在說半導(dǎo)體設(shè)備之前,,我們先說一下半導(dǎo)體這個行當,。從大的方向上來說,半導(dǎo)體市場可以分為集成電路、分立器件,、光電子和傳感器四大領(lǐng)域,,其中尤以集成電路所占的份額最為龐大,。
根據(jù)美國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會(SIA)發(fā)布的最新發(fā)布的數(shù)據(jù)顯示,,2015 年全球半導(dǎo)體市場規(guī)模為 3,352 億美元,,比 2014 年略減0.2%,。而集成電路的規(guī)模高達2,753 億美元,,占半導(dǎo)體市場的 81%,。所以說集成電路是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的重中之重。
而根據(jù)SEMI公布的數(shù)據(jù)顯示,,2015年全球半導(dǎo)體設(shè)備出貨金額為365.3億美元,,低于2014年的375.0億美元(約1.23兆元臺幣)銷售額。此項統(tǒng)計包含晶圓前段制程設(shè)備,、后段封裝測試設(shè)備以及其他前段設(shè)備,。其他前段設(shè)備包括光罩╱倍縮光罩制造、晶圓制造以及晶圓廠設(shè)施,。
在這些設(shè)備采購份額中,,臺灣已連續(xù)第4年穩(wěn)坐半導(dǎo)體設(shè)備最大市場寶座,設(shè)備銷售金額達96.4億美元,,這主要得益于臺灣本身在封測產(chǎn)業(yè)的興旺,,臺積電,、聯(lián)電、矽品和日月光等,,無一不是行業(yè)內(nèi)名列前茅的代表,,但其年增僅約2%。
而南韓與日本市場擴大并超越北美,,分別排名第2及第3,,其中,日本市場以年增31%居各市場成長之冠,。
北美市場則是以51.2億美元(約1679億元臺幣)金額落到第4位,,年減幅度高達37%、歐洲市場年減約19%﹔
中國市場規(guī)模依舊超越歐洲市場及其他地區(qū),,年成長約12%,。 高企的增長率除了國內(nèi)對中芯國際、長電等企業(yè)的扶持外,,還有就是格羅方德,、臺積電等知名企業(yè)和國內(nèi)的合資或者投資建廠,給中國帶來了增長的機遇,。毫無疑問,,中國在未來幾年在半導(dǎo)體設(shè)備方面有高速增長的需求。
但與高速增長需求不相匹配的是,,國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備,,尤其是在高端設(shè)備的缺失,提升了中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的準入門檻,。
根據(jù) SEMI 的統(tǒng)計, 2014 年全球半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模為 375 億美元,,前十大半導(dǎo)體設(shè)備廠商的銷售額為 351 億美元,,市場占有率高達 93.6%,,行業(yè)處于寡頭壟斷局面。 前十大半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)商中,,有美國企業(yè) 4 家,,日本企業(yè) 5 家,,荷蘭企業(yè)1 家,。里面難尋中國廠商的蹤影,,這和近幾年中國飛速發(fā)展的fabless產(chǎn)業(yè)是格格不入的,。這也與今年國內(nèi)推動的封測產(chǎn)業(yè)相去甚遠的,。如何提升國產(chǎn)設(shè)備的市場占有率就成為半導(dǎo)體從業(yè)者關(guān)注的另一個問題。
PS:需要說明一下,,在2015年10月,半導(dǎo)體設(shè)備制造商LamResearch(科林研發(fā))以約106億美元收購其競爭對手KLA-Tencor(科磊)公司,,改變了設(shè)備市場的格局。
?。◤纳舷聝蓤D對比可以看出,國內(nèi)外的差距多嚴重)
假設(shè) 2014 年國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備的銷售額為40.53 億元,,僅占全球半導(dǎo)體設(shè)備市場份額的 1.7%,處于可以忽略的地位,,半導(dǎo)體設(shè)備的落后程度可見一斑。
