0 引言

　　由于基于ΣΔ調(diào)制技術(shù)的ΣΔ模數(shù)轉(zhuǎn)換器（ADC）易于與數(shù)字芯片集成,，并且對(duì)于器件的失配不是很敏感，所以是目前高性能無線通信和傳感器微弱信號(hào)檢測電路的首選[1],。采用過采樣技術(shù)和噪聲整形技術(shù)的調(diào)制器是限制ΣΔ ADC性能的關(guān)鍵模塊,，所以設(shè)計(jì)高性能的ΣΔ調(diào)制器是實(shí)現(xiàn)高精度的ΣΔ ADC的必經(jīng)途徑。目前關(guān)于ΣΔ調(diào)制器的研究主要集中于兩階~四階結(jié)構(gòu),，這是由于高階的調(diào)制器面臨穩(wěn)定性問題,。在設(shè)計(jì)低階的調(diào)制器時(shí)可以通過提高過采樣率來部分提高性能[2-3]。然而提高系統(tǒng)過采樣率會(huì)提高對(duì)運(yùn)放帶寬的要求,，增加系統(tǒng)的功耗,。在消費(fèi)電子領(lǐng)域，對(duì)于芯片的功耗有一定的限制,，所以在較低的功耗下設(shè)計(jì)一種高性能的調(diào)制器很有意義,。本文的目標(biāo)是在較低的功耗下設(shè)計(jì)出一種適用于加速度傳感器的高性能ΣΔ調(diào)制器電路,。通過參數(shù)優(yōu)化和建模仿真,，在較低的采樣頻率下實(shí)現(xiàn)一種五階單環(huán)一位結(jié)構(gòu)的ΣΔ調(diào)制器電路,。利用根軌跡法分析和驗(yàn)證該高階系統(tǒng)的穩(wěn)定性，通過版圖后仿真結(jié)果顯示提出的五階結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)了較高的性能,，滿足系統(tǒng)設(shè)計(jì)要求,。

1 系統(tǒng)設(shè)計(jì)

　　圖1是設(shè)計(jì)的五階ΣΔ調(diào)制器原理框圖，該調(diào)制器采用前饋單環(huán)一位結(jié)構(gòu),，該結(jié)構(gòu)能夠減小積分器的輸出擺幅,，降低對(duì)運(yùn)放的性能和設(shè)計(jì)指標(biāo)要求，提高了系統(tǒng)的線性度,。同時(shí)采用前饋結(jié)構(gòu)使得積分器輸出擺幅大大減小,，能夠降低系統(tǒng)的功耗，有利于低功耗的設(shè)計(jì)目標(biāo),。表1是經(jīng)過優(yōu)化的調(diào)制器的各級(jí)系數(shù),，包括前饋系數(shù)和各個(gè)積分器的增益因子。

　　雖然提高階數(shù)能夠提高系統(tǒng)的性能,，但是高階系統(tǒng)存在嚴(yán)重的穩(wěn)定性問題,。為了驗(yàn)證系統(tǒng)的穩(wěn)定性，可以在MATLAB中求解噪聲傳遞函數(shù)的根軌跡曲線來判斷系統(tǒng)的穩(wěn)定性,，結(jié)果如圖2所示,。仿真結(jié)果顯示該高階系統(tǒng)是條件穩(wěn)定的，當(dāng)量化器的增益小于0.525時(shí),，極點(diǎn)進(jìn)入單位圓外,，系統(tǒng)出現(xiàn)穩(wěn)定性問題，所以量化器的輸入存在一個(gè)穩(wěn)定范圍,，也即調(diào)制器的輸入信號(hào)不能太大,，否則會(huì)導(dǎo)致系統(tǒng)不穩(wěn)定。在MATLAB中搭建該五階調(diào)制器的行為級(jí)模型,，如圖3所示,。其中包含運(yùn)放熱噪聲和第一級(jí)積分器的kT/C噪聲模型，而且在第一級(jí)積分器模型中引入了有限增益帶寬等非理想因素,，以便更真實(shí)地模擬實(shí)際調(diào)制器電路的仿真結(jié)果,。由于加速度計(jì)傳感器的應(yīng)用頻帶較低，一般在幾百赫茲以內(nèi),，所以在過采樣率為125的情況下,，圖3中的調(diào)制器的采樣頻率可以大大降低。在輸入信號(hào)幅度為-1.94 dBFS,，信號(hào)頻率488.24 Hz,，采樣頻率為250 kHz的條件下，圖3中的65 536點(diǎn)輸出位流頻譜如圖4所示，實(shí)現(xiàn)了大于18位的精度,，滿足了加速度計(jì)接口電路中關(guān)于后級(jí)高精調(diào)制器的帶寬和精度要求,。

2 電路實(shí)現(xiàn)和版圖后仿

　　本設(shè)計(jì)的五階低通ΣΔ調(diào)制器電路采用開關(guān)電容電路實(shí)現(xiàn)，如圖5所示,。在設(shè)計(jì)時(shí)采用全差分結(jié)構(gòu)來消除電路的偶次諧波分量,，從而提高整體電路的性能。整體電路由五級(jí)積分器電路,、前饋求和電路以及動(dòng)態(tài)鎖存比較器等組成,，并由控制時(shí)序P1、P1d,、P2,、P2d控制開關(guān)的開啟和關(guān)斷。其中P1d和P2d分別是P1,、P2的延遲時(shí)序,，這樣設(shè)計(jì)的目的是減小開關(guān)關(guān)斷時(shí)的電荷注入引起的噪聲[4]。由于采用了高階調(diào)制結(jié)構(gòu),，后級(jí)積分器的噪聲可以經(jīng)過前級(jí)整形,，所以第一級(jí)積分器決定著整體的性能，后級(jí)積分器的帶寬和增益等參數(shù)可以適當(dāng)降低[5],。前饋求和電路采用簡單的無源開關(guān)電容電路,，減小芯片面積和功耗。求和電路在P1相求和,，比較器對(duì)輸入差分信號(hào)比較輸出,；求和電路在P2相復(fù)位，比較器輸出鎖存,。本設(shè)計(jì)的量化范圍Vpp=1.65 V,，分辨率為N=18，OSR=125,。根據(jù)建模仿真結(jié)果選取CS1=4 pF,，第一級(jí)積分器的運(yùn)放積分電容為10 pF。由于后級(jí)電路的噪聲可以通過前級(jí)抑制,，后級(jí)積分器電路的采樣電容可以大大減小,，故積分器的負(fù)載電容也等比例減小。

　　運(yùn)放的有限增益會(huì)改變積分器的極點(diǎn)位置,，產(chǎn)生積分泄露,，也就改變了系統(tǒng)的噪聲傳遞函數(shù)的極點(diǎn)。通過行為級(jí)仿真掃描可以確定運(yùn)放的直流增益需大于60 dB才能保證系統(tǒng)的精度,。為了簡化設(shè)計(jì),，選擇一級(jí)折疊共源共柵放大器來實(shí)現(xiàn)積分器電路,，運(yùn)放的電路圖如圖6所示。在第一級(jí)積分器負(fù)載電容為10 pF時(shí),，仿真得到的運(yùn)放電路直流增益為78 dB,，單位增益帶寬約為12 MHz，相位裕度為66°,，擺率為15.7 V/μs,，功耗約為1.4 mW,。后級(jí)積分器的負(fù)載電容等比例縮放,，對(duì)運(yùn)放的增益和帶寬要求也大大降低，因此可以降低功耗,。后級(jí)4個(gè)運(yùn)放在負(fù)載電容等比例縮小的情況下總體功耗小于1.5 mW,。由于采用了一位量化，所以用比較器來實(shí)現(xiàn)調(diào)制器電容中的一位量化器,，實(shí)現(xiàn)輸出數(shù)字信號(hào),。動(dòng)態(tài)比較器具有電路簡單、速度較快,、功耗低的特點(diǎn),。

　　設(shè)計(jì)的五階低通ΣΔ調(diào)制器電路采用CHRT 0.35 μm CMOS工藝實(shí)現(xiàn)，系統(tǒng)工作在3.3 V的電源電壓下,。通過提取出版圖寄生參數(shù),，在Spectre下進(jìn)行后仿驗(yàn)證，輸入信號(hào)幅度為500 mV的差分正弦信號(hào),，信號(hào)頻率488.28 Hz,，系統(tǒng)的采樣頻率為250 kHz。將瞬態(tài)仿真的位流導(dǎo)出到MATLAB下進(jìn)行頻率分析,，65 536點(diǎn)的FFT結(jié)果如圖7所示,。系統(tǒng)的信噪比達(dá)到108.6 dB，有效位數(shù)約為18位,，總體功耗3.4 mW,。由于開關(guān)和運(yùn)放的非線性以及版圖的對(duì)稱性問題導(dǎo)致圖7中出現(xiàn)了3次諧波失真。

3 結(jié)束語

　　本文在CHRT 0.35 μm CMOS工藝下實(shí)現(xiàn)了一種用于加速度計(jì)信號(hào)檢測的高精度ΣΔ調(diào)制器,。后仿真結(jié)果表明在1 kHz的信號(hào)帶寬內(nèi),，實(shí)現(xiàn)了約18位的有效位數(shù)，整體功耗只有3.4 mW,。通過后仿真結(jié)果和行為級(jí)建模的結(jié)果對(duì)比可以證明設(shè)計(jì)的五階單環(huán)調(diào)制器電路實(shí)現(xiàn)了設(shè)計(jì)目標(biāo),，達(dá)到了性能要求。

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