簡單來說,,夜視技術(shù)為人類提供了在黑暗中的可視能力。該技術(shù)最初在20世紀(jì)30年代初期的德國為軍事應(yīng)用而開發(fā),,用以克服人眼的局限性1,。第一個(gè)夜視設(shè)備基于圖像增強(qiáng)管,在20世紀(jì)70年代發(fā)明了熱成像技術(shù),,隨后在1980年代出現(xiàn)了第一個(gè)采用固態(tài)技術(shù)的可見/近紅外(NIR)攝像機(jī)2,。多年以來,這三種技術(shù)都不斷進(jìn)步,,而且夜視技術(shù)也從軍用擴(kuò)展至包括了安防監(jiān)控和汽車應(yīng)用,。 本文將重點(diǎn)介紹NIR技術(shù)的進(jìn)步,以及它為何會(huì)成為這些市場的理想夜視選擇,。
為什么近紅外技術(shù)是夜視應(yīng)用的理想選擇,?
NIR光位于可見光譜之外并且可以有效地對(duì)物體或場景進(jìn)行照明,使攝像機(jī)擁有超越人眼視覺能力 “看見”低光或者無光條件下的場景,。 這一點(diǎn)對(duì)于夜視應(yīng)用非常有用,,因?yàn)橄鄬?duì)于可見光,夜晚的NIR波長光子的數(shù)量更多。
舉例說明,,盡管現(xiàn)今的監(jiān)控?cái)z像機(jī)采用了最高分辨率的低光圖像傳感器,,但在不使用大功率發(fā)光二極管(LED)的情況下仍然不能很好地捕獲夜間圖像。 因此,,用先進(jìn)的NIR圖像傳感器取代這些低光傳感器就可以減少所需的輔助照明光強(qiáng),,從而實(shí)現(xiàn)更加隱蔽的監(jiān)控。
同樣,,對(duì)于高級(jí)駕駛輔助系統(tǒng)(ADAS)的夜視技術(shù),,相比遠(yuǎn)紅外(FIR)的被動(dòng)成像,NIR也是更好的選擇,,因?yàn)榍罢呃蒙眢w熱量生成明亮的負(fù)像。 NIR技術(shù)則可以在黑暗中捕獲清晰的圖像,,物體如同被車輛的遠(yuǎn)光燈照亮一樣,。 無論物體自身的溫度如何,都可以成像3,。
應(yīng)用NIR有何限制,?
NIR成像系統(tǒng)的有效范圍與其靈敏度直接相關(guān),并且取決于兩個(gè)關(guān)鍵的測量參數(shù):量子效率(QE)和調(diào)制傳遞函數(shù)(MTF),。
成像系統(tǒng)的QE代表光子轉(zhuǎn)換為電子的比率,。 QE值越高,圖像的亮度越高, 相同NIR照明時(shí)可看到的距離越遠(yuǎn),。 MTF所測量的是在特定的分辨率下圖像傳感器將成像物的對(duì)比度轉(zhuǎn)換到圖像中的能力4,。MTF越高則圖像越清晰。光電子從一個(gè)像素?cái)U(kuò)散到相鄰像素時(shí)所產(chǎn)生的串?dāng)_信號(hào)會(huì)影響MTF,。 為了保持穩(wěn)定的MTF以捕獲清晰的圖像,,需要將電子束縛在像素內(nèi)部。
圖1: 搭載Nyxel的產(chǎn)品圖像對(duì)比原始產(chǎn)品,,清晰度無下降
現(xiàn)有解決方案所面臨的挑戰(zhàn)
與可見光的成像相比,,近紅外光NIR應(yīng)用中的光子波長更長。而波長較長的光子在晶格內(nèi)的吸收率較低,,所以當(dāng)硅晶的厚度有限時(shí),,傳感器的QE降低。為了產(chǎn)生相同數(shù)量的光電子并實(shí)現(xiàn)相同的QE,,必需增加硅晶的厚度,。對(duì)于單像素檢測器,使用較厚的硅晶可以將NIR QE提高至> 90%,。然而,,對(duì)于那些需像素更小的應(yīng)用,增加硅晶厚度(例如增加至100 μm)會(huì)造成部分光子進(jìn)入相鄰像素而產(chǎn)生串?dāng)_,進(jìn)而會(huì)降低MTF,。最終生成的圖像雖然對(duì)NIR照明更敏感,,但分辨率較低,圖像明亮卻模糊,。
采用深溝槽隔離(DTI)在像素之間創(chuàng)建屏障可以解決這個(gè)問題,。雖然標(biāo)準(zhǔn)DTI可以改善MTF,但它可能會(huì)產(chǎn)生損壞圖像暗區(qū)的缺陷,。這是試圖改善NIR傳感器的公司所面對(duì)的一個(gè)難題,。
技術(shù)突破
最新的技術(shù)突破解決了僅通過增加硅晶厚度來增加光子吸收所面臨的問題。 采用先進(jìn)的300mm代工工藝擴(kuò)展DTI的深度,, 通過在相鄰像素之間建立二氧化硅屏障,,進(jìn)而形成氧化物和硅之間的折射率變化,我們能夠在同一像素內(nèi)制造光學(xué)約束,。 此外,,采用擴(kuò)展DTI (extended DTI)和高深寬比,溝槽的寬度仍然很窄,,從而可以協(xié)助約束即便是小像素內(nèi)的光子,。
其次,在芯片表面建立一個(gè)吸收結(jié)構(gòu) — 類似于太陽能電池生產(chǎn)工藝中所采用的金字塔結(jié)構(gòu) — 用以形成一個(gè)散射光學(xué)層,。 精密生產(chǎn)該散射層和擴(kuò)展DTI可以防止圖像暗區(qū)出現(xiàn)額外的缺陷,。 該結(jié)構(gòu)的形狀可以延長硅晶中光路長度。 通過分割光波并使其散射,,光子在像素內(nèi)的路徑更長,,從而提高了光的吸收。
確保該結(jié)構(gòu)角度的精確性對(duì)于散射層的有效性至關(guān)重要,。 如果角度有誤,,會(huì)導(dǎo)致光子反射到相鄰像素中,而非按照預(yù)先的設(shè)想反射到同一像素中,。
結(jié)論
OmniVision通過與其代工合作伙伴的密切合作,,開發(fā)出Nyxel?NIR技術(shù),解決了目前NIR技術(shù)中令人困擾的產(chǎn)品性能問題,。與上一代具有NIR功能的OmniVision傳感器相比,,Nyxel技術(shù)結(jié)合厚硅晶, 擴(kuò)展 DTI,,和表面光學(xué)散射層,,讓傳感器的QE可以提高多達(dá)三倍,實(shí)現(xiàn)了NIR高靈敏度,,同時(shí)也不會(huì)減低其它圖像質(zhì)量指標(biāo),。
配備這項(xiàng)技術(shù)的傳感器能夠在極低的光照條件下,實(shí)現(xiàn)更長距離的圖像捕獲,并且提供更好的圖像質(zhì)量,,而且運(yùn)行時(shí)所需要的光源和電能輸入都更少,,滿足了新的夜視應(yīng)用的需要。