從上圖可以看出,,整個集成電路的打磨過程中,會涉及到各種各樣的設(shè)備,。我們就按照市場的占有率介紹一下前十的設(shè)備公司,并介紹一下他們的相關(guān)設(shè)備,,并說明一下他們在半導(dǎo)體流程中充當什么角色。
一,、應(yīng)用材料
按維基百科,應(yīng)用材料公司是全球最大的半導(dǎo)體設(shè)備和服務(wù)供應(yīng)商,。應(yīng)用材料公司創(chuàng)建于1967年,公司總部位于美國加利福尼亞州圣克拉拉,。應(yīng)用材料公司1984年進入中國,,目前在上海,,北京,天津,,蘇州,無錫等地有辦事處或倉庫,,在西安設(shè)有太陽能開發(fā)中心。
應(yīng)用材料公司的主要產(chǎn)品為芯片制造相關(guān)類產(chǎn)品,,例如原子層沉積,物理氣相沉積,,化學(xué)氣相沉積,電鍍,,侵蝕,離子注入,,快速熱處理,,化學(xué)機械拋光,,測量學(xué)和硅片檢測等。應(yīng)用材料公司每年的研究經(jīng)費達到約10億美元,。
應(yīng)用材料公司Applied Materials(AMAT)歷史沿革:
1967年,,Michael A. McNeilly創(chuàng)立應(yīng)用材料公司;
1972年,,Applied Materials公開交易;
1984年,,應(yīng)用材料公司進入中國,,目前在上海,北京,,天津,,蘇州,無錫等地有辦事處或倉庫,,在西安設(shè)有太陽能開發(fā)中心(詳見下文),;
1996年11月,,應(yīng)用材料公司收購兩家以色列公司:1.75億美金收購Opal Technologies、1.1億美元收購Orbot Instruments,;
2000年,,Applied Materials收購Etec Systems, Inc.,;
2011年6月27日,,應(yīng)用材料公司以2100萬美金收購以色列公司OramirSemiconductor Equipment Ltd.;
2008年1月,,Applied Materials購買意大利公司Baccini,;
2009年,應(yīng)用材料公司在中國陜西西安開設(shè)了其太陽能技術(shù)中心(Solar Technology Center)—是目前全球最大的商業(yè)太陽能能源研究和發(fā)展機構(gòu)/設(shè)施,;
2009年12月,,Applied Materials完成對Semitool Inc.的收購;
2011年5月,,Applied Materials宣布收購Varian Semiconductor,;
2013年9月24日,應(yīng)用材料宣布將透過換股方式,,作價90億美元收購主要競爭對手東京電子(Tokyo Electron),2015年4月28日,,應(yīng)用材料與東京電子表示將取消業(yè)務(wù)合并計劃,因該合并未獲得美國司法部認可,。
二、ASML
阿斯麥公司(臺譯:艾司摩爾控股公司)ASML Holding NV創(chuàng)立于1984年,,前稱ASM Lithography Holding N.V.,,于2001年改為現(xiàn)用名,,總部位于荷蘭費爾德霍芬(Veldhoven),全職雇員12,,168人,是一家半導(dǎo)體設(shè)備設(shè)計,、制造及銷售公司。
公司主要從事半導(dǎo)體設(shè)備的設(shè)計,、制造及銷售,,ASML公司主要專精于晶片制造微縮影設(shè)備之設(shè)計制造與整合,積體電路生產(chǎn)流程中,,其關(guān)鍵的制程技術(shù)則是微縮影(lithography)技術(shù)將電路圖影像投射在晶片上之曝光。業(yè)務(wù)范圍遍及全球,,生產(chǎn)與研發(fā)單位則分別位于美國康乃狄克州、加州,,臺灣以及荷蘭。
阿斯麥公司在世界14個國家和地區(qū)有50個子公司和生產(chǎn)據(jù)點,,主要產(chǎn)品是用來生產(chǎn)大規(guī)模集成電路的核心設(shè)備光刻機,在世界同類產(chǎn)品中有90%的市占率,。
阿斯麥公司(艾司摩爾控股)ASML Holding(ASML)簡史:
