制造過程中,，激光器主要用于晶圓切割和邊緣絕緣。

　　在激光邊緣絕緣過程中,，激光輔助摻雜(doping)工藝用于防止電池正面與背面之間的短路而引起的功率損失,。越來越多的激光器被用于激光輔助摻雜工藝中，以改善載流子的遷移率,，特別是對于電極的接觸指而言尤為如此。在過去的幾年中,，薄膜太陽能電池取得了巨大的發(fā)展,，業(yè)界專家們更是希望其未來能在光伏市場中占據(jù)大約20%的市場份額。

　　薄膜太陽能電池中所采用的膜層只有幾微米厚,，因此其在生產(chǎn)中便能節(jié)約大量材料,。在薄膜太陽能電池的制造過程中，激光發(fā)揮著決定性的作用,。在整個制造過程中,，激光將電池結(jié)構(gòu)化并連接成模塊，并對模塊進行相應的刻蝕處理,，進而保證所需要的絕緣性能,。

圖1 激光技術

　　成熟的激光刻線工藝

　　在非晶硅或碲化鎘（CdTe）薄膜太陽能電池模塊的生產(chǎn)過程中，導電薄膜和光伏薄膜被沉積在大面積玻璃基板上,。每層薄膜被沉積后,，均利用激光對膜層進行刻蝕，并使各個電池之間自動串聯(lián)起來,。這樣,，就能夠根據(jù)電池寬度設定電池和模塊的電流。精確的選擇性非接觸式激光加工,，能夠可靠地集成到薄膜太陽能電池模塊的生產(chǎn)線中,。人們通常所說的刻線（見圖2）就是單個激光脈沖刻蝕的一個連貫過程，該脈沖聚焦后光斑大小為30~80μm,，因此在P1層刻線中,，要采用脈寬為幾十納秒（10~80ns）的脈沖光對玻璃基底進行刻蝕。

圖2 激光通過玻璃刻蝕不同層的薄膜,，從而使薄膜電池互相隔離并形成串聯(lián)結(jié)構(gòu)

　　透明導電氧化物（TCO，如ZnO和SnO2）通常使用近紅外激光和相對較高的脈沖重復頻率進行加工,。通常需要的脈沖重復頻率要超過100kHz,。較高的脈沖重復頻率能夠確保切口處的徹底清潔,。

　　根據(jù)材料對激光的吸收系數(shù)的不同，需要為特定的加工工藝選擇合適的激光波長,。綠激光對于硅的破壞閾值遠低于其對TCO的破壞閾值,，因此綠激光可以安全透過TCO膜層后，對吸收層進行刻線（見表1）,。P2層和P3層的刻線機理與P1層相同,。P2層、P3層相對于P1層的工藝參數(shù)已經(jīng)在上面列出,。

表1 不同材料的刻蝕閾值

　　單脈沖刻線機理本身的特征對脈沖重復頻率提出了一定的限制,。為了防止接觸面半導體層的脫落，加工過程中需要的典型脈沖重復頻率為35~45kHz,。常用的刻蝕閾值約為2J/cm2,，也就是能將25μJ的激光能量聚焦到直徑為40μm的面積上，其平均功率非常低,。由于綠光激光器的平均功率均為數(shù)瓦量級,，因此能夠?qū)⒐馐止夂筮M行多光束并行加工，從而進一步提高工作效率,。

　　對于P1,、P2和P3層的刻線應用而言，用于微加工應用的,、輸出波長為1064nm和532nm的結(jié)構(gòu)小巧緊湊的二極管泵浦激光器,，無疑是無疑是一種理想的選擇，并且這種激光器能夠提供極高的脈沖穩(wěn)定性,。這類激光器的脈沖持續(xù)時間為8~ 40ns,，脈沖重復頻率為1~100kHz。

