《電子技術(shù)應(yīng)用》
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大功率LED的封裝技術(shù)

2008-03-13
作者:網(wǎng)絡(luò)資源

摘 要:本文從光學(xué)、熱學(xué),、電學(xué)、可靠性等方面,詳細(xì)評(píng)述了大功率白光LED封裝的" title="封裝的">封裝的設(shè)計(jì)和研究進(jìn)展,,并對(duì)大功率LED封裝的關(guān)鍵技術(shù)進(jìn)行了評(píng)述,。提出LED的封裝設(shè)計(jì)應(yīng)與芯片設(shè)計(jì)同時(shí)進(jìn)行,并且需要對(duì)光,、熱,、電、結(jié)構(gòu)等性能統(tǒng)一考慮,。在封裝過程中,,雖然材料(散熱基板" title="基板">基板,、熒光粉,、灌封膠)選擇很重要,,但封裝結(jié)構(gòu)中應(yīng)盡可能減少熱學(xué)和光學(xué)界面,,從而降低封裝熱阻" title="熱阻">熱阻,,提高出光效率" title="光效率">光效率。文中最后對(duì)LED燈具的設(shè)計(jì)和封裝要求進(jìn)行了闡述,。
關(guān)鍵詞:固態(tài)照明 大功率LED 白光LED 封裝


一,、前言
  大功率LED封裝由于結(jié)構(gòu)和工藝復(fù)雜,,并直接影響到LED的使用性能和壽命,,一直是近年來的研究熱點(diǎn),,特別是大功率白光LED封裝更是研究熱點(diǎn)中的熱點(diǎn),。LED封裝的功能主要包括:1.機(jī)械保護(hù),,以提高可靠性,;2.加強(qiáng)散熱,以降低芯片結(jié)溫,,提高LED性能;3.光學(xué)控制,,提高出光效率,,優(yōu)化光束分布;4.供電管理,,包括交流/直流轉(zhuǎn)變,,以及電源控制等,。
  LED封裝方法,、材料,、結(jié)構(gòu)和工藝的選擇主要由芯片結(jié)構(gòu),、光電/機(jī)械特性、具體應(yīng)用和成本等因素決定,。經(jīng)過40多年的發(fā)展,,LED封裝先后經(jīng)歷了支架式(Lamp LED)、貼片式(SMD LED),、功率型LED(Power LED)等發(fā)展階段,。隨著芯片功率的增大,特別是固態(tài)照明技術(shù)發(fā)展的需求,,對(duì)LED封裝的光學(xué),、熱學(xué)、電學(xué)和機(jī)械結(jié)構(gòu)等提出了新的,、更高的要求,。為了有效地降低封裝熱阻,提高出光效率,,必須采用全新的技術(shù)思路來進(jìn)行封裝設(shè)計(jì),。
二、大功率LED封裝關(guān)鍵技術(shù)
  大功率LED封裝主要涉及光,、熱,、電、結(jié)構(gòu)與工藝等方面,,如圖1所示,。這些因素彼此既相互獨(dú)立,又相互影響,。其中,光是LED封裝的目的,,熱是關(guān)鍵,,電、結(jié)構(gòu)與工藝是手段,,而性能是封裝水平的具體體現(xiàn),。從工藝兼容性及降低生產(chǎn)成本而言,,LED封裝設(shè)計(jì)應(yīng)與芯片設(shè)計(jì)同時(shí)進(jìn)行,即芯片設(shè)計(jì)時(shí)就應(yīng)該考慮到封裝結(jié)構(gòu)和工藝,。否則,,等芯片制造完成后,可能由于封裝的需要對(duì)芯片結(jié)構(gòu)進(jìn)行調(diào)整,,從而延長(zhǎng)了產(chǎn)品研發(fā)周期和工藝成本,,有時(shí)甚至不可能。


圖1 大功率白光LED封裝技術(shù)