1984年,艾司摩爾從荷蘭著名電子制造商飛利浦獨立,,此后致力于大規(guī)模集成電路制造設(shè)備的研究和制造。根據(jù)摩爾定律不斷為提高單位面積集成度作貢獻,。2007年已經(jīng)能夠提供制造37nm線寬集成電路的光刻機。
制造大規(guī)模集成電路時要對半導(dǎo)體晶圓曝光3,,40次。如何在不降低品質(zhì)的情況下,,減少曝光次數(shù)是曝光機的發(fā)展方向。阿斯麥公司使用德國蔡斯公司的光路系統(tǒng),。鏡頭使用螢石和石英制造。
曝光機是高附加值產(chǎn)品,,一臺新的曝光機動輒3000至5000萬美元。但是研發(fā)周期長投入資金也相當巨大,。
阿斯麥公司為半導(dǎo)體生產(chǎn)商提供光刻機及相關(guān)服務(wù),,TWINSCAN系列是目前世界上精度最高,,生產(chǎn)效率最高,,應(yīng)用最為廣泛的高端光刻機型。目前全球絕大多數(shù)半導(dǎo)體生產(chǎn)廠商,,都向ASML采購TWINSCAN機型,例如英特爾(Intel),,三星(Samsung),海力士(Hynix,,KSE:000660),臺積電(TSMC),,聯(lián)電((NYSE:UMC)),,格羅方德(GlobalFoundries,,格羅方德成立于2009年3月2日,,是從美國AMD公司制造部門分拆出。母公司分別為AMD及阿布扎比的Advanced Technology Investment Company(ATIC),,其中ATIC占公司股權(quán)65.8%)及其它臺灣十二吋半導(dǎo)體廠。
目前(截至2012年,,現(xiàn)在的不知道,誰清楚請告知)已經(jīng)商用的最先進機型是Twinscan XT 1950i,,每小時單位產(chǎn)出為260片(WPH)12吋芯片,屬于浸潤式(immersion)光刻機,,用來生產(chǎn)關(guān)鍵尺度低于38納米的集成電路,。
除了目前致力于開發(fā)的TWINSCAN平臺外,,阿斯麥公司還在積極與IBM等半導(dǎo)體公司合作,開發(fā)下一代光刻技術(shù),,比如EUV(極紫外線光刻),用于關(guān)鍵尺度在22納米甚至更低的集成電路制造,。目前阿斯麥公司已經(jīng)向客戶遞交若干臺EUV機型,用于研發(fā)和實驗,。同時,基于傳統(tǒng)TWINSCAN平臺的雙重曝光等新興技術(shù),,也在進一步成熟和研發(fā)過程當中。07年末三星(Samsung)宣布成功生產(chǎn)的36nm NAND Flash,,基于的便是雙重曝光技術(shù)(double patten)。
2012年7月10日,,英特爾斥資41億美元收購荷蘭芯片設(shè)備制造商阿斯麥公司的15%股權(quán),,另出資10億美元,,支持阿斯麥公司加快開發(fā)成本高昂的芯片制造科技。先以21億美元,,收購阿斯麥公司10%股權(quán),待股東批準后,,再以10億美元收購5%股權(quán),投注金額將以發(fā)展450mm機臺以及EUV研發(fā)制造10nm技術(shù)為兩大主軸,。
2012年8月5日,臺積電宣布加入荷蘭阿斯麥公司所提出的“客戶聯(lián)合投資專案”(Customer Co-Investment Program),,根據(jù)協(xié)議,臺積電將投資ASML達8.38億歐元,,取得阿斯麥公司約5%股權(quán),未來5年并將投入2.76億歐元,,支持阿斯麥公司的研發(fā)計劃,。
2012年8月27日,,三星宣布斥資5.03億歐元入股以荷蘭為基地的芯片商阿斯麥公司3%股權(quán),并額外注資2.75億歐元合作研發(fā)新技術(shù),。
2012年10月17日,,ASML Holding NV(ASML)與Cymer (原NASDAQ:CYMI)宣布簽訂合并協(xié)議,,阿斯麥公司將以19.5億歐元收購Cymer所有在外流通股票,收購Cymer目的在于加速開發(fā)Extreme Ultraviolet半導(dǎo)體蝕微影技術(shù),,兩家公司董事會一致通過這件交易,Cymer股東將以每股收取20萬美元現(xiàn)金和1.1502股ASML普通股,,收購價比Cymer過去30日均價高出61%。
三,、Tokyo Electron
