《電子技術(shù)應(yīng)用》
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XOS-TAs在電子半導(dǎo)體排放廢水監(jiān)測中的應(yīng)用

2017-08-21

  1.背景介紹

  電子半導(dǎo)體行業(yè)近幾年發(fā)展特別快,隨之而來的是生產(chǎn)過程中產(chǎn)生了大量的有毒有害廢水,,包括酸堿廢水,、含氟廢水、金屬廢水,、有機廢水,、氰化物廢水等,這些廢水必須經(jīng)過處理達標后才能排放,。目前,,電子半導(dǎo)體行業(yè)沒有針對性的污染物排放標準發(fā)布,其執(zhí)行的標準仍為《污染物綜合排放標準》,,但是,,電子半導(dǎo)體企業(yè)對廢水排放有嚴格的內(nèi)控指標,。電子半導(dǎo)體企業(yè) 除了監(jiān)控 COD、氨氮等常規(guī)指標外,,也非常重視砷,、鉛等一類重金屬污染物的排放量。

  廈門某電子公司于 2015 年采購了一臺 XOS 總砷分析儀,,用于排口廢水總砷監(jiān)測,,測試數(shù) 據(jù)通過 MODBUS 通訊(儀表自帶 RS485 接口)傳輸至 PLC,實時上傳至當?shù)丨h(huán)保局,。儀表從企業(yè) 正常生產(chǎn)后開始運行,,連續(xù)運行兩個多月無需維護,測量數(shù)據(jù)穩(wěn)定,,用戶反饋較好,。

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  XOS總砷分析儀

  2.應(yīng)用情況

  主要儀器:XOS 總砷分析儀、CYQ 預(yù)處理器,。

  右圖為現(xiàn)場安裝圖,。儀表初次安裝不需要校準,為檢查儀表的 測量準確性,,配制了 0.4 mg/L 的標液,,使用儀表自帶的標樣核查功 能,測量結(jié)果為 0.399 mg/L,。XOS 總砷分析儀與 CYQ 預(yù)處理器聯(lián)動,, 按設(shè)定時間定時抽取水樣進行分析,。CYQ 預(yù)處理器的作用是自清洗進樣管路和提供連續(xù)的流速穩(wěn)定的水樣,,確保儀表正常運行,減少 維護量,。

  為保證測量準確性,,儀表每天設(shè)置 1 次背景修正,以去除懸浮物附著在膜片上對測量結(jié)果的影響,。安裝后連續(xù)測量兩個多月,,測 量數(shù)據(jù)穩(wěn)定在 0.15~0.30 mg/L 之間,滿足 0.5mg/L 的排放要求,。運行期間無需人為維護,,儀器表現(xiàn)出較好的測量穩(wěn)定性,與實驗室測 量結(jié)果比對一致性較好,,用戶較為滿意,。

  3.總結(jié)

  (1)XOS 總砷分析儀采用單色波長色散 X 射線熒光法,,運行期間不需使用任何化學(xué)試劑,,不受懸浮物,、色度及其他金屬離子干擾,測量穩(wěn)定性較好,,維護量極低,,可滿足電子半導(dǎo)體廢水 的在線監(jiān)測要求。

 ?。?)XOS 總砷分析儀初次安裝無需校準,,校準周期為 3‐6 個月;與動力窗模塊配套使用時,, 可大大降低維護量,,最大限度降低維護成本。

 ?。?)XOS 重金屬已獲得環(huán)保認證,,可用于廢水排口總砷、總鉛監(jiān)測,。

  案例類型:

  應(yīng)用案例-XOS-TAs 在電子半導(dǎo)體排放廢水監(jiān)測中的應(yīng)用-電子半導(dǎo)體行業(yè)-2017.6.9

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