《電子技術(shù)應(yīng)用》
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200mm產(chǎn)能緣何出現(xiàn)危機(jī)

2017-06-01
關(guān)鍵詞: 晶圓 200mm 制造 應(yīng)用材料

需求增長(zhǎng),而產(chǎn)能持平。這種不平衡背后的原因是什么,。

在過(guò)去一年左右的時(shí)間里,,由于某些芯片的需求激增,IC行業(yè)在200mm晶圓廠容量和200mm設(shè)備方面都嚴(yán)重短缺?,F(xiàn)在,,200毫米的缺口比以前更糟。但是,,由于這兩個(gè)因素,,預(yù)計(jì)在2017年下半年,這種情況并不會(huì)改善,。

在容量方面,,芯片制造商通常運(yùn)營(yíng)他們的200mm晶圓廠,利用率達(dá)到或接近100%,,且沒(méi)有放緩的跡象,?!叭?00毫米的產(chǎn)能得到充分利用”聯(lián)電( UMC)公司業(yè)務(wù)管理副總裁Walter Ng表示:“從去年初以來(lái),這種情況一直是這樣,,預(yù)計(jì)在可預(yù)見(jiàn)的未來(lái)仍然如此,。今年下半年的前景仍然是200mm產(chǎn)能被充分利用?!?/p>

在一方面看,,這是個(gè)好消息——芯片制造商希望保持晶圓廠充分利潤(rùn)。缺點(diǎn)是他們不能利用需求的飛漲帶動(dòng)晶圓廠利潤(rùn)的增長(zhǎng),。

芯片制造商一直在尋求擴(kuò)大其200mm晶圓廠的能力,,在中國(guó),有些制造商正著手建造新的200mm晶圓廠以滿足需求,。但幾乎沒(méi)有任何新的或二手的200mm設(shè)備可用,。而有工具可用的地方,價(jià)格又比較高,。

200mm設(shè)備的缺口在2015年底開(kāi)始出現(xiàn),,并貫穿了整個(gè)2016年,晶圓廠意識(shí)到對(duì)200mm容量的突然和令人驚訝的需求,?!皬娜ツ甑那闆r來(lái)看,許多人的普遍思想是:2017年我們會(huì)看到一些松動(dòng),,并增加對(duì)200mm設(shè)備所需材料的供應(yīng),,” 應(yīng)用材料(Applied Materials)公司的全球服務(wù)部應(yīng)用總監(jiān)Cody Harlow如是說(shuō),“根本不是這樣的情況,。事實(shí)上,,現(xiàn)在核心工具供應(yīng)不足。核心工具的價(jià)格達(dá)到十年來(lái)的最高點(diǎn),?!?/p>

術(shù)語(yǔ)“核心”是指一件必須翻新的二手設(shè)備。一年前,,庫(kù)存中有600到720個(gè)200mm的二手設(shè)備或核心,。據(jù)世界上最大的二次設(shè)備供應(yīng)商之一的SurplusGlobal公司表示,目前設(shè)備制造商的核心需求量約為1000個(gè),。

根據(jù)SurplusGlobal的說(shuō)法,,目前還有不到1000個(gè)200mm的核心可用。但是,,據(jù)該公司估計(jì),,目前芯片制造商的核心需求在3000到5000個(gè)之間,比去年增加了三到五倍,,供需不平衡,。

“我們從來(lái)沒(méi)有遇到過(guò)像這樣糟糕的情況,,沒(méi)有足夠的設(shè)備,”SurplusGlobal美洲和歐洲執(zhí)行副總裁Emerald Greig說(shuō):“有些人已經(jīng)投資建造了200mm晶圓廠,,但是它們已經(jīng)被擱置了,。不是因?yàn)橘Y金不足而暫停,而是因?yàn)闆](méi)有設(shè)備所以被擱置了,?!?/p>

然而,200mm容量的緊縮并不是一個(gè)短期事件,。Greig說(shuō):“我們認(rèn)為,,至少在未來(lái)的兩三年內(nèi),對(duì)200mm的需求仍將繼續(xù),?!?/p>

我們是怎么走到這一步的?