東京電子 成立于1963年,為全球第三大半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)商,,提供給半導(dǎo)體與平面顯示器產(chǎn)業(yè),。
半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備,,包括涂布機,、電漿蝕刻系統(tǒng)、熱加工系統(tǒng),、單晶片沉積系統(tǒng)、清洗系統(tǒng),,用于晶圓生產(chǎn)流程,還提供晶圓探針系統(tǒng),。平板顯示器生產(chǎn)設(shè)備,,包括平面顯示鍍膜機,、平面電漿蝕刻,及電漿體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)用于薄膜矽太陽能電池,。
東京電子發(fā)展歷程:
1963年11月 - 由東京放送(TBS)成立東京電子研究所
1978年10月 - 東京電子研究所更名為東京電子
1980年?6月 - 在東京證券交易所第2部上市
1984年 3月 - 升格為在東京證券交易所第1部上市
1990年8月 - 成立東電FE,開始研發(fā)制造LCD和FPD的設(shè)備
1994年 8月 - 總公司地址搬到赤坂TBS放送中心
2006年 4月 - 分割為東電AT,,東電九州和東電軟件技術(shù)三個子公司
2008年 2月 - 和夏普合資成立東京電子PV
2013年 9月 - 和應(yīng)用材料合并
2015年 4月 - 應(yīng)用材料與東京電子表示將取消業(yè)務(wù)合并計劃,理由是該計劃未獲得美國司法部認可,。
四、Lam Research
Lam Research Corporation成立于1980年,,總部位于美國加州,是一家向全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)提供晶圓制造設(shè)備和服務(wù)的供應(yīng)商,。
公司主要設(shè)計、制造,、行銷,、維修及服務(wù)使用于積體電路制造的半導(dǎo)體處理設(shè)備,,此外,還提供單晶圓清潔技術(shù)的多樣組合,。
旗下子公司Customer Support Business Group提供可強化設(shè)備效能及效率的產(chǎn)品與服務(wù)。該公司提供服務(wù)的范圍包括客戶服務(wù),、備用零件的供應(yīng)、產(chǎn)品升級,、產(chǎn)品蝕刻、沉積,、去除光阻及清潔等服務(wù),,并還制造,、銷售一系列的研磨,、疊置及精密拋光等設(shè)備,。2012年6月,公司完成與Novellus Systems,, Inc.合并。
科林研發(fā)公司(拉姆研究)Lam Research(LRCX)歷史沿革:
1980,,David K. Lam創(chuàng)立科林研發(fā)公司;
1981,,發(fā)布第一款產(chǎn)品——AutoEtch 480;
1984,,首次公開發(fā)行IPO,登陸納斯達克,;
1985,發(fā)布第一款oxide etch system——AutoEtch 590
1987,,將總部搬到弗里蒙特Cushing Parkway,發(fā)布Rainbow 4400 Etch Series,;
1990,,進入中國大陸市場,;
1997,收購OnTrak Systems,, Inc.;
2001,,獲得ISO 9001:2000質(zhì)量體系認證;
2002,,開設(shè)新品&技術(shù)發(fā)布網(wǎng)站MyLam.com,;
2003,,取得ISO 14001環(huán)境管理體系認證,;
2012年6月4日,,Lam Research Corp.完成與加州上市公司諾發(fā)系統(tǒng)Novellus Systems,, Inc.的合并。
2015年10月21日,,科林研發(fā)公司宣布將斥資106億美元, 以現(xiàn)金加股票的方式收購?fù)瑯I(yè)的美國半導(dǎo)體設(shè)備廠商科磊半導(dǎo)體(KLA-Tencor ),。
五、KLA-Tencor
科磊半導(dǎo)體(或:科天半導(dǎo)體,、美商科磊股份有限公司)KLA-Tencor Corporation創(chuàng)立于1975年,,總部位于美國加州米爾皮塔斯,,全職雇員5,880人,,是全球前十大IC設(shè)備生產(chǎn)廠商,擁有晶圓檢測與光罩檢測系統(tǒng),。
