在水下拖曳式通信平臺(tái)收放系統(tǒng)中，線纜所受張力的大小及與水平面所成的角度反映了通信系統(tǒng)平臺(tái)的姿態(tài),。準(zhǔn)確地測(cè)量出張力和傾角的變化,，對(duì)監(jiān)測(cè)整個(gè)通信平臺(tái)的安全工作起著重要的作用。應(yīng)變式力傳感器是目前應(yīng)用最廣泛的測(cè)力傳感器[1],，這種傳感器通常利用電阻應(yīng)變計(jì)組成的全橋電路實(shí)現(xiàn)張力的測(cè)量,，它具有測(cè)量精度高，響應(yīng)速度快等特點(diǎn),，如日本共和電業(yè)生產(chǎn)的測(cè)力傳感器準(zhǔn)確度可達(dá)0.05%,，允許過載200%。傾角傳感器按照轉(zhuǎn)換原理可分為光柵式,、加速度式,、電容式等，電容式傾角傳感器利用電容的原理實(shí)現(xiàn)非電量到電量的轉(zhuǎn)化[2],，準(zhǔn)確度可達(dá)到0.05%,。

    目前市場上銷售的張力傳感器和傾角傳感器只能做到單一測(cè)量，未能實(shí)現(xiàn)一體化測(cè)量[3-4],，并且這些傳感器大多不具備多參數(shù)測(cè)量的功能,，而且很難同時(shí)保證較大的過載能力和較小的體積,。張力傾角復(fù)合傳感器采用一體化設(shè)計(jì)理念，利用電阻應(yīng)變計(jì)組成的全橋電路實(shí)現(xiàn)張力的測(cè)量,，利用電容原理測(cè)量傾角,，輸出的模擬信號(hào)通過A/D轉(zhuǎn)換采集到單片機(jī)，經(jīng)數(shù)據(jù)處理,，利用數(shù)字補(bǔ)償?shù)姆绞绞箯埩蛢A角的測(cè)量均能達(dá)到較高的精度,，最終通過RS485通信直接在計(jì)算機(jī)中顯示出數(shù)值，實(shí)現(xiàn)張力和傾角的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè),。
1 工作原理及總體設(shè)計(jì)
1.1 張力模塊設(shè)計(jì)
    張力模塊是利用四片金屬應(yīng)變計(jì)連接成全橋電路[5],，當(dāng)彈性體受力作用后，金屬電阻應(yīng)變計(jì)就會(huì)產(chǎn)生變形,，阻值發(fā)生變化,，在電橋上產(chǎn)生一個(gè)不平衡信號(hào)輸出，該信號(hào)與外力成正比,，從而達(dá)到測(cè)量張力的目的,，如圖1所示。

    測(cè)量電橋采用恒壓源供電,，電橋的輸出為：
    
1.3 總體設(shè)計(jì)方案
    該復(fù)合傳感器是利用電阻應(yīng)變計(jì)連成全橋電路測(cè)量張力,，利用差動(dòng)電容式芯片測(cè)量傾角，采用模塊化設(shè)計(jì)理念,，張力測(cè)量模塊與傾角測(cè)量模塊獨(dú)立工作互不影響,，采用CAN總線數(shù)字通信接口，傳感器內(nèi)置單片機(jī)可實(shí)現(xiàn)快速,、實(shí)時(shí)地對(duì)測(cè)量參數(shù)進(jìn)行計(jì)算,、數(shù)字濾波、線性補(bǔ)償?shù)葦?shù)據(jù)處理,。
    傳感器功能框圖如圖3所示,。

2  大過載小型化設(shè)計(jì)
    該傳感器需要長期在450 m海水下工作，并且總質(zhì)量要求小于450 g,，為此選擇鈦合金TC4作為傳感器的彈性元件,。鈦合金材料具有比例極限高、密度小,、彈性模量低,、焊接性能好等特點(diǎn)，同時(shí)它的抗腐蝕性能很好,，在靜止的海水中無腐蝕,，高速海水（42 m/s）條件下的腐蝕速率僅為0.0051 mm/a。
    根據(jù)使用要求規(guī)定傳感器的外形尺寸≤?準(zhǔn)55 mm×35 mm，將彈性元件和傳感器殼體設(shè)計(jì)為一體結(jié)構(gòu),，彈性元件按照承受載荷50 kN（5倍過載）設(shè)計(jì),，應(yīng)變計(jì)粘貼在傳感器殼體底部內(nèi)壁，連成全橋電路后接入放大電路,，傾角芯片焊接在電路組件上,，電路組件通過螺釘安裝在傳感器內(nèi)部基準(zhǔn)面上。傳感器下端面中心處加工施力螺紋,，上端面的連接螺紋則均勻分布在圓周上,，端蓋采用焊接方式實(shí)現(xiàn)連接和密封，電氣連接采用特制的超小型水密連接器,，耐壓5 MPa以上,。傳感器結(jié)構(gòu)如圖4所示。

    為了不影響傳感器的靈敏度和精度又同時(shí)滿足5倍過載的要求,，對(duì)傳感器殼體進(jìn)行淬火和時(shí)效處理,，經(jīng)過熱處理工藝后，去除了殘余應(yīng)力,，提高了彈性梁的強(qiáng)度,，改善了材料的機(jī)械性能，傳感器精度和過載的指標(biāo)同時(shí)得到滿足,，并提高了材料的熱穩(wěn)定性，有利于敏感元件的散熱,，允許通過的最大電流也有所提高,。
3 電路與程序設(shè)計(jì)
    電路利用基準(zhǔn)源REF3040為張力模塊提供穩(wěn)定的恒壓源供電；傾角模塊采用經(jīng)過整流,、濾波后的直流5 V電源供電,，使用儀表放大器AD627R進(jìn)行信號(hào)的差分放大；使用高速24位高精度A/D轉(zhuǎn)換器ADS1248進(jìn)行模數(shù)轉(zhuǎn)換,，采用串口通信方式與單片機(jī)XC886連接,，數(shù)據(jù)經(jīng)過單片機(jī)運(yùn)算處理后由通信芯片輸出數(shù)字信號(hào)。這種電路結(jié)構(gòu)的轉(zhuǎn)換精度可以達(dá)到0.02%以上,。而且通過單片機(jī)可對(duì)傳感器的非線性和溫度漂移進(jìn)行補(bǔ)償[7-8],。通過測(cè)量張力模塊的橋壓間接測(cè)量溫度，溫度信號(hào)由微控制器內(nèi)部A/D采集,。
    為了減小非線性誤差及零位,、靈敏度溫漂，通常采用溫度系數(shù)極小的外接電阻進(jìn)行串并聯(lián)補(bǔ)償,，但是這種傳統(tǒng)的模擬補(bǔ)償方法存在一定的缺陷,，在-40℃～80℃全溫范圍內(nèi)補(bǔ)償效果不甚理想，并且補(bǔ)償過程復(fù)雜、繁瑣,。為了提高傳感器精度,，需采用軟件補(bǔ)償?shù)姆椒ā１驹O(shè)計(jì)采用了分段擬合的方法,，處理器通過讀取張力A/D值,、傾角A/D值以及溫度A/D值，利用最小二乘法曲線擬合出在特定溫度區(qū)間下的張力和傾角輸出曲線,，利用溫度A/D值獲得特定溫度區(qū)間,，從而得到經(jīng)過溫度補(bǔ)償后的張力和傾角輸出值。同時(shí)利用卡爾曼濾波算法對(duì)傳感器的輸出進(jìn)行平滑濾波,，剔除較大噪聲,，提高傳感器的穩(wěn)定度。主程序流程圖如圖5所示,。
4 實(shí)驗(yàn)與分析
    根據(jù)上述設(shè)計(jì)方案生產(chǎn)了一批張力傾角復(fù)合傳感器,，并對(duì)傳感器進(jìn)行測(cè)試：先將傳感器固定在EEI-6型力標(biāo)準(zhǔn)機(jī)上，通電后加載50 kN（5倍過載）,，保持30 s后卸載,，然后對(duì)傳感器進(jìn)行性能測(cè)試。取當(dāng)?shù)刂亓铀俣萭=9.806 65 m/s2,激勵(lì)電壓為5.0 V,，記錄3只傳感器的張力測(cè)試數(shù)據(jù)如表1,。

    從表3數(shù)據(jù)可知,該傳感器的張力準(zhǔn)確度優(yōu)于0.1 %FS，傾角準(zhǔn)確度優(yōu)于0.05%FS,零點(diǎn)漂移小于0.05 %FS/h,熱零點(diǎn)漂移小于0.002  %FS/℃,，滿足使用要求,。
    本文介紹了一種大過載小型化的張力傾角復(fù)合傳感器，采用模塊化設(shè)計(jì)思想,，同時(shí)實(shí)現(xiàn)張力,、傾角兩種參數(shù)的測(cè)量，從工作原理,、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),、電路與程序設(shè)計(jì)等方面對(duì)傳感器進(jìn)行了理論分析與試驗(yàn)仿真，進(jìn)而給出傳感器的詳細(xì)設(shè)計(jì)方案,。實(shí)驗(yàn)結(jié)果證明,，該傳感器具有精度高、抗過載能力強(qiáng),、結(jié)構(gòu)尺寸小,、耐惡劣環(huán)境、多參數(shù)復(fù)合測(cè)量等特點(diǎn),，部分產(chǎn)品已應(yīng)用于某水下拖曳式通信平臺(tái)收放系統(tǒng)中,，工作狀態(tài)良好。類似產(chǎn)品可廣泛應(yīng)用于船舶、礦山,、石油化工等領(lǐng)域,。
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