綠色環(huán)保日益受到半導(dǎo)體廠重視,，特別是晶圓制造業(yè)者為了在大量生產(chǎn)過程中降低耗材與停機成本,，已開始評估在制程中采用新一代混合準(zhǔn)分子雷射光源；此種雷射系統(tǒng)不僅耗電量更低，且氣體用量也大幅減少,，因而能兼顧晶圓廠綠色制造與降低營運成本的要求。

　　隨著各國持續(xù)發(fā)展專屬的耗能標(biāo)準(zhǔn)及實行綠色環(huán)保行動，“綠色環(huán)?！眱叭灰殉蔀楝F(xiàn)在及未來發(fā)展的主軸,。綠色環(huán)保曾經(jīng)一度被視為流行的熱潮,，但現(xiàn)在綠色環(huán)保行動已成為一種強制性標(biāo)準(zhǔn)，其中不僅要求制造商堅守其企業(yè)責(zé)任,，也必須積極從源頭做起,。最終，大規(guī)模制造商必須與其廠商及供應(yīng)商合作,，共同實現(xiàn)整體成本及環(huán)保制造目標(biāo),。

　　追蹤及管理整體營運成本是支撐符合成本效益、大規(guī)模制造(HVM)環(huán)境的關(guān)鍵,。有效率的合作夥伴已開始參與及運用其技術(shù)發(fā)展“綠色”平臺,，并在成本容許的范圍內(nèi)讓效益和對環(huán)境影響取得平衡。這些企業(yè)不僅利用其創(chuàng)新科技設(shè)計系統(tǒng)降低能源消耗成本,，并設(shè)法讓終端使用者在大量制造時降低耗材與停機成本,。藉由將各廠商與供應(yīng)商納入環(huán)保制造策略的整體營運模式，所研發(fā)之節(jié)能科技及環(huán)境改善可以大幅降低晶圓廠的營運成本,。

　　舉例來說，在考量光源時,，準(zhǔn)分子雷射的耗電量將伴隨著高功率雷射需求的成長而增加,，特別是針對18寸(450mm)晶圓制程，在過去6年中增加了4.5倍,。伴隨著這些制程進入大量制造階段,，其對環(huán)境所造成的影響不容忽視。包括電力,、氣體消耗與熱能處理在內(nèi)的準(zhǔn)分子雷射運轉(zhuǎn)成本約占雷射整體營運成本的30%,。顯然的，減少運轉(zhuǎn)成本是非常關(guān)鍵的方向,。

　　最后,，對大量制造而言，雷射的真實價值完全端視其控管運轉(zhuǎn)成本的效率,。為了解決這個問題,，許多公司都在努力找出解決方案。目前,，相關(guān)業(yè)者正在開發(fā)一個采用固態(tài)雷射室的全新混合準(zhǔn)分子雷射系統(tǒng),。相較于目前系統(tǒng)功率需使用60kW，這個新系統(tǒng)所需功率只需要36kW,。就成本考量而言,，相較于單獨使用準(zhǔn)分子雷射系統(tǒng)，使用混合準(zhǔn)分子雷射于大量制造產(chǎn)業(yè)可降低約40%的整體電力消耗,。對于其他正在進行相關(guān)技術(shù)開發(fā)的公司來說,，此技術(shù)是一個可降低耗能及協(xié)助大量制造的解決方案實例,。

　　須注意的是，在綠色環(huán)保制造策略中,，成功的合作夥伴能開發(fā)出更廣泛的技術(shù)解決方案以降低“耗材成本”與“停機成本”,。此外，投入時間與大量資源開發(fā)環(huán)保系統(tǒng)的公司將能提供最有效的全方位解決方案,，例如進一步減少整體營運與維護成本,，判斷您的潛在合作夥伴是否有開發(fā)更長壽命的耗材產(chǎn)品開發(fā)計畫，或開發(fā)一套能節(jié)省耗材成本的系統(tǒng),。在混合雷射的案例中,，譜線窄化模組(LNM)和強化前反射鏡(EFM)是很好的例子。氣體則是另一種會影響停機的耗材,；相較于現(xiàn)有的雷射系統(tǒng),，有業(yè)者已開發(fā)出能使系統(tǒng)最佳化的全新技術(shù)，并能降低多達50%的氣體需求,，同時減少一半因維護所需的停機時間,。

　　企業(yè)在擬定大量制造的環(huán)保制造策略時，若要大幅降低整體營運成本,，合作的公司須努力提供能減少耗能的解決方案,、開發(fā)出更長壽命的耗材、滿足低容量和低填充的氣體需求,，進而最大幅減少設(shè)備維護的停機時間,。正確的合作夥伴不僅有降低成本的效益，也可保護人們的生存環(huán)境,。