KLA-Tencor Corporation是一家從事半導(dǎo)體及相關(guān)納米電子產(chǎn)業(yè)的設(shè)計、制造及行銷制程控制和良率管理解決方案商,,其產(chǎn)品包括晶片制造,、晶圓制造,、光罩制造、互補式金屬氧化物半導(dǎo)體(CMOS)和圖像感應(yīng)器制造,、太陽能制造、LED制造,,資料儲存媒體/讀寫頭制造,、微電子機械系統(tǒng)制造及通用/實驗室應(yīng)用等,。
此外,,科磊半導(dǎo)體公司還提供翻新的KLA-Tencor工具,,連同其KT認證計畫予客戶制造更大的設(shè)計規(guī)則裝置及產(chǎn)品支援服務(wù)。公司產(chǎn)品應(yīng)用于許多其他行業(yè),,包括LED,資料儲存和太陽能等產(chǎn)業(yè),,以及一般材料的研究,。
科磊半導(dǎo)體(科天半導(dǎo)體)KLA-Tencor Corp(KLAC)歷史沿革:
1975年,,Ken Levy 和 Bob Anderson創(chuàng)立KLA Instruments,是KLA-Tencor Corporation的前身之一,;
1997年,KLA Instruments 與同業(yè)公司 Tencor Instruments合并,,成立KLA-Tencor;
1998年,,KLA-Tencor收購Amray Inc.、Nanopro GmbH,、Keithley Instruments, Inc.的 Quantox產(chǎn)品線,、VARS,、Uniphase Corporation的Ultrapointe分公司,;
1999年,科磊半導(dǎo)體收購ACME Systems Inc.,;
2000年,KLA-Tencor收購FINLE Technologies,, Inc.,并從ObjectSpace Inc.手里收購了Fab Solutions,;
2001年,,收購Phase Metrics;
2004年,,收購Candela Instruments及Inspex, Inc.的硅片檢測系統(tǒng)業(yè)務(wù),;
2006年,,收購ADE Corporation,;
2007年,收購OnWafer Technologies,、SensArray Corporation以及Therma-Wave Corporation;
2008年,,收購ICOS Vision Systems Corporation NV、以及Vistec Semiconductor Systems的微電子檢測設(shè)備業(yè)務(wù)單元,;
2010年,,收購Ambios Technology,;
2014年,收購Luminescent Technologies,;
2015年10月21日,科林研發(fā)公司宣布將斥資106億美元,, 以現(xiàn)金加股票的方式收購科磊半導(dǎo)體(KLA-Tencor )
六、DNS(Dainippon Screen,,迪恩仕)
SCREEN 集團專職研究開發(fā)各項半導(dǎo)體設(shè)備,、液晶生產(chǎn)設(shè)備及專業(yè)級印刷設(shè)備,,其集團公司包含全世界共有數(shù)十個服務(wù)據(jù)點,足跡遍及臺灣,、日本、美國,、歐洲,、中國大陸、韓國,、新加坡等地。
迪恩仕總部位于日本,。從印前,、印刷及相關(guān)設(shè)備到電子產(chǎn)業(yè),,迪恩士已在各個領(lǐng)域擴大了其業(yè)務(wù)范圍。 在“發(fā)展思路”的公司的原則指導(dǎo)下,,以核心圖像處理技術(shù)為杠桿,不斷努力開創(chuàng)著新的業(yè)務(wù)和產(chǎn)品,。
迪恩仕現(xiàn)在正在發(fā)展和生產(chǎn)印刷領(lǐng)域及世界領(lǐng)先的高科技領(lǐng)域的印刷技術(shù)數(shù)字化設(shè)備,如電子領(lǐng)域的半導(dǎo)體制造設(shè)備,,F(xiàn)PDs (平板顯示器)和印刷電路板,。
迪恩仕科技提供各領(lǐng)域之半導(dǎo)體晶圓設(shè)備,,包含洗凈、蝕刻,、顯影/涂布等制程用途,,其中洗凈設(shè)備于半導(dǎo)體業(yè)界具有極高之市占率,同時隨著半導(dǎo)體制程技術(shù)進步不斷推陳出新設(shè)備產(chǎn)品,。
