文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼: A
DOI:10.16157/j.issn.0258-7998.2016.08.037
中文引用格式: 李勇,,孔春偉,何繼愛(ài),,等. 剪切型壓電噴頭驅(qū)動(dòng)電源的設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn)[J].電子技術(shù)應(yīng)用,,2016,42(8):148-153.
英文引用格式: Li Yong,,Kong Chunwei,He Jiai,,et al. Design and implementation of a driving power for shear mode piezoelectric actuated inkjet head[J].Application of Electronic Technique,,2016,42(8):148-153.
0 引言
隨著傳統(tǒng)打印,、工業(yè)噴繪、生物醫(yī)學(xué)等行業(yè)的蓬勃發(fā)展,,剪切型壓電噴墨打印技術(shù)因其墨滴均勻性好,,可控性強(qiáng),、衛(wèi)星點(diǎn)少等優(yōu)點(diǎn)異軍突起,是當(dāng)今最具應(yīng)用潛力的噴墨打印技術(shù)[1],。剪切型壓電噴墨打印技術(shù)中壓電噴頭結(jié)構(gòu)及驅(qū)動(dòng)電源是其關(guān)鍵技術(shù),,噴頭驅(qū)動(dòng)電源輸出激勵(lì)脈沖的幅值、頻率特性影響噴頭噴出墨滴的大小,、速度及頻率[2],。因此,研制一種有效的剪切型壓電噴頭驅(qū)動(dòng)電源,,對(duì)于提高噴頭噴出墨滴的性能具有重要意義,。
針對(duì)剪切型壓電噴頭良好的發(fā)展前景,國(guó)內(nèi)外研究者對(duì)噴頭結(jié)構(gòu)及壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電源進(jìn)行了探索研究,。Jürgen等[3-4]從剪切型壓電噴頭致動(dòng)壁的壓電特性出發(fā),,研究了噴頭結(jié)構(gòu)特征及制造流程。Herman等[5-6]為優(yōu)化噴頭結(jié)構(gòu),,以噴頭噴射墨水時(shí)的動(dòng)態(tài)過(guò)程為研究對(duì)象,,分析了通道內(nèi)電場(chǎng)、流場(chǎng),、聲場(chǎng)等相互耦合的數(shù)學(xué),、物理模型。Guangya Liu等[7]根據(jù)壓電陶瓷的材料特性,,研究了壓電陶瓷微位移驅(qū)動(dòng)電源,。但上述研究均為從噴頭結(jié)構(gòu)或壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電源一種角度進(jìn)行展開(kāi),缺乏兩者的關(guān)聯(lián)耦合,。針對(duì)此問(wèn)題,,本文在分析致動(dòng)壁特性基礎(chǔ)上,結(jié)合剪切型壓電噴頭具體結(jié)構(gòu),,設(shè)計(jì)一種基于直流變換原理的開(kāi)關(guān)式剪切型壓電噴頭驅(qū)動(dòng)電源,,實(shí)現(xiàn)噴頭結(jié)構(gòu)與壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電源的關(guān)聯(lián)耦合。采用設(shè)計(jì)出的噴頭驅(qū)動(dòng)電源,,開(kāi)展了電源性能測(cè)試實(shí)驗(yàn),。
1 壓電噴頭驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)及特性分析
1.1 厚度剪切型壓電噴頭驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)