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   具體而言,,大功率LED封裝的關(guān)鍵技術(shù)包括:
(一)低熱阻封裝工藝
  對(duì)于現(xiàn)有的LED光效水平而言,,由于輸入電能的80%左右轉(zhuǎn)變成為熱量,且LED芯片面積小,,因此,,芯片散熱是LED封裝必須解決的關(guān)鍵問題。主要包括芯片布置,、封裝材料選擇(基板材料,、熱界面材料)與工藝、熱沉設(shè)計(jì)等,。
  LED封裝熱阻主要包括材料(散熱基板和熱沉結(jié)構(gòu))內(nèi)部熱阻和界面熱阻,。散熱基板的作用就是吸收芯片產(chǎn)生的熱量,并傳導(dǎo)到熱沉上,,實(shí)現(xiàn)與外界的熱交換,。常用的散熱基板材料包括硅、金屬(如鋁,,銅),、陶瓷(如Al2O3,AlN,,SiC)和復(fù)合材料等,。如Nichia公司的第三代LED采用CuW做襯底,將1mm芯片倒裝在CuW襯底上,,降低了封裝熱阻,,提高了發(fā)光功率和效率;Lamina Ceramics公司則研制了低溫共燒陶瓷金屬基板,,如圖2(a),,并開發(fā)了相應(yīng)的LED封裝技術(shù)。該技術(shù)首先制備出適于共晶焊的大功率LED芯片和相應(yīng)的陶瓷基板,,然后將LED芯片與基板直接焊接在一起,。由于該基板上集成了共晶焊層、靜電保護(hù)電路,、驅(qū)動(dòng)電路及控制補(bǔ)償電路,不僅結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,而且由于材料熱導(dǎo)率高,,熱界面少,,大大提高了散熱性能,為大功率LED陣列封裝提出了解決方案,。德國(guó)Curmilk公司研制的高導(dǎo)熱性覆銅陶瓷板,,由陶瓷基板(AlN或Al2O3)和導(dǎo)電層(Cu)在高溫高壓下燒結(jié)而成,沒有使用黏結(jié)劑,,因此導(dǎo)熱性能好,、強(qiáng)度高、絕緣性強(qiáng),,如圖2(b)所示,。其中氮化鋁(AlN)的熱導(dǎo)率為160W/mk,熱膨脹系數(shù)為4.0×10-6/℃(與硅的熱膨脹系數(shù)3.2×10-6/℃相當(dāng)),,從而降低了封裝熱應(yīng)力,。

