據(jù)麥姆斯咨詢報道,，為支持、加快MEMS企業(yè)的創(chuàng)新和規(guī)?；砷L進(jìn)程,，深化蘇州MEMS中試平臺在全球MEMS產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新鏈中的關(guān)鍵作用，蘇州工業(yè)園區(qū)納米產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院有限公司微納制造分公司（蘇州MEMS中試平臺,，MEMSRIGHT）與麥姆斯咨詢近日簽署了戰(zhàn)略合作協(xié)議,。雙方將利用各自在MEMS領(lǐng)域的相關(guān)技術(shù)或資源，共同努力完善中國MEMS生態(tài)系統(tǒng),，推進(jìn)蘇州MEMS中試平臺快速發(fā)展,，為MEMS初創(chuàng)企業(yè)提供技術(shù)咨詢、工藝開發(fā),、生產(chǎn)制造,、封裝測試、市場推廣,、項目融資等一系列服務(wù),。

作為中國首家專業(yè)MEMS咨詢公司，麥姆斯咨詢一直致力于打造全方位MEMS服務(wù)平臺,，促進(jìn)行業(yè)交流與合作,，推動物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。麥姆斯咨詢CEO王懿就此次合作評價道：“最近幾年,，國內(nèi)MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速,，眾多MEMS創(chuàng)新企業(yè)在近兩年有了顯著增長。不過,，MEMS不同于IC產(chǎn)業(yè),，其工藝非標(biāo)準(zhǔn)化，而且產(chǎn)品開發(fā)周期長,、投入大,，國內(nèi)外MEMS企業(yè)都需要解決工程化、產(chǎn)業(yè)化的問題,，完成從小批量到中等量到量產(chǎn)的爬坡過程,。在這個過程中，需要為MEMS初創(chuàng)企業(yè)定制更多的服務(wù)支持,，同時還需要解決成本控制,、良率以及實現(xiàn)規(guī)?；a(chǎn)等問題，這就需要有一個中試平臺,。蘇州MEMS中試平臺正是為補(bǔ)齊完善產(chǎn)業(yè)鏈而生,。”

“為了給中國MEMS企業(yè)提供更多有針對性的生產(chǎn)制造支持,，蘇州納米科技發(fā)展有限公司在2013年設(shè)立了蘇州微納制造分公司,，打造了蘇州MEMS中試平臺，這是國內(nèi)首家專注于微機(jī)電系統(tǒng)的專業(yè)研發(fā)與代工的平臺企業(yè),，” 蘇州MEMS中試平臺技術(shù)總監(jiān)馬清杰說,，“麥姆斯咨詢是國內(nèi)MEMS領(lǐng)域最專業(yè)、最知名,、影響力最大的咨詢服務(wù)平臺,，我們非常高興能夠與麥姆斯咨詢建立深入合作，共同努力推進(jìn)蘇州MEMS中試平臺的發(fā)展,，完善中國MEMS生態(tài)系統(tǒng),。”

蘇州MEMS中試平臺目前針對不同的MEMS企業(yè),，提供的服務(wù)主要包括工藝研發(fā),、生產(chǎn)代工以及超凈場地和設(shè)備租賃等服務(wù)。在研發(fā)服務(wù)上,，可以讓客戶利用蘇州MEMS中試平臺的生產(chǎn)設(shè)備和成熟的工藝技術(shù)確保產(chǎn)品性能及其一致性,，縮短從研發(fā)到中試、量產(chǎn)的時間,，加快產(chǎn)品商業(yè)化進(jìn)程,。在生產(chǎn)服務(wù)方面，蘇州MEMS中試平臺可以利用其完善的質(zhì)量管控體系持續(xù)提升產(chǎn)品良率,，給客戶提供優(yōu)質(zhì)的中試代工服務(wù),。并且在無法保證客戶足夠產(chǎn)能的情況下，給客戶提供轉(zhuǎn)出量產(chǎn)的技術(shù)支持,。此外,，蘇州微納始終堅持不生產(chǎn)自主設(shè)計產(chǎn)品，以保護(hù)客戶知識產(chǎn)權(quán),，打消客戶后顧之憂。

蘇州MEMS中試平臺,，由蘇州納米科技發(fā)展有限公司建設(shè),，可提供6英寸MEMS工藝開發(fā)與加工服務(wù)、特色單步工藝加工服務(wù)以及部分MEMS封裝測試服務(wù),，6英寸超凈間主要場地為1850平方米（十級與百級潔凈等級）,，另有公共超凈出租場地3400平方米，為中小型MEMS設(shè)計公司的工藝開發(fā)和小批量生產(chǎn)搭建商業(yè)橋梁，該中試線是江蘇省“十二五”重大科技平臺項目,，也得到了工信部“工業(yè)轉(zhuǎn)型升級服務(wù)平臺項目”支持,。

蘇州MEMS中試平臺平面展示圖

蘇州MEMS中試平臺目前已成功導(dǎo)入MEMS麥克風(fēng)、壓力傳感器,、微鏡,、環(huán)境類傳感器、噴墨打印頭等產(chǎn)品,，產(chǎn)品均已通過客戶驗證,，完全具備了MEMS芯片的生產(chǎn)工藝開發(fā)和量產(chǎn)代工能力。

蘇州MEMS中試平臺部分MEMS工藝設(shè)備

在生產(chǎn)工藝方面,，蘇州MEMS中試平臺擁有擴(kuò)散,、薄膜、光刻,、離子注入,、刻蝕、鍵合,、減薄,、劃片、在線量測及電參數(shù)測試等全系列生產(chǎn)制造及檢測設(shè)備,。

此次合作預(yù)示著麥姆斯咨詢可以借助蘇州微納平臺對MEMS產(chǎn)業(yè)有更深入的研究,，而蘇州微納將利用麥姆斯咨詢專業(yè)化的咨詢平臺和媒介特性，得到技術(shù)支持及推廣服務(wù),。