0 引言

    高性能電容式微機(jī)械加速度計在慣性導(dǎo)航、GPS定位,、石油勘探等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用^[1-3],。在高精度sigma-delta(ΣΔ)加速度計系統(tǒng)中，機(jī)械表頭的精度已經(jīng)可以做到2 μg以下,，往往系統(tǒng)的性能受后級接口電路的制約^[4-6],。為了提高后級接口電路的精度，往往通過提高系統(tǒng)的階數(shù)來抑制量化噪聲,，例如文獻(xiàn)[7]報道了一種五階ΣΔ加速度計系統(tǒng),，通過在二階的敏感結(jié)構(gòu)后級聯(lián)一個三階調(diào)制器來實現(xiàn)量化噪聲的高階整形。文獻(xiàn)[8]也介紹了一種高階閉環(huán)系統(tǒng),，通過引入多級積分器提高整體的噪聲整形能力,。然而高階系統(tǒng)會帶來穩(wěn)定性問題，給系統(tǒng)設(shè)計帶來不小的難度,。為了在保證噪聲整形能力的基礎(chǔ)上解決系統(tǒng)的穩(wěn)定性問題,，可以借鑒高精度調(diào)制器的設(shè)計方法，通過多位量化的方法來減小后級積分器的個數(shù),，這樣既能保證系統(tǒng)的噪聲整形能力,，又能降低系統(tǒng)的穩(wěn)定性風(fēng)險。

    多位量化技術(shù)雖然能夠提高整形能力,，改善后級接口電路的線性度,，但同時對敏感結(jié)構(gòu)的靜電力反饋線性度提出了高要求。因此需要對系統(tǒng)的靜電力反饋進(jìn)行線性化處理,，來保證多位量化技術(shù)能夠成功地應(yīng)用于非線性的微機(jī)械加速度計系統(tǒng)中,。本文應(yīng)用了一種靜電力反饋線性化電路，提出了一種四階多位量化微機(jī)械加速度計系統(tǒng),，降低了系統(tǒng)設(shè)計時對穩(wěn)定性的要求,，也提高了系統(tǒng)的線性度。

1 系統(tǒng)設(shè)計

    圖1為本文提出的一種多位量化微機(jī)械加速度計系統(tǒng),，其中K_x/V為微機(jī)械加速度計敏感結(jié)構(gòu)質(zhì)量塊位移到電壓的增益,，K_V/a是靜電力反饋因子，表示反饋電壓到等效反饋加速度的增益因子,，a₁,、a₂和a₃是前饋因子，f_b是局部反饋因子，k₁和k₂是積分器增益縮放比例因子,。為了提高系統(tǒng)穩(wěn)定性,，引入后置相位補償器H_C(z)來提供相位補償。經(jīng)過Simulink仿真確定系統(tǒng)系數(shù)a₁,，a₂,，a₃分別是0.7，0.2,，0.1,，k₁為1/5，k₂為1/4,，f_b是0.2,，后置相位補償器補償因子為0.8。

    圖1中Kx/V和KV/a可以分別表示為：

    上式中C_f為前級電荷放大器的積分電容,，d₀為敏感結(jié)構(gòu)檢測梳齒間距,，C₀為敏感結(jié)構(gòu)靜態(tài)電容，V_r為參考電壓(一般為電源電壓的一半),，m為質(zhì)量塊質(zhì)量,，V_fb為反饋電壓。

2 電路實現(xiàn)

    圖2是差分電荷放大器的前級電路,，包含敏感放大部分和采樣保持電路,，參考電容C_R和敏感元件等效電容C_S組成一個全橋平衡結(jié)構(gòu)，等效電容值20 pF,。敏感放大部分的積分電容為10 pF,，更小的積分電容能夠增大環(huán)路增益，減小等效輸入噪聲,，但是會降低環(huán)路的穩(wěn)定性,。由于加速度導(dǎo)致質(zhì)量塊的位移引起電荷的變化，通過敏感放大器部分進(jìn)行放大,，同時相關(guān)雙采樣電路能夠消除