七、Advantest
ADVANTEST公司1954年成立于日本東京,,主要從事大規(guī)模集成電路自動測試設(shè)備及電子測量儀器的研發(fā)、制造,、銷售和服務(wù),。
半個多世紀以來,,公司憑借其優(yōu)秀的經(jīng)營理念和尖端的技術(shù),,已成為全球最大的集成電力自動測試設(shè)備供應(yīng)商之一,,并在美國、歐洲,、亞洲成立了多個子公司,就近向半導(dǎo)體行業(yè)提供完善的整體解決方案,,及一流的售后服務(wù)。
ADVANTEST公司的產(chǎn)品主要分為集成電路自動測試設(shè)備和電子測量儀器兩大部分,。集成電路自動測試設(shè)備的產(chǎn)品包裹SoC測試系統(tǒng),、Memory測試系統(tǒng),、混合信號測試系統(tǒng)、LCD Driver測試系統(tǒng),、動態(tài)機械手等; 電子測量儀器產(chǎn)品則包括頻譜分析儀、網(wǎng)絡(luò)分析儀等,。近二十年來,,作為半導(dǎo)體測試設(shè)備行業(yè)的領(lǐng)軍企業(yè),,ADVANTEST公司的產(chǎn)品銷售額和市場占有率在全球同行業(yè)中的排名一直數(shù)一數(shù)二,,并在近幾年ATE測試設(shè)備的市場份額最新排名中依然榮居榜首。
ADVANTEST公司自二十世紀七十年代開始與中國展開技術(shù)交流,,并與1993年正式進入中國市場。目前在北京,、上海,、蘇州分別有注冊公司(分公司),。其中技術(shù)工程師占60%以上。
八,、Teradyne
美商泰瑞達Teradyne, Inc.創(chuàng)立于1960年,,總部位于美國馬薩諸塞州North Reading,全職雇員3,,900人,,是一家生產(chǎn)電子與通訊產(chǎn)品所需的自動化測試器材與相關(guān)軟件的自動測試設(shè)備公司,。
美商泰瑞達(Teradyne)是一家自動測試機臺的制造商(Automatic Test Equipment,ATE),,產(chǎn)品包括半導(dǎo)體測試系統(tǒng)、電路板與電話線與網(wǎng)路所需的軟件,,2005年,泰瑞達公司在系統(tǒng)整合芯片的元件測試市場中,,市占率最高。
國內(nèi)外知名企業(yè)如Motorola,, Philips Semiconductor,, Texas Instrument,, Cisco, 3Com,,中芯國際,ChipPac,, 華為,貝嶺等皆為公司客戶,。
美商泰瑞達Teradyne(TER)歷史沿革:
1960 - Alex d’Arbeloff 和 Nick DeWolf創(chuàng)立Teradyne;
1961 - 發(fā)布第一個產(chǎn)品——二極管測試儀(D133),,由 Raytheon Company出售,;
1966 - Teradyne發(fā)布第一款電腦控制芯片測試儀——J259,;
1969 - Teradyne 在收購Triangle Systems后建立Teradyne Dynamic Systems;
1970 - Teradyne登陸紐交所,,發(fā)行42萬股,,股票代碼:TER,;
1973 - Teradyne 在芝加哥建立 Teradyne Central來開發(fā)電信測試系統(tǒng);
1973 - Teradyne發(fā)布全球第一款用戶線測試系統(tǒng)——4TEL,;
1979 - Teradyne發(fā)布A300 Analog LSI測試系統(tǒng),同年營業(yè)額突破1億美金大關(guān),;
1980 - Teradyne發(fā)布第一款電路/電路板功能測試系統(tǒng)組合——L200,;
1981 - Teradyne發(fā)布第一款超大規(guī)模集成電路不停機測試系統(tǒng)——J941,;
1986 - Teradyne發(fā)布第一款模擬超大規(guī)模集成電路測試系統(tǒng)——A500;
1988 - Teradyne發(fā)布第一款使用電子表格程序設(shè)計的基于PC的電路板測試儀——Z1800-Series.