200mm容量和工具的缺乏主要是由于以下幾個(gè)原因:

? 多年來(lái),,由于成本原因,,許多芯片制造商關(guān)閉了200mm晶圓廠。有些人決定專注于更大的300mm市場(chǎng),。

? 幾家設(shè)備公司多年來(lái)停產(chǎn)或被收購(gòu),。 許多廠商決定停止構(gòu)建某些類型的傳統(tǒng)工具,。

? 對(duì)200mm晶圓廠生產(chǎn)的芯片的需求的爆炸式增長(zhǎng),,特別是在汽車,通信和移動(dòng)市場(chǎng),。

令人驚訝的是,,盡管200mm晶圓廠在幾十年前就已經(jīng)出現(xiàn)了,但在今天仍然是熱門商品,。目前,,中國(guó)正在建造業(yè)界最新的200mm晶圓廠。 此外,,幾家代工廠和集成設(shè)備制造商(IDMs)正在提升新的200mm晶圓廠能力,。

根據(jù)SEMI的統(tǒng)計(jì),到2020年,,全球預(yù)計(jì)將有189個(gè)200mm的晶圓廠,,而2007年的高峰期則為199家。SEMI分析師Christian Dieseldorff說(shuō):“包括2016年,,我們正在密切關(guān)注八個(gè)新的已經(jīng)開(kāi)始建設(shè)的200mm晶圓廠項(xiàng)目,。這八個(gè)項(xiàng)目中有六個(gè)在中國(guó)。它們混合了模擬,、電力和鑄造產(chǎn)業(yè),?!?/p>

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圖 1:200mm晶圓廠數(shù)量下降。資料來(lái)源:SEMI

計(jì)算新晶圓廠的數(shù)量是一回事,。 另外隨著時(shí)間的推移,,預(yù)計(jì)200mm晶圓廠容量的多少,涉及到一個(gè)包含一系列變量和未知數(shù)的復(fù)雜公式,?!澳阌行录夹g(shù)進(jìn)入200mm,同時(shí)也要遷移到300mm,,還有平均銷售價(jià)格(ASP)的侵蝕,,”應(yīng)用材料(Applied Materials)的應(yīng)用全球服務(wù)營(yíng)銷總監(jiān)Mike Rosa說(shuō),“所以,,這是一個(gè)復(fù)雜的方程,,可以在許多年后維持200mm的需求?!?/p>

獲取200mm的一種處理方法是查看wafer starts per month(wspm),、工藝、利用率和產(chǎn)品類型,。

對(duì)于初學(xué)者來(lái)說(shuō),,典型的200mm晶圓廠產(chǎn)量約40,000 wspm。通常,,200mm晶圓廠可以在6微米至65納米的各種工藝中生產(chǎn)各種芯片,。MCU、MEMS,、MOSFET,、電源管理IC和RF器件只是200mm晶圓廠中的幾種產(chǎn)品。

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圖 2:200mm的wspm 正在增長(zhǎng),。 來(lái)源: SEMI

考慮到200mm芯片的需求,,該行業(yè)預(yù)計(jì)在2020年前200mm晶圓廠產(chǎn)能將每年增加80,000至100,000 wspm。據(jù)Rosa稱:“在接下來(lái)的四年多的時(shí)間里,,這是每年價(jià)值2.5億美元的設(shè)備,。”

根據(jù)分析師的預(yù)測(cè),,到2017年,,對(duì)于200mm設(shè)備,該行業(yè)總共將產(chǎn)生520 wspm,,到2018年將達(dá)530 wspm,。“到2020年底,,預(yù)計(jì)容量約為550 wspm”SEMI的Dieseldorff如是說(shuō),。

在另一個(gè)關(guān)鍵指標(biāo)中,,全球200mm晶圓廠的平均利用率約為78%至85%。 “這個(gè)數(shù)字正在爬升,,” Applied的Rosa說(shuō),,“可以看到利用率每年上漲約4%?!?/p>

此外,,產(chǎn)品類型和ASPs也被納入方程式中?!懊總€(gè)設(shè)備都有不同的ASP侵蝕率,,” Rosa說(shuō),“它可以像MEMS那樣具有侵略性,。MEMS每季度價(jià)格下滑3%至5%,。”

總而言之,,晶圓開(kāi)始在200mm晶圓廠開(kāi)始上漲,,但平均售價(jià)以更快的速度下降??偟膩?lái)說(shuō),,200mm晶圓廠的收入總體以每年2%的速度增長(zhǎng),他說(shuō),。

然而,,數(shù)字指向相同的方向。UMC高級(jí)區(qū)域營(yíng)銷經(jīng)理Yan Qu說(shuō):“一般來(lái)說(shuō),,由于季節(jié)性變化,,大批量的消費(fèi)者產(chǎn)品在下半年將有所上升。因此,,下半年200mm容量供應(yīng)預(yù)計(jì)將繼續(xù)緊張?!?/p>

浪潮之后

是什么驅(qū)動(dòng)了對(duì)200mm需求,?Rosa稱:“模擬產(chǎn)品、MEMS和電源管理產(chǎn)品對(duì)移動(dòng)設(shè)備和物聯(lián)網(wǎng)仍然至關(guān)重要,。這些部門的需求和增長(zhǎng)導(dǎo)致了200mm的供應(yīng)短缺,。”