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  研究表明,封裝界面對(duì)熱阻影響也很大,,如果不能正確處理界面,,就難以獲得良好的散熱效果。例如,,室溫下接觸良好的界面在高溫下可能存在界面間隙,,基板的翹曲也可能會(huì)影響鍵合和局部的散熱。改善LED封裝的關(guān)鍵在于減少界面和界面接觸熱阻,,增強(qiáng)散熱,。因此,芯片和散熱基板間的熱界面材料(TIM)選擇十分重要,。LED封裝常用的TIM為導(dǎo)電膠和導(dǎo)熱膠,,由于熱導(dǎo)率較低,一般為0.5-2.5W/mK,,致使界面熱阻很高,。而采用低溫或共晶焊料、焊膏或者內(nèi)摻納米顆粒的導(dǎo)電膠作為熱界面材料,,可大大降低界面熱阻,。
(二)高取光率封裝結(jié)構(gòu)與工藝
  在LED使用過程中,輻射復(fù)合產(chǎn)生的光子在向外發(fā)射時(shí)產(chǎn)生的損失,,主要包括三個(gè)方面:芯片內(nèi)部結(jié)構(gòu)缺陷以及材料的吸收,;光子在出射界面由于折射率" title="折射率">折射率差引起的反射損失;以及由于入射角大于全反射臨界角而引起的全反射損失,。因此,,很多光線無法從芯片中出射到外部,。通過在芯片表面涂覆一層折射率相對(duì)較高的透明膠層(灌封膠),由于該膠層處于芯片和空氣之間,,從而有效減少了光子在界面的損失,,提高了取光效率。此外,,灌封膠的作用還包括對(duì)芯片進(jìn)行機(jī)械保護(hù),,應(yīng)力釋放,并作為一種光導(dǎo)結(jié)構(gòu),。因此,,要求其透光率高,折射率高,,熱穩(wěn)定性好,,流動(dòng)性好,易于噴涂,。為提高LED封裝的可靠性,,還要求灌封膠具有低吸濕性、低應(yīng)力,、耐老化等特性,。目前常用的灌封膠包括環(huán)氧樹脂和硅膠。硅膠由于具有透光率高,,折射率大,,熱穩(wěn)定性好,應(yīng)力小,,吸濕性低等特點(diǎn),,明顯優(yōu)于環(huán)氧樹脂,在大功率LED封裝中得到廣泛應(yīng)用,,但成本較高,。研究表明,提高硅膠折射率可有效減少折射率物理屏障帶來的光子損失,,提高外量子效率,,但硅膠性能受環(huán)境溫度影響較大。隨著溫度升高,,硅膠內(nèi)部的熱應(yīng)力加大,,導(dǎo)致硅膠的折射率降低,從而影響LED光效和光強(qiáng)分布,。
  熒光粉的作用在于光色復(fù)合,,形成白光。其特性主要包括粒度,、形狀,、發(fā)光效率,、轉(zhuǎn)換效率、穩(wěn)定性(熱和化學(xué))等,,其中,,發(fā)光效率和轉(zhuǎn)換效率是關(guān)鍵。研究表明,,隨著溫度上升,熒光粉量子效率降低,出光減少,,輻射波長(zhǎng)也會(huì)發(fā)生變化,,從而引起白光LED色溫、色度的變化,,較高的溫度還會(huì)加速熒光粉的老化,。原因在于熒光粉涂層是由環(huán)氧或硅膠與熒光粉調(diào)配而成,散熱性能較差,,當(dāng)受到紫光或紫外光的輻射時(shí),,易發(fā)生溫度猝滅和老化,使發(fā)光效率降低,。此外,,高溫下灌封膠和熒光粉的熱穩(wěn)定性也存在問題。由于常用熒光粉尺寸在1um以上,,折射率大于或等于1.85,,而硅膠折射率一般在1.5左右。由于兩者間折射率的不匹配,,以及熒光粉顆粒尺寸遠(yuǎn)大于光散射極限(30nm),,因而在熒光粉顆粒表面存在光散射,降低了出光效率,。通過在硅膠中摻入納米熒光粉,,可使折射率提高到1.8以上,降低光散射,,提高LED出光效率(10%-20%),,并能有效改善光色質(zhì)量。
  傳統(tǒng)的熒光粉涂敷方式是將熒光粉與灌封膠混合,,然后點(diǎn)涂在芯片上,。由于無法對(duì)熒光粉的涂敷厚度和形狀進(jìn)行精確控制,導(dǎo)致出射光色彩不一致,,出現(xiàn)偏藍(lán)光或者偏黃光,。而Lumileds公司開發(fā)的保形涂層(Conformal coating)技術(shù)可實(shí)現(xiàn)熒光粉的均勻涂覆,保障了光色的均勻性,,如圖3(b),。但研究表明,,當(dāng)熒光粉直接涂覆在芯片表面時(shí),由于光散射的存在,,出光效率較低,。有鑒于此,美國(guó)Rensselaer 研究所提出了一種光子散射萃取工藝(Scattered Photon Extraction method,,SPE),,通過在芯片表面布置一個(gè)聚焦透鏡,并將含熒光粉的玻璃片置于距芯片一定位置,,不僅提高了器件可靠性,,而且大大提高了光效(60%),如圖3(c),。
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圖3 大功率白光LED封裝結(jié)構(gòu)


總體而言,,為提高LED的出光效率和可靠性,封裝膠層有逐漸被高折射率透明玻璃或微晶玻璃等取代的趨勢(shì),,通過將熒光粉內(nèi)摻或外涂于玻璃表面,,不僅提高了熒光粉的均勻度,而且提高了封裝效率,。此外,,減少LED出光方向的光學(xué)界面數(shù),也是提高出光效率的有效措施,。
(三)陣列封裝與系統(tǒng)集成技術(shù)
  經(jīng)過40多年的發(fā)展,,LED封裝技術(shù)和結(jié)構(gòu)先后經(jīng)歷了四個(gè)階段,如圖4所示,。

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圖4 LED封裝技術(shù)和結(jié)構(gòu)發(fā)展