厚度剪切型壓電噴頭是利用壓電陶瓷的逆壓電效應(yīng),使致動(dòng)壁產(chǎn)生厚度剪切振動(dòng),,導(dǎo)致墨水腔有規(guī)律地增大-減小,,將墨水?dāng)D出噴孔的微機(jī)電裝置。通常壓電噴頭結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的目標(biāo)是實(shí)現(xiàn)噴頭正常工作時(shí)致動(dòng)壁振動(dòng)幅度大,,噴射墨水能力強(qiáng),。通過(guò)研究分析,致動(dòng)壁處于厚度剪切振動(dòng)模式時(shí),,僅有剪切變形,,模間無(wú)耦合,,能量損耗少,機(jī)電轉(zhuǎn)化效率高,,此時(shí)致動(dòng)壁相比其他振動(dòng)模式振動(dòng)幅度較大,,噴頭噴射墨水能力較強(qiáng)[8]。噴頭致動(dòng)壁是將電能轉(zhuǎn)化為機(jī)械能的元件,,其制造材料的機(jī)電耦合系數(shù)是選材的重要指標(biāo),,為實(shí)現(xiàn)較高的電能與機(jī)械能轉(zhuǎn)化效率,選擇機(jī)電耦合系數(shù)較大的軟系壓電陶瓷PZT-5H制造壓電噴頭致動(dòng)壁,。
根據(jù)剪切型壓電噴頭功能及上述分析,,以PZT-5H壓電陶瓷為基材,設(shè)計(jì)出如圖1所示的剪切型壓電噴頭致動(dòng)器結(jié)構(gòu),。壓電噴頭致動(dòng)器主要由壓電陶瓷底座、壓電陶瓷致動(dòng)壁,、非壓電陶瓷上蓋,、連接膜、焊盤,、帶有噴孔的噴孔板等構(gòu)成,。
圖1 剪切型壓電噴頭致動(dòng)器結(jié)構(gòu)
在圖1所示剪切型壓電噴頭致動(dòng)器結(jié)構(gòu)中選擇單通道I為研究對(duì)象,其致動(dòng)壁產(chǎn)生厚度剪切振動(dòng)時(shí)墨水腔容積變化過(guò)程如圖2所示,。當(dāng)兩側(cè)致動(dòng)壁均接0電位時(shí),,致動(dòng)壁處于靜止?fàn)顟B(tài),墨水腔容積亦處于原始狀態(tài),,如圖2(a)所示,,當(dāng)左、右致動(dòng)壁同時(shí)分別施加正,、反向電場(chǎng)時(shí),,致動(dòng)壁向墨水腔外部運(yùn)動(dòng),該過(guò)程導(dǎo)致墨水腔容積增大,,內(nèi)部產(chǎn)生負(fù)壓,,墨水從儲(chǔ)墨器及噴孔處流向墨水腔,如圖2(b)所示,。隨后,,將兩致動(dòng)壁上的電場(chǎng)同時(shí)反向,兩致動(dòng)壁向墨水腔內(nèi)部運(yùn)動(dòng),,該過(guò)程導(dǎo)致墨水腔容積減小,,內(nèi)部產(chǎn)生正壓,將墨水從噴孔中噴出,。如圖2(c)所示,。
(a)靜止態(tài) (b)容積增大態(tài) (c)容積減小態(tài)
圖2 單通道墨水腔容積變化過(guò)程
1.2 致動(dòng)壁位移及諧振基頻分析
為了分析剪切型壓電噴頭致動(dòng)壁的運(yùn)動(dòng)特性,,對(duì)圖1中致動(dòng)壁沿3方向極化,2方向施加電場(chǎng),,使其在無(wú)外部應(yīng)力作用下做厚度剪切振動(dòng),,由d型壓電方程[9]可得應(yīng)變s23=d15 E2,式中d15為壓電應(yīng)變系數(shù),,E2為電場(chǎng)強(qiáng)度,。應(yīng)變s23對(duì)應(yīng)的內(nèi)部應(yīng)力式中
為短路彈性柔順系數(shù)。
為了確定電壓對(duì)壓電噴頭致動(dòng)壁厚度剪切振動(dòng)時(shí)位移的影響,,在圖1所示噴頭致動(dòng)器結(jié)構(gòu)模型的致動(dòng)壁上定義如下條件及變量:致動(dòng)壁上部涂覆銅電極,;致動(dòng)壁長(zhǎng)l、電極高h(yuǎn),、致動(dòng)壁厚w(w遠(yuǎn)小于h),,致動(dòng)壁沿z方向極化,y方向施加電場(chǎng),,逆z方向wl面固定,,順z方向wl面膠連支撐。設(shè)y方向撓度為f,,則f是x,、z、t的函數(shù),,可得致動(dòng)壁振動(dòng)的微分方程為:
式(1)中,,D為彎曲剛度,E0為楊氏模量,,
為泊松比,,m為致動(dòng)壁位面積質(zhì)量。
因致動(dòng)壁長(zhǎng)度遠(yuǎn)大于電極高度,,可近似認(rèn)為致動(dòng)壁y方向撓度f(wàn)不隨x的變化而變化,,即f(x,z,,t)=f(z,,t)。
在致動(dòng)壁電極上施加動(dòng)態(tài)電場(chǎng)時(shí),,其邊界條件為:
式(2)中U為驅(qū)動(dòng)電壓,,r為上蓋及連接膜等效為彈簧時(shí)的彈簧系數(shù)。將邊界條件代入式(1),,可得z=h時(shí),,致動(dòng)壁位移S:
式(3)中m=r(sinkh-sinwkh)+k3(coskh+coswkh),n=k3(sinkh-sinwkh)-r(coskh-coswkh),,為常數(shù),,
a2=DE為極化電場(chǎng)強(qiáng)度,。當(dāng)噴頭噴射40~80 pL墨滴時(shí),對(duì)應(yīng)的致動(dòng)壁的位移位S為0.11~0.32 μm,。將表1所示的致動(dòng)壁尺寸,、參數(shù)代入式(4),可得位移為0.11 μm時(shí),,近似電壓U1=20 V,;位移為0.32 μm時(shí),近似電壓U2=60 V,。因此,,由式(4)可知,0.11~0.32 μm范圍內(nèi)的致動(dòng)壁位移隨驅(qū)動(dòng)電壓在20~60 V范圍內(nèi)近似線性增大,。
在致動(dòng)壁位移隨驅(qū)動(dòng)電壓近似線性增大范圍內(nèi),,施加在涂覆銅電極的致動(dòng)壁上的激勵(lì)脈沖頻率等于致動(dòng)壁的諧振基頻時(shí),致動(dòng)壁厚度剪切振動(dòng)的幅度最大,。為得出致動(dòng)壁的諧振基頻,,采用瑞利能量法[10-11]對(duì)致動(dòng)壁諧振基頻進(jìn)行近似求解。
根據(jù)圖1所示剪切型壓電噴頭致動(dòng)器結(jié)構(gòu)模型,,設(shè)致動(dòng)壁厚度剪切振動(dòng)時(shí),任一時(shí)刻撓度為:
式(4)中q為載荷,,為角頻率,,c為初始相位,v0為致動(dòng)壁本征函數(shù),。根據(jù)致動(dòng)壁結(jié)構(gòu)特征,,設(shè):
由式(5)得撓度為:
則基于式(6),致動(dòng)壁勢(shì)能:
致動(dòng)壁動(dòng)能:
式(8)中g(shù)為重力加速度,。
根據(jù)動(dòng)能與勢(shì)能關(guān)系Umax=Tmax,,解得致動(dòng)壁諧振基頻:
式(9)中代入所設(shè)計(jì)致動(dòng)壁的尺寸、參數(shù),,得到致動(dòng)壁諧振基頻為15 kHz,。
通過(guò)對(duì)壓電噴頭致動(dòng)壁位移及諧振基頻的理論分析,得出PZT-5H制造的致動(dòng)壁,,0.11~0.32 μm范圍內(nèi)的致動(dòng)壁位移隨驅(qū)動(dòng)電壓在20~60 V范圍內(nèi)近似線性增大,;諧振基頻約為15 kHz。
2 剪切型壓電噴頭驅(qū)動(dòng)電源設(shè)計(jì)
2.1 致動(dòng)壁驅(qū)動(dòng)波形設(shè)計(jì)
壓電噴頭致動(dòng)器通道由平行排列的致動(dòng)壁陣列構(gòu)成,,相鄰?fù)ǖ拦蚕硗恢聞?dòng)壁,,驅(qū)動(dòng)電源激勵(lì)脈沖施加于通道焊盤上時(shí),等效為電容的致動(dòng)壁其驅(qū)動(dòng)電壓為兩側(cè)通道電壓之差,。分析致動(dòng)壁先向外運(yùn)動(dòng)再向內(nèi)運(yùn)動(dòng)的工作特性,,相鄰?fù)ǖ兰?lì)脈沖須滿足圖3所示時(shí)序關(guān)系,。在tdraw階段,致動(dòng)壁向外運(yùn)動(dòng),,墨水腔容積增大,,墨水從儲(chǔ)墨器和噴孔處流向噴墨通道中部。treinforce階段,,致動(dòng)壁向內(nèi)運(yùn)動(dòng),,墨水腔容積減小,墨水從噴墨通道噴孔中被擠出,。tsetting為墨滴噴射完成后變量的設(shè)置時(shí)間,。一次完整噴射的周期T由tdraw、treinforce,、tsetting之和構(gòu)成,。
