東京, 2015年7月28日 - 亞太商訊 - 田中控股株式會社（總公司：東京都千代田區(qū),、執(zhí)行總裁：田苗 明）宣布田中貴金屬集團電鍍業(yè)務發(fā)展之日本電鍍工程株式會社(Electroplating Engineers of Japan Ltd.)（總公司：神奈川縣平塚市、執(zhí)行總裁：田中 浩一朗,、以下簡稱EEJA）已開發(fā)出可形成與量產(chǎn)機型相同電鍍皮膜的半導體晶圓用的杯式(*1)超小型電鍍實驗設備—“RAD-Plater”，并于7月15日開始銷售。

“RAD-Plater”為用于制造2~8寸半導體晶圓之超小型電鍍實驗設備,。其寬度為800mm、深度700mm,，和量產(chǎn)機型相比較小,，僅需在一般設備的100伏特電壓和壓縮空氣下即可運作?？墒褂玫碾婂円撼私?、銀、鈀,、銅,、鎳等之外，也廣泛適用于合金、無鉛型等鍍液,；與浸泡式裝置相比可將電鍍液量控制在10公升以下,，從而減少實驗成本。杯式設備采用EEJA制的攪拌杯(*2),，具有電鍍膜厚度均一和去除氣泡的優(yōu)異性能,，且能嵌入較深的導通孔(*3)中，實現(xiàn)量產(chǎn)水平的電鍍質(zhì)量,。此外,，因離子供應量的增加與高電流密度(*4)，電鍍時間也得以縮短,。雖然此設備屬于實驗機型,，但其特征為可進行等同于量產(chǎn)的電鍍制程，且可于開發(fā)階段盡早對應推測制程良率等量產(chǎn)制造方面的議題,，同時促進其擴展為量產(chǎn)商品,。不僅如此，該裝置更為在10升以下電鍍液的條件下制造8寸半導體晶圓的杯式電鍍實驗設備的世界首個銷售案例,。 大多數(shù)具有量產(chǎn)電鍍商品的制造商開發(fā)部門都會將電鍍液實驗委托給設備廠商等并加以評估,，然而購買“RAD-Plater”后可在自家公司進行實驗，因此可大幅縮短產(chǎn)品開發(fā)所需的時間,。此外,，面向曾購買量產(chǎn)機型并在自家公司進行實驗的客戶，由于“RAD-Plater”只需量產(chǎn)機型3分之1至4分之1的價格,，故能夠大幅縮減成本,。EEJA將配合“RAD-Plater”使用的電鍍液樣本提供給制造商研究開發(fā)測試部門和大學等教育或研究機關、材料廠商等,，期望借此能增進量產(chǎn)條件下電鍍設備及電鍍液的銷售,。EEJA也希望于2017年以前，“RAD-Plater”能夠達到每年營業(yè)收入5億日元的目標,。

(*1) 杯式
       用于制造半導體晶圓的設備規(guī)格之一,。借由噴流、攪拌電鍍液的方式而形成電鍍皮膜,。此外還有浸泡被電鍍材料的浸泡式設備,。目前的電鍍加工過程中， 8寸以下的晶圓,，多采用杯式,；而12寸以上的晶圓，則多采用浸泡式設備,。

(*2) 攪拌杯（Stir-Cup）
       通過對晶圓電鍍面液體的隨機攪拌,，提升離子供應的均一性和電鍍膜厚度的均一性。此外，由于電鍍區(qū)的孔洞會產(chǎn)生壓力差,，造成電鍍液時常發(fā)生替換,，通過攪拌氣泡不會殘留在電鍍區(qū)內(nèi)部而被去除，從而提高氣泡的移除率,。
(*3) 導通孔
       是指開口于晶圓和玻璃基板的微小孔洞,，能使晶片上下層以金屬電極連接，而作為半導體晶片的小型化技術,。近年來導通孔洞直徑已縮小至10微米至20微米左右,，因此在傳統(tǒng)的電鍍杯上，較難將金屬電鍍（嵌入）至導通孔內(nèi)部,。
(*4) 電流密度
       從傳統(tǒng)的實驗設備的0.4A/dm2提升至1.6A/dm2,。
田中控股株式會社（統(tǒng)籌田中貴金屬集團之控股公司）

   總公司：東京都千代田區(qū)丸之內(nèi)2-7-3 東京大樓22F
    代表：執(zhí)行總裁　田苗 明
    創(chuàng)業(yè)：1885年
    設立：1918年
    資本額：5億日元
    集團連結(jié)員工數(shù)：3,511名（2014年度）
    集團連結(jié)營業(yè)額：8,564億日元（2014年度）
    集團之主要事業(yè)內(nèi)容：貴金屬材料(白金?金?銀等)及各種產(chǎn)業(yè)用貴金屬制品制造?販售,進出品及貴金屬之回收?精煉
日本電鍍工程株式會社
    簡稱：EEJA (Electroplating Engineers of Japan Ltd.）
    總公司：神奈川縣平冢市新町5-50
    代表：執(zhí)行總裁　田中 浩一朗
    設立：1965年
    資本金：1億日元
    員工人數(shù)：95名（2014年度）
    營業(yè)額： 224億8000萬日元（2014年度）
    營業(yè)內(nèi)容：
    1. 貴金屬與卑金屬電鍍液、添加劑及表面處理相關藥品的研發(fā),、制造,、銷售、出口
    2. 電鍍裝置的研發(fā),、制造,、銷售、出口
    3. 其他電鍍相關產(chǎn)品的進口,、銷售
關于田中貴金屬集團
       田中貴金屬集團自1885年（明治18年）創(chuàng)業(yè)以來,，營業(yè)范圍以貴金屬為中心,，并以此展開廣泛活動,。于2010年4月1日，以田中控股株式會社做為控股公司（集團母公司）的形式,，完成集團組織重組,。通過加強內(nèi)部控制體制同時有效進行迅速經(jīng)營及機動性業(yè)務，以提供顧客更佳的服務為目標,。并且,，以身為貴金屬相關的專家集團，連結(jié)底下各公司攜手合作提供多樣化的產(chǎn)品及服務,。

       在日本國內(nèi),，以最高水準的貴金屬交易量為傲的田中貴金屬集團，從產(chǎn)業(yè)用貴金屬材料的開發(fā)到穩(wěn)定供應,，裝飾品及活用貴金屬的儲蓄商品的提供等方面長年來不遺余力,。田中貴金屬集團今后也更將以專業(yè)的團隊形態(tài)，為寬裕豐富的生活貢獻一己之力,。