1990 - Teradyne執(zhí)行全公司的全面質(zhì)量管理舉措,;
1993 - Teradyne的4TEL電信測試系統(tǒng)獲得來自Deutsche Telekom的6300萬美元大單;
1996 - Teradyne 發(fā)布第一款基于VXI的在線測試系統(tǒng)——Spectrum 8800-系列生產(chǎn)測試平臺(Manufacturing Test Platform),;
1996 - 發(fā)布Marlin Memory Test 系統(tǒng),;
1997 - Teradyne制造第一款可實時轉(zhuǎn)移的結(jié)構(gòu)到功能測試系統(tǒng)——J973,;
1997 - Teradyne發(fā)布第一款System-On-A-Chip測試系統(tǒng)——Catalyst;
1998 - Teradyne發(fā)布——J750,,一個低成本設(shè)備的大批量測試解決方案;
2000 - Teradyne Japan Division發(fā)布新一代圖像傳感器測試系統(tǒng)——IP-750,;
2004 - Teradyne發(fā)布為復(fù)雜的SOC器件提供高靈活性,、高工作量以及高混合的測試系統(tǒng)——FLEX,;
2006 - Teradyne將總部搬到馬薩諸塞州North Reading;
2008 - Teradyne收購Eagle Test 和 Nextest Systems,;
2011 - Teradyne 收購 LitePoint;
2015 - Teradyne 收購 Danish company Universal Robots。
九,、Hitachi High-Technologies
日立全球先端科技為全球半導(dǎo)體設(shè)備大廠。主要產(chǎn)品包括半導(dǎo)體設(shè)備,、電子顯微鏡,、液晶面板相關(guān)設(shè)備,,F(xiàn)PD設(shè)備包括包括Array、Cell,、Module,、彩色濾光片之制程設(shè)備,,包含玻璃基板表面檢查設(shè)備、曝光機,、濕制程設(shè)備。.等及醫(yī)療分析設(shè)備,。
公司還提供鋼制品,、非鐵金屬產(chǎn)品,、綜合性樹脂產(chǎn)品、光通訊材料,、石油化學(xué)產(chǎn)品等工業(yè)材料,。
十,、尼康
Nikon 成立于1917年,是總部設(shè)在日本東京,,主要分四個事業(yè)領(lǐng)域,分別精密設(shè)備公司,、映像公司,、儀器公司及其他(包括CMP裝置事業(yè)、測量機事業(yè)、望遠鏡事業(yè)等),。
精密設(shè)備事業(yè)部是提供積體電路曝光機和掃描儀,,用于在大規(guī)模積體電路制造,;影像產(chǎn)品事業(yè)部提供的數(shù)位相機、膠卷相機及零件,,包括可互換鏡頭,、閃光燈,、膠片掃描儀等;儀器事業(yè)部提供顯微鏡,、測量儀器、半導(dǎo)體檢測設(shè)備,。
其他還有提供運動光學(xué)產(chǎn)品,,如望遠鏡,、單筒/雙筒望遠鏡、雷射測距儀等,。
行業(yè)專家莫大康認為,發(fā)展設(shè)備業(yè)之所以最為困難,,除了資金,、人才等問題,最關(guān)鍵是使用量太少,。