圖3 單通道激勵(lì)脈沖時(shí)序圖
通常圖1所示剪切型壓電噴頭致動(dòng)器某一通道噴射墨水時(shí),相鄰?fù)ǖ酪蛑聞?dòng)壁干擾無(wú)法同時(shí)噴射,。為解決基于共享致動(dòng)壁結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的噴頭相鄰?fù)ǖ罒o(wú)法同時(shí)噴射問(wèn)題,,提出將通道分成三組,采用循環(huán)交替工作的方法,,編號(hào)為1+3n的通道為A組,,編號(hào)為2+3n的噴道為B組,編號(hào)為3+3n的通道為C組,。某一組通道擬噴射墨滴時(shí),,該組通道施加圖3中b通道上的激勵(lì)脈沖,相鄰兩通道分別施加a通道,,c通道上的激勵(lì)脈沖,。
2.2 驅(qū)動(dòng)電源設(shè)計(jì)
針對(duì)剪切型壓電噴頭功能、致動(dòng)器結(jié)構(gòu)特征,、致動(dòng)壁位移在20~60 V范圍內(nèi)隨驅(qū)動(dòng)電壓近似線性增大關(guān)系,、致動(dòng)壁15 kHz諧振基頻、噴墨通道“三循環(huán)”驅(qū)動(dòng)方式時(shí)序,,設(shè)計(jì)了一種基于直流變換原理的開(kāi)關(guān)式驅(qū)動(dòng)電源,。該電源實(shí)現(xiàn)32路通道的分組噴射,其最大輸出電壓范圍±60 V,,正負(fù)脈寬和設(shè)置時(shí)間在15~200 μs內(nèi)在線可調(diào),。剪切型壓電噴頭驅(qū)動(dòng)電源總體框圖如圖4所示,壓電噴頭驅(qū)動(dòng)電源由主控模塊,、多路信號(hào)發(fā)生器模塊,、功率放大模塊、上位機(jī)模塊等構(gòu)成。
圖4 剪切型壓電噴頭驅(qū)動(dòng)電源總體框圖
主控模塊采用C8051F020單片機(jī)作為核心控制器,,其將上位機(jī)通過(guò)串口通訊模塊發(fā)送至下位機(jī)的含有噴墨通道信息,、激勵(lì)脈沖正負(fù)脈寬與設(shè)置時(shí)間信息的協(xié)議字段進(jìn)行解析,將解析結(jié)果以控制信號(hào)和打印數(shù)據(jù)的形式傳送至多路信號(hào)發(fā)生器,。多路信號(hào)發(fā)生器采用FPGA設(shè)計(jì)定制,,其實(shí)現(xiàn)功率放大之前控制信號(hào)和打印數(shù)據(jù)的32路擴(kuò)展??紤]到未來(lái)噴墨通道數(shù)量的可擴(kuò)展性及信號(hào)發(fā)生器路數(shù)的可定制性,,選用Altera公司高性價(jià)比EP4CE10E22C8N芯片實(shí)現(xiàn)多路信號(hào)發(fā)生器。
功率放大模塊實(shí)現(xiàn)信號(hào)發(fā)生器生成信號(hào)的功率放大,,當(dāng)放大后的激勵(lì)脈沖施加到噴墨通道焊盤上時(shí),,致動(dòng)壁產(chǎn)生厚度剪切振動(dòng),導(dǎo)致墨水腔有規(guī)律地增大-減小,,將墨水?dāng)D出噴孔,。功率放大模塊采用MOS管構(gòu)建的全橋輸出放大電路,相鄰兩通道放大電路如圖5所示,,功率放大電路由光電隔離,、MOS管驅(qū)動(dòng)、邊沿調(diào)整,、功率放大四部分組成[12],。
圖 5 功率放大電路
