在邁向5nm,、3nm或甚至2nm半導(dǎo)體制程技術(shù)之路,，業(yè)界工程師可能有多種選擇,，但有些人并不確定他們是否仍能從中找到任何商業(yè)利益,，甚至是5nm制程。
為了打造尺寸日益縮小的芯片,，所需的復(fù)雜度與成本越來越高,，但卻導(dǎo)致收益遞減。日前于新思科技(Synopsys)用戶大會(SNUG)的一場座談會上,，高通公司(Qualcomm)的一位工程師指出,，行動處理器的資料速率將在3GHz達(dá)到峰值，而功耗和面積增益則從7nm開始縮減,。
高通設(shè)計技術(shù)團(tuán)隊資深工程總監(jiān)Paul Penzes指出,，由于金屬導(dǎo)線中存在電阻性，使得10nm時速度提升的16%到了7nm時耗盡,。此外,，從10nm進(jìn)展到7nm，功耗節(jié)省的幅度將從30%縮減到10-25%,，面積微縮的幅度也會從37%減少到20-30%,。
數(shù)十年來，電子產(chǎn)業(yè)一直循「摩爾定律」(Moore's law)所設(shè)定的開發(fā)藍(lán)圖——芯片上可容納的電晶體數(shù)量大約每隔兩年增加1倍,。其結(jié)果是從個人電腦(PC)到智慧型手機(jī)等產(chǎn)品的尺寸越來越小,、速度越來越快，價格也越來越便宜,。
Penzes說：「目前的芯片面積仍然以很高的兩位數(shù)持續(xù)微縮,，但在光罩背后所隱藏的成本增加，意味著實(shí)際的成本優(yōu)勢以及其他進(jìn)展正開始放緩......目前尚不清楚到了5nm時還能保有什么,?！惯@表示5nm節(jié)點(diǎn)很可能只是7nm的延伸。
來自Synopsys和三星(Samsung)的技術(shù)專家表示,，當(dāng)今的FinFET電晶體版本應(yīng)該還能用于5nm節(jié)點(diǎn),。而當(dāng)進(jìn)展到低于3.5nm的寬度時,，F(xiàn)inFET將會達(dá)到極限,。
新思科技研究人員兼電晶體專家Victor Moroz說,，設(shè)計人員可能必須過渡到采用大約三層的橫向納米線堆疊，或稱為「納米硅板」(nano-slabs),。三星則宣布計劃使用閘極全環(huán)(GAA)電晶體以實(shí)現(xiàn)4nm制程,，目標(biāo)是在2020年投入生產(chǎn)。
新思科技的Munoz表示,，到了未來的技術(shù)節(jié)點(diǎn),，間距微縮將減緩至每世代約0.8倍左右。這將迫使設(shè)計人員將7nm時雙鰭,、6軌的228nm單元高度結(jié)構(gòu),，在3nm和2nm時縮減到單鰭、5軌的130-100nm結(jié)構(gòu),。
他總結(jié)說,，使用這種技術(shù)，「硅晶似乎就能讓我們安全地微縮至2nm,，而在那之后,，我們可能就會開始使用石墨烯?！?/p>
然而,，在最后的問答環(huán)節(jié)中，一位與會者對于這種單鰭5軌單元的結(jié)構(gòu)表示震驚,。
新思科技描繪邁向2nm的通用開發(fā)藍(lán)圖（來源：Synopsys）
新思科技部門研發(fā)總監(jiān)Henry Sheng表示,，更精細(xì)制程的復(fù)雜度迫使芯片設(shè)計師面對日益嚴(yán)苛的設(shè)計規(guī)則。例如,，F(xiàn)inFET對于工程師必須追蹤的波形傳播,、電遷移和元件變異帶來了新的效應(yīng)。但他也樂觀地認(rèn)為,，「這些效應(yīng)最終都將得到解決」,。
在這場座談會上的專家們認(rèn)為，成功最終將取決于代工廠,、EDA和設(shè)計工程師之間越來越密切的合作,。在邁向目標(biāo)進(jìn)行時，高通公司認(rèn)為,，為了獲得最佳產(chǎn)能,，必須在生產(chǎn)開始之前對其先進(jìn)設(shè)計進(jìn)行調(diào)整，以及更清楚地定義制程節(jié)點(diǎn),。
「由于行動處理器的競爭非常激烈,，代工廠導(dǎo)入的節(jié)點(diǎn)越來越不成熟，」Penzes說：「如果超出了利潤，那么平均單位成本就會上漲,，而變得缺乏競爭力,。」
「現(xiàn)在,，在了解單元的電氣特性之前,，必須先掌握其環(huán)境，」他補(bǔ)充說,?！讣词故?0%的變異也可能讓一個新節(jié)點(diǎn)的所有優(yōu)勢盡失，因此,，以前存在的所有雜訊都必須克服,。」
Penzes指出最近的一些開發(fā)工作為此帶來了希望,。晶圓代工廠正在尋找以不同速率微縮各種單元的方法,，而EDA供應(yīng)商也承諾改善布線，其方式可能是采用極紫外光微影(EUV)技術(shù),。
Moroz表示,，工程師們也開始探索其他許多技術(shù)，以降低金屬導(dǎo)線上的電阻率,，從而為加速取得優(yōu)勢開啟大門,。其方式包括新的結(jié)構(gòu)，例如跨越多個金屬層的梯度和超導(dǎo)孔（super-vias）,，以及使用鈷(Co)和釕(Ru)等新材料,。
為了說明未來即將面對的挑戰(zhàn)，Moroz詳細(xì)闡述開發(fā)藍(lán)圖,。（來源：Synopsys）
例如,，三星承諾為搭配EUV的7nm制程制訂規(guī)范，并計劃在今年制造晶圓,，不過它仍然在等待步進(jìn)器,。Samsung Foundry設(shè)計支援副總裁Jongwook Kye在座談會上表示，「只要ASML能夠提供這些工具,，我們就會開始投入大量制造,。」,。
同時,，三星也正在試圖為2020年的4nm生產(chǎn)定義新的電晶體。Kyle說：「這是我們在未來幾年內(nèi)必須克服的挑戰(zhàn),；只要能與工具供應(yīng)商和其他公司密切合作,，我相信我們最終能實(shí)現(xiàn)目標(biāo)。」