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1,、引腳式(Lamp)LED封裝
  引腳式封裝就是常用的?3-5mm封裝結(jié)構(gòu)。一般用于電流較?。?0-30mA),,功率較低(小于0.1W)的LED封裝。主要用于儀表顯示或指示,,大規(guī)模集成時(shí)也可作為顯示屏,。其缺點(diǎn)在于封裝熱阻較大(一般高于100K/W),壽命較短,。
2,、表面組裝(貼片)式(SMT-LED)封裝
  表面組裝技術(shù)(SMT)是一種可以直接將封裝好的器件貼、焊到PCB表面指定位置上的一種封裝技術(shù),。具體而言,,就是用特定的工具或設(shè)備將芯片引腳對(duì)準(zhǔn)預(yù)先涂覆了粘接劑和焊膏的焊盤圖形上,然后直接貼裝到未鉆安裝孔的PCB 表面上,經(jīng)過波峰焊或再流焊后,,使器件和電路之間建立可靠的機(jī)械和電氣連接,。SMT技術(shù)具有可靠性高、高頻特性好,、易于實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化等優(yōu)點(diǎn),,是電子行業(yè)最流行的一種封裝技術(shù)和工藝。
3,、板上芯片直裝式(COB)LED封裝
  COB是Chip On Board(板上芯片直裝)的英文縮寫,,是一種通過粘膠劑或焊料將LED芯片直接粘貼到PCB板上,再通過引線鍵合實(shí)現(xiàn)芯片與PCB板間電互連的封裝技術(shù),。PCB板可以是低成本的FR-4材料(玻璃纖維增強(qiáng)的環(huán)氧樹脂),,也可以是高熱導(dǎo)的金屬基或陶瓷基復(fù)合材料(如鋁基板或覆銅陶瓷基板等)。而引線鍵合可采用高溫下的熱超聲鍵合(金絲球焊)和常溫下的超聲波鍵合(鋁劈刀焊接),。COB技術(shù)主要用于大功率多芯片陣列的LED封裝,同SMT相比,,不僅大大提高了封裝功率密度,,而且降低了封裝熱阻(一般為6-12W/m.K)。
4,、系統(tǒng)封裝式(SiP)LED封裝
  SiP(System in Package)是近幾年來為適應(yīng)整機(jī)的便攜式發(fā)展和系統(tǒng)小型化的要求,,在系統(tǒng)芯片System on Chip(SOC)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的一種新型封裝集成方式。對(duì)SiP-LED而言,,不僅可以在一個(gè)封裝內(nèi)組裝多個(gè)發(fā)光芯片,,還可以將各種不同類型的器件(如電源、控制電路,、光學(xué)微結(jié)構(gòu),、傳感器等)集成在一起,構(gòu)建成一個(gè)更為復(fù)雜的,、完整的系統(tǒng),。同其他封裝結(jié)構(gòu)相比,SiP具有工藝兼容性好(可利用已有的電子封裝材料和工藝),,集成度高,,成本低,可提供更多新功能,,易于分塊測(cè)試,,開發(fā)周期短等優(yōu)點(diǎn)。按照技術(shù)類型不同,,SiP可分為四種:芯片層疊型,,模組型,MCM型和三維(3D)封裝型。