綜合考慮這些問(wèn)題,,芯片制造商也在200mm的各種產(chǎn)品組合中角逐,。這些分為三類。第一個(gè)涉及到適合200mm的芯片,。UMC的Ng表示:“它們?cè)谵D(zhuǎn)型為更先進(jìn)的技術(shù)方面沒(méi)有任何優(yōu)勢(shì),,但整體市場(chǎng)需求持續(xù)增長(zhǎng),,如離散功率MOSFET?!?/p>

第二類涉及的產(chǎn)品將保持在200mm,,但在晶圓尺寸上需要更先進(jìn)的工藝。這類包括顯示驅(qū)動(dòng)程序和控制器,。

最后,,一些200mm的產(chǎn)品正往300mm遷移?!耙蕾囉诮K端產(chǎn)品,,如微控制器和射頻開(kāi)關(guān),滿足廣泛性能要求的應(yīng)用相關(guān)的需求有所增長(zhǎng),,”Ng說(shuō),, “對(duì)于這些應(yīng)用,高性能產(chǎn)品將采用基于300mm的工藝技術(shù),,其余的產(chǎn)品將基于200mm,。”

工具不足

雖然200mm容量仍然緊張,,但具有200mm工藝技術(shù)的芯片制造商面臨著其他挑戰(zhàn)——尋找設(shè)備,。“二手的200mm設(shè)備一般都不容易獲得,,”Ng說(shuō),,“如果有的話,通常是很有價(jià)值的,?!?/p>

然而,在公開(kāi)市場(chǎng)上可用的不到1000個(gè)200mm的核心中,,有許多是過(guò)時(shí)或無(wú)法修復(fù)的,。短缺是全面的,其中蝕刻,、光刻和計(jì)量工具最難找到,。200mm工具的備件也很少。

那么在哪里可以買到200mm的設(shè)備和備件,?

通常,,芯片制造商可以從晶圓廠設(shè)備制造商,二手設(shè)備公司,、中間商或在線網(wǎng)站(如eBay)購(gòu)買二手設(shè)備,。 一些芯片制造商也在公開(kāi)市場(chǎng)上出售二手設(shè)備。

多年來(lái),Applied Materials,、ASML,、KLA-Tencor、Lam Research,、TEL等設(shè)備制造商一直在翻新和銷售自己的設(shè)備,。最近,Applied,、Lam和TEL在業(yè)務(wù)需求旺盛的時(shí)候開(kāi)始生產(chǎn)新的200mm設(shè)備,。

例如,Applied公司搭建了不同類型的200mm設(shè)備,。Harlow說(shuō):“Applied在200mm領(lǐng)域投入了大量資金,。這不僅僅是從在技術(shù)的角度出發(fā),而且站在供應(yīng)基礎(chǔ)和庫(kù)存的角度來(lái)看,,需要提供新的工具彌補(bǔ)現(xiàn)存的不足,。我們有能力在需要時(shí)提供新的工具?!?/p>

去年,,Lam Research和Manz AG組建了一家名為Talus Manufacturing的合資公司。Talus位于臺(tái)灣,,是一個(gè)全球性的翻新中心,。Talus將升級(jí)和翻新Lam的設(shè)備,以滿足臺(tái)灣和全球客戶的需求,。

“Lam的目標(biāo)是主動(dòng)為客戶的需求提供解決方案,。因此,Lam總是積極尋找市場(chǎng)上的200mm工具,,以便我們?yōu)榭蛻籼峁┙?jīng)濟(jì)型的翻新解決方案,,” Talus總經(jīng)理、Lam Research全球運(yùn)營(yíng)戰(zhàn)略計(jì)劃副總裁Shahriar Shaghafi表示,, “即使市場(chǎng)上沒(méi)有任何剩余的可用工具,,Lam仍然擁有制造技術(shù)來(lái)制造其全套200mm工具?!?/p>

利用原始設(shè)備制造商來(lái)采購(gòu)200mm裝備具有一定的優(yōu)勢(shì),。KLA-Tencor的KT Pro集團(tuán)副總裁兼總經(jīng)理Wilbert Odisho說(shuō):“200mm計(jì)量和檢測(cè)工具領(lǐng)域繼續(xù)供不應(yīng)求??蛻粜枰覀冞@些原始制造商來(lái)提供200mm工具,這主要有兩個(gè)原因:一是,,第三方供應(yīng)有限,;第二,第三方供應(yīng)商提供的設(shè)備可能不符合客戶要求?!?/p>

KLA-Tencor本身正在采取措施滿足200mm的需求,。它繼續(xù)提供翻新的設(shè)備,并在市場(chǎng)上推出了幾種“再制造”系統(tǒng),,如薄膜測(cè)量系統(tǒng)(F5X),,裸晶圓片檢測(cè)工具(Surfscan SP2)和亮場(chǎng)(2367)和暗場(chǎng)(9150)晶圓檢測(cè)系統(tǒng)。

它也在解決備件問(wèn)題,?!拔覀冋谂νㄟ^(guò)重新設(shè)計(jì)光學(xué)和電子子系統(tǒng),以及升級(jí)操作系統(tǒng)來(lái)減輕部分過(guò)時(shí)問(wèn)題,,”O(jiān)disho如是說(shuō),。

然而,與OEM廠商合作也有一些缺點(diǎn),。他們可能會(huì)為200mm工具收取額外費(fèi)用,。交貨時(shí)間長(zhǎng)。一些(不是所有)設(shè)備制造商,,預(yù)先搶占了300mm設(shè)備蓬勃的銷售市場(chǎng),。

所以,另一條途徑是與第三方二手設(shè)備公司或中間商合作,。一般來(lái)說(shuō),,這些公司可以通過(guò)各種手段在公開(kāi)市場(chǎng)上獲得工具。例如,,芯片制造商擁有多余的設(shè)備,,并在市場(chǎng)上公開(kāi)銷售,或者IC供應(yīng)商關(guān)閉晶圓廠,,并將裝備出價(jià)銷售,。

從二手設(shè)備公司購(gòu)買工具可能是一個(gè)具有挑戰(zhàn)性的過(guò)程。當(dāng)下,,有幾十個(gè)銷售二手裝備的實(shí)體,。有些公司翻新工具并提供技術(shù)支持。其他公司則未做任何處理,,系統(tǒng)“原樣”出售,,你可以選擇購(gòu)買或者放棄。

許多二手設(shè)備公司聲譽(yù)良好,,而另一些則值得懷疑,。 事實(shí)上,在這個(gè)領(lǐng)域有很多可怕的故事,,一個(gè)芯片制造商將不知不覺(jué)地購(gòu)買一個(gè)不能工作或缺少零件的二手工具,。

令人困惑的是,一些二手設(shè)備廠商正在給傳統(tǒng)的商業(yè)模式帶來(lái)新的轉(zhuǎn)變。例如,,SurplusGlobal最近宣布了它所謂的集群,。總部位于韓國(guó)京畿道,,集群涉及一個(gè)大型建筑物,,其中包括無(wú)塵室和倉(cāng)庫(kù)空間。

晶圓廠工具供應(yīng)商和二手設(shè)備競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手都可以從SurplusGlobal的新集群站點(diǎn)租賃空間,,該集群將于2018年開(kāi)放,。集群的目的是為韓國(guó)和其他地區(qū)的芯片制造商提供一站式工具、備件和服務(wù),。

該集群的賣點(diǎn)在于,,新工廠位于兩家大型芯片制造商三星和SK Hynix附近?!俺酥?,我們還想從韓國(guó)支持中國(guó),” SurplusGlobal的Greig稱,。

其他廠商正在朝不同的模式邁進(jìn),。不久前,一家二手工具供應(yīng)商ClassOne Equipment組建了一個(gè)名為ClassOne Technology的單位,。新單位正在以自己的品牌開(kāi)發(fā)新的200mm設(shè)備,。

這個(gè)概念很簡(jiǎn)單。多年來(lái),,許多大型設(shè)備制造商退出了各種傳統(tǒng)工具市場(chǎng),,使一些芯片制造商陷入困境。根據(jù)該部門總裁Kevin Witt的說(shuō)法,,ClassOne Technology可以填補(bǔ)一些市場(chǎng)空白,。

無(wú)論以哪種模式,購(gòu)買二手設(shè)備仍然具有挑戰(zhàn)性,。芯片設(shè)備老兵Witt為那些正在尋找二手設(shè)備的人提供了一些建議,。“市場(chǎng)上有很多小的翻新公司,,從其中一家購(gòu)買設(shè)備是一種風(fēng)險(xiǎn),。一是,如果有事情發(fā)生,,你能否得到服務(wù),?二是,如果有其他事發(fā)生,,你怎么得到零件,?”

為了與潛在的供應(yīng)商進(jìn)行業(yè)務(wù)合作,,Witt說(shuō),,需要考慮以下幾個(gè)因素——質(zhì)量,、聲譽(yù)和服務(wù)?!耙欢ㄒ蜷_(kāi)包,,進(jìn)行源檢查,并確保系統(tǒng)能夠執(zhí)行所需的操作,。不要買看不到的東西,。第二件事是確保公司有質(zhì)量程序、零件和服務(wù),?!?/p>

最好的解決方案是:做好功課?!叭绻粋€(gè)交易成交得過(guò)于順利,,那么通常是不可信任的,”他補(bǔ)充說(shuō),。


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