光電隔離模塊輸入信號(hào)為32路信號(hào)發(fā)生器輸出信號(hào),其由光耦H1,、H2和電阻R1,、R2、R10,、R11構(gòu)成。該模塊實(shí)現(xiàn)高壓電路和低壓電路的電氣隔離,,有效抑制電磁干擾,。光電隔離模塊輸出信號(hào)幅值較低,難以驅(qū)動(dòng)功率放大模塊的MOS管,,為此,,設(shè)計(jì)了MOS管驅(qū)動(dòng)模塊對(duì)光電隔離模塊輸出信號(hào)進(jìn)行放大。MOS管驅(qū)動(dòng)模塊由NPN型三極管Q1,、Q2和電阻R3,、R4、R12,、R13構(gòu)成,。為實(shí)現(xiàn)MOS管輸出脈沖上升沿、下降沿陡直程度可調(diào),設(shè)計(jì)了由電阻R5,、R7,、R8、R14,、R16,、R17構(gòu)成的邊沿調(diào)整模塊。功率放大模塊由MOS管T1~T6,,電阻R6,、R9、R15,、R18和電容C1,、C2,二極管D1~D4構(gòu)成,,其實(shí)現(xiàn)脈沖的功率放大,。為提高M(jìn)OS管T2、T5的柵極電壓,,保證T2,、T5正常導(dǎo)通,設(shè)計(jì)了由電容C1,、C2,,二極管D1、D3,,電阻R6,、R15構(gòu)成的升壓自舉電路。為保護(hù)高壓電源,,設(shè)計(jì)了電阻R9,、R18充當(dāng)限流電阻。為使MOS管T2和T3,、T5和T6分別工作在推挽狀態(tài)下交替導(dǎo)通,,設(shè)計(jì)了將功率放大電路輸入信號(hào)反向的MOS管T1、T2,。為降低激勵(lì)脈沖由高變低時(shí),,殘留在致動(dòng)壁上的電荷對(duì)電路響應(yīng)速度的影響,設(shè)計(jì)了T3和D4,、T6和D2構(gòu)成的正反放電回路,。
電路中輸入信號(hào)U1、U2滿足圖3所示時(shí)序關(guān)系時(shí),,剪切型壓電噴頭致動(dòng)壁充放電過(guò)程如下:U1上升沿到來(lái)且U2為低電平,,MOS管T2,、T6導(dǎo)通,T3,、T5關(guān)斷,,20~60 V可調(diào)直流電源經(jīng)T2、T6對(duì)致動(dòng)壁正向充電,,致動(dòng)壁向外運(yùn)動(dòng),;U1下降沿到來(lái)且U2為低電平,MOS管T3,、T6導(dǎo)通,,T2、T5關(guān)斷,,致動(dòng)壁經(jīng)T3和D4組成的回路正向放電,,致動(dòng)壁向內(nèi)運(yùn)動(dòng)。U1為低電平且U2上升沿到來(lái),,MOS管T5,、T3導(dǎo)通,T6,、T2關(guān)斷,,20~60 V可調(diào)直流電源經(jīng)T5、T3對(duì)致動(dòng)壁反向充電,,致動(dòng)壁繼續(xù)向內(nèi)運(yùn)動(dòng),。U1為低電平且U2下降沿到來(lái),MOS管T6,、T3導(dǎo)通,,T5、T2關(guān)斷,,壓電致動(dòng)壁經(jīng)T6和D2組成的回路反向放電,,致動(dòng)壁向外運(yùn)動(dòng),并逐漸恢復(fù)到初始狀態(tài),。
3 壓電噴頭驅(qū)動(dòng)電源測(cè)試實(shí)驗(yàn)
為了檢驗(yàn)基于直流變換原理設(shè)計(jì)的剪切型壓電噴頭驅(qū)動(dòng)電源的實(shí)際性能,,在噴頭驅(qū)動(dòng)電源實(shí)驗(yàn)裝置上開(kāi)展帶負(fù)載的測(cè)試實(shí)驗(yàn)。實(shí)驗(yàn)裝置如圖6所示,,主要由噴頭驅(qū)動(dòng)電源主控模塊,、多路信號(hào)發(fā)生器模塊,、功率放大模塊,、可調(diào)直流電源、示波器等組成,。
圖 6 壓電噴頭驅(qū)動(dòng)電源裝置
3.1 驅(qū)動(dòng)電源脈沖幅值