  目前,,高亮度LED器件要代替白熾燈以及高壓汞燈,,必須提高總的光通量,或者說可以利用的光通量,。而光通量的增加可以通過提高集成度,、加大電流密度、使用大尺寸芯片等措施來實(shí)現(xiàn),。而這些都會(huì)增加LED的功率密度,,如散熱不良,將導(dǎo)致LED芯片的結(jié)溫升高,,從而直接影響LED器件的性能(如發(fā)光效率降低,、出射光發(fā)生紅移,壽命降低等),。多芯片陣列封裝是目前獲得高光通量的一個(gè)最可行的方案,,但是LED陣列封裝的密度受限于價(jià)格、可用的空間,、電氣連接,,特別是散熱等問題。由于發(fā)光芯片的高密度集成,,散熱基板上的溫度很高,,必須采用有效的熱沉結(jié)構(gòu)和合適的封裝工藝。常用的熱沉結(jié)構(gòu)分為被動(dòng)和主動(dòng)散熱,。被動(dòng)散熱一般選用具有高肋化系數(shù)的翅片,,通過翅片和空氣間的自然對(duì)流將熱量耗散到環(huán)境中。該方案結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,,可靠性高,,但由于自然對(duì)流換熱系數(shù)較低,只適合于功率密度較低,,集成度不高的情況,。對(duì)于大功率LED封裝,則必須采用主動(dòng)散熱,,如翅片+風(fēng)扇,、熱管、液體強(qiáng)迫對(duì)流,、微通道致冷,、相變致冷等。
  在系統(tǒng)集成方面,,臺(tái)灣新強(qiáng)光電公司采用系統(tǒng)封裝技術(shù)(SiP), 并通過翅片+熱管的方式搭配高效能散熱模塊,,研制出了72W、80W的高亮度白光LED光源,如圖5(a),。由于封裝熱阻較低(4.38℃/W),當(dāng)環(huán)境溫度為25℃時(shí),,LED結(jié)溫控制在60℃以下,從而確保了LED的使用壽命和良好的發(fā)光性能,。而華中科技大學(xué)則采用COB封裝和微噴主動(dòng)散熱技術(shù),,封裝出了220W和1500W的超大功率LED白光光源,如圖5(b),。
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(四)封裝大生產(chǎn)技術(shù)
  晶片鍵合(Wafer bonding)技術(shù)是指芯片結(jié)構(gòu)和電路的制作,、封裝都在晶片(Wafer)上進(jìn)行,封裝完成后再進(jìn)行切割,,形成單個(gè)的芯片(Chip),;與之相對(duì)應(yīng)的芯片鍵合(Die bonding)是指芯片結(jié)構(gòu)和電路在晶片上完成后,即進(jìn)行切割形成芯片(Die),,然后對(duì)單個(gè)芯片進(jìn)行封裝(類似現(xiàn)在的LED封裝工藝),,如圖6所示。很明顯,,晶片鍵合封裝的效率和質(zhì)量更高,。由于封裝費(fèi)用在LED器件制造成本中占了很大比例,因此,,改變現(xiàn)有的LED封裝形式(從芯片鍵合到晶片鍵合),將大大降低封裝制造成本,。此外,,晶片鍵合封裝還可以提高LED器件生產(chǎn)的潔凈度,防止鍵合前的劃片,、分片工藝對(duì)器件結(jié)構(gòu)的破壞,,提高封裝成品率和可靠性,因而是一種降低封裝成本的有效手段,。

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此外,,對(duì)于大功率LED封裝,必須在芯片設(shè)計(jì)和封裝設(shè)計(jì)過程中,,盡可能采用工藝較少的封裝形式(Package-less Packaging),,同時(shí)簡(jiǎn)化封裝結(jié)構(gòu),盡可能減少熱學(xué)和光學(xué)界面數(shù),,以降低封裝熱阻,,提高出光效率。
(五)封裝可靠性測(cè)試與評(píng)估
  LED器件的失效模式主要包括電失效(如短路或斷路),、光失效(如高溫導(dǎo)致的灌封膠黃化,、光學(xué)性能劣化等)和機(jī)械失效(如引線斷裂,脫焊等),而這些因素都與封裝結(jié)構(gòu)和工藝有關(guān),。LED的使用壽命以平均失效時(shí)間(MTTF)來定義,,對(duì)于照明用途,一般指LED的輸出光通量衰減為初始的70%(對(duì)顯示用途一般定義為初始值的50%)的使用時(shí)間,。由于LED壽命長(zhǎng),,通常采取加速環(huán)境試驗(yàn)的方法進(jìn)行可靠性測(cè)試與評(píng)估。測(cè)試內(nèi)容主要包括高溫儲(chǔ)存(100℃,,1000h),、低溫儲(chǔ)存(-55℃,1000h),、高溫高濕(85℃/85%,,1000h)、高低溫循環(huán)(85℃~-55℃),、熱沖擊,、耐腐蝕性、抗溶性,、機(jī)械沖擊等,。然而,加速環(huán)境試驗(yàn)只是問題的一個(gè)方面,,對(duì)LED壽命的預(yù)測(cè)機(jī)理和方法的研究仍是有待研究的難題,。
三、固態(tài)照明對(duì)大功率LED封裝的要求
  與傳統(tǒng)照明燈具相比,,LED燈具不需要使用濾光鏡或?yàn)V光片來產(chǎn)生有色光,,不僅效率高、光色純,,而且可以實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)或漸變的色彩變化,。在改變色溫的同時(shí)保持具有高的顯色指數(shù),滿足不同的應(yīng)用需要,。但對(duì)其封裝也提出了新的要求,,具體體現(xiàn)在:
(一)模塊化
  通過多個(gè)LED燈(或模塊)的相互連接可實(shí)現(xiàn)良好的流明輸出疊加,滿足高亮度照明的要求,。通過模塊化技術(shù),,可以將多個(gè)點(diǎn)光源或LED模塊按照隨意形狀進(jìn)行組合,滿足不同領(lǐng)域的照明要求,。
(二)系統(tǒng)效率最大化
  為提高LED燈具的出光效率,,除了需要合適的LED電源外,還必須采用高效的散熱結(jié)構(gòu)和工藝,,以及優(yōu)化內(nèi)/外光學(xué)設(shè)計(jì),,以提高整個(gè)系統(tǒng)效率,。
(三)低成本
  LED燈具要走向市場(chǎng),必須在成本上具備競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)(主要指初期安裝成本),,而封裝在整個(gè)LED燈具生產(chǎn)成本中占了很大部分,,因此,采用新型封裝結(jié)構(gòu)和技術(shù),,提高光效/成本比,,是實(shí)現(xiàn)LED燈具商品化的關(guān)鍵。
(四)易于替換和維護(hù)
  由于LED光源壽命長(zhǎng),,維護(hù)成本低,,因此對(duì)LED燈具的封裝可靠性提出了較高的要求。要求LED燈具設(shè)計(jì)易于改進(jìn)以適應(yīng)未來效率更高的LED芯片封裝要求,,并且要求LED芯片的互換性要好,,以便于燈具廠商自己選擇采用何種芯片。
  LED燈具光源可由多個(gè)分布式點(diǎn)光源組成,,由于芯片尺寸小,,從而使封裝出的燈具重量輕,結(jié)構(gòu)精巧,,并可滿足各種形狀和不同集成度的需求,。唯一的不足在于沒有現(xiàn)成的設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn),但同時(shí)給設(shè)計(jì)提供了充分的想象空間,。此外,,LED照明控制的首要目標(biāo)是供電。由于一般市電電源是高壓交流電(220V,,AC),,而LED需要恒流或限流電源,因此必須使用轉(zhuǎn)換電路或嵌入式控制電路(ASICs),,以實(shí)現(xiàn)先進(jìn)的校準(zhǔn)和閉環(huán)反饋控制系統(tǒng)。此外,,通過數(shù)字照明控制技術(shù),,對(duì)固態(tài)光源的使用和控制主要依靠智能控制和管理軟件來實(shí)現(xiàn),從而在用戶,、信息與光源間建立了新的關(guān)聯(lián),,并且可以充分發(fā)揮設(shè)計(jì)者和消費(fèi)者的想象力。
四,、結(jié)束語(yǔ)
  LED封裝是一個(gè)涉及到多學(xué)科(如光學(xué),、熱學(xué)、機(jī)械,、電學(xué),、力學(xué),、材料、半導(dǎo)體等)的研究課題,。從某種角度而言,,LED封裝不僅是一門制造技術(shù)(Technology),而且也是一門基礎(chǔ)科學(xué)(Science),,良好的封裝需要對(duì)熱學(xué),、光學(xué)、材料和工藝力學(xué)等物理本質(zhì)的理解和應(yīng)用,。LED封裝設(shè)計(jì)應(yīng)與芯片設(shè)計(jì)同時(shí)進(jìn)行,,并且需要對(duì)光、熱,、電,、結(jié)構(gòu)等性能統(tǒng)一考慮。在封裝過程中,,雖然材料(散熱基板,、熒光粉、灌封膠)選擇很重要,,但封裝結(jié)構(gòu)(如熱學(xué)界面,、光學(xué)界面)對(duì)LED光效和可靠性影響也很大,大功率白光LED封裝必須采用新材料,,新工藝,,新思路。對(duì)于LED燈具而言,,更是需要將光源,、散熱、供電和燈具等集成考慮,。
致 謝:
  衷心感謝馬澤濤,、袁柳林、周波,、陳偉,、石雄、宋鏡明,、劉宗源,、王愷、程婷等的辛勤工作與研究成果,。
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[8] 劉勝,,羅小兵,,用于發(fā)光二極管LED的微噴射流水冷卻系統(tǒng),中國(guó)發(fā)明專利:200510111104.0(申請(qǐng)?zhí)枺?,中?guó)實(shí)用新型專利:200520047169.9(申請(qǐng)?zhí)枺?

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