圖3 用納秒激光器刻蝕鉬層產(chǎn)生的清晰可見的邊緣斷裂和脫落

圖4 激光在薄膜太陽能電池的制造過程中發(fā)揮著至關重要的作用

　　清除保護

　　為了防止太陽能電池模塊被腐蝕或短路,，必須要在其邊緣留出大約1cm寬邊緣,，用于接下來整個電池模塊的封裝。目前多使用噴砂的方法來清除這個邊緣,。盡管噴砂方法的投資成本較低,，但是這個過程卻會帶來磨損、砂的清除以及防塵污染方面的成本,。薄膜太陽能電池模塊的生產(chǎn)需要潔凈的,、經(jīng)濟實惠的解決方案，激光加工方案無疑是最佳選擇,。通過提高激光的平均功率,，能夠獲得卓越的加工質(zhì)量。激光加工可以實現(xiàn)大約50cm2/s的去除速度，甚至在30s之內(nèi)就能加工完成一塊標準尺寸的太陽能電池模塊,。

　　事實上,，用同一個脈沖就可以清除所有的邊緣薄膜層，并且清除速率的提高與激光的平均功率密切相關,。具有高平均功率和高脈沖能量的激光,，可以一次性清除特定的區(qū)域。最適用這種加工應用的是采用光纖傳輸?shù)募す馄飨到y(tǒng),，其輸出方形或矩形光斑,。激光經(jīng)過光纖傳輸后能量分布更加均勻，從而實現(xiàn)清除效果的高度一致性,。利用光斑的平行組合,，加工效率能比采用傳統(tǒng)光纖提高50%以上，同時還在保證加工安全的前提下降低了脈沖重復頻率,。另外,，還可以與掃描振鏡結(jié)合適用，以減少加工過程中的非生產(chǎn)周期,。當然，激光器也應提供相應的分時輸出選擇,，來減少非生產(chǎn)時間,。此外，可以采用幾個不同的工作站共享同一臺激光器的加工方案,，這樣就可以做到產(chǎn)品的上下料時間并不影響激光器的生產(chǎn)效率,。

　　未來的激光工藝

　　CI(G)S太陽能電池模塊制造中特殊材料的使用，對激光加工技術提出了巨大的挑戰(zhàn),。如果適用的基底材料為玻璃,，那么鉬材料就被沉積到玻璃上。但是由于鉬具有熔點高,、熱傳導性好以及高熱容等特性,，導致加熱時會出現(xiàn)裂紋和脫落現(xiàn)象。由于這些缺點在用納秒激光進行加工時是無法避免的,，因此激光器的使用與所獲得的加工質(zhì)量密不可分,。同樣，吸收層材料對熱也具有相當?shù)拿舾行?，?Se)相對于銅(Cu),、銦(In)、鎵(Ga)等金屬材料的熔點要低,，它會在低溫時就能從粘合的地方分離,。這種一來，沒有了硒層的半導體就變成了合金層，導致通過長脈沖激光產(chǎn)生的熱量使邊緣短路,。

　　皮秒激光器將為上述問題提供理想的解決方案,。用超短脈沖激光去除薄膜材料，不會產(chǎn)生嚴重的邊緣熱影響區(qū),。波長為1030nm,、515nm和343nm的高性能皮秒激光器，可應用于CI(G)S薄膜太陽能電池模塊的結(jié)構(gòu)化,。超短脈沖激光器將會取代機械刻劃工藝,，進一步提高加工質(zhì)量和加工效率。

　　激光應用前景

　　未來激光技術有望在光伏制造過程中獲得更多應用空間,，如晶硅太陽能電池鈍化層的選擇性燒蝕,，具有高光束質(zhì)量的超短脈沖和高脈沖能量的激光特別適合這類應用。目前,，市場上只有碟片式激光技術能夠滿足這個標準,。碟片激光器的輸出功率可調(diào)，能實現(xiàn)更高的生產(chǎn)量,，而且其輸出的超短脈沖所擁有的卓越的光束質(zhì)量,，能顯著提高太陽能電池的轉(zhuǎn)換效率。

　　激光技術已經(jīng)在太陽能電池生產(chǎn)中贏得了一席天地,，并且其選擇性,、非接觸式的加工工藝也已經(jīng)超越了其他工藝。隨著太陽能電池生產(chǎn)所面臨的成本壓力日趨增大,，將會促使高功率,、高性能激光器在大規(guī)模生產(chǎn)中被廣泛采用。而且,，具有超短脈沖的新激光技術也將帶來新的生產(chǎn)工藝,。未來，激光技術的進步與廣泛采用,，必將大幅太陽能電池生產(chǎn)的每瓦成本,。