為了檢驗(yàn)噴頭驅(qū)動(dòng)電源輸出脈沖幅值的有效性,,開(kāi)展了脈沖頻率固定時(shí)、不同幅值波形的測(cè)試實(shí)驗(yàn),實(shí)驗(yàn)中脈沖頻率,、幅值輸入值分別為:15 kHz,、±20 V、±40 V,、±60 V,。測(cè)試所用致動(dòng)壁容值約為470 pF。圖7為實(shí)際測(cè)試波形,,在電源帶負(fù)載狀態(tài)下,,頻率為15 kHz時(shí),幅值為±20 V,、±40 V,、±60 V的脈沖,其實(shí)際幅值與理論幅值吻合度較好,,無(wú)嚴(yán)重突變,;不同幅值下正脈寬、負(fù)脈寬,、設(shè)置時(shí)間一致性良好,,但存在上升沿、下降沿略有傾斜,,通過(guò)分析,,帶負(fù)載狀態(tài)下驅(qū)動(dòng)電源電路的輸出電阻與致動(dòng)壁構(gòu)成的回路導(dǎo)致了上升沿和下降沿略微傾斜。因此,,驅(qū)動(dòng)電源在15 kHz頻率下,,20~60 V范圍內(nèi)驅(qū)動(dòng)負(fù)載時(shí),輸出脈沖幅值無(wú)嚴(yán)重失真,,有效性良好,。
(a)脈沖幅值±20 V波形
(b)脈沖幅值±40 V波形
(c)脈沖幅值±60 V波形
圖7 電源測(cè)試波形
3.2 驅(qū)動(dòng)電源脈沖頻率
為了檢驗(yàn)噴頭驅(qū)動(dòng)電源輸出脈沖頻率的穩(wěn)定性,開(kāi)展了輸出脈沖幅值固定,、頻率不同時(shí),,實(shí)際脈沖頻率對(duì)應(yīng)周期的正脈寬、負(fù)脈寬,、設(shè)置時(shí)間與輸入?yún)?shù)的誤差的測(cè)試實(shí)驗(yàn),。實(shí)驗(yàn)中脈沖幅值、頻率輸入值分別為:
±30 V,、3 kHz,、6 kHz、9 kHz,、
12 kHz,、15 kHz,。測(cè)試所用致動(dòng)壁容值約為470 pF。實(shí)驗(yàn)中構(gòu)成周期的正脈寬,、負(fù)脈寬,、設(shè)置時(shí)間長(zhǎng)度通過(guò)上位機(jī)設(shè)置。頻率設(shè)置的具體參數(shù)如表2所示,。
實(shí)測(cè)波形與輸入?yún)?shù)誤差統(tǒng)計(jì)結(jié)果如圖8所示,。在圖8中,隨著脈沖頻率在3 kHz~15 kHz逐漸增大,,頻率對(duì)應(yīng)周期的正脈寬,、負(fù)脈寬、設(shè)置時(shí)間與輸入?yún)?shù)的誤差逐漸增大,,但增大幅度較小,,在15 kHz時(shí)誤差值僅為3%。因此,,驅(qū)動(dòng)電源在輸出脈沖幅值±30 V下,,頻率為3 kHz~15 kHz時(shí),驅(qū)動(dòng)電源頻率穩(wěn)定性良好,。
4 結(jié)論
針對(duì)剪切型壓電噴頭致動(dòng)器結(jié)構(gòu)特性,,分析了0.11~0.32 μm范圍內(nèi)的致動(dòng)壁位移隨驅(qū)動(dòng)電壓在20~60 V范圍內(nèi)近似線性增大的關(guān)系,推導(dǎo)出致動(dòng)壁15 kHz的諧振基頻數(shù)值,,結(jié)合噴墨通道“三循環(huán)”驅(qū)動(dòng)方式時(shí)序,,設(shè)計(jì)并實(shí)現(xiàn)了一種基于直流變換原理的開(kāi)關(guān)式驅(qū)動(dòng)電源。經(jīng)過(guò)實(shí)驗(yàn)測(cè)試,,在15 kHz頻率下,, 20~60 V范圍內(nèi)驅(qū)動(dòng)負(fù)載時(shí),輸出脈沖幅值與理論幅值吻合度較好,;在幅值±30 V下,, 3 kHz~15 kHz范圍內(nèi),頻率對(duì)應(yīng)周期的正脈寬,、負(fù)脈寬,、設(shè)置時(shí)間與輸入?yún)?shù)的誤差最大值為3%,驅(qū)動(dòng)電源頻率穩(wěn)定性良好,。因此,,本文設(shè)計(jì)的剪切型壓電噴頭驅(qū)動(dòng)電源具有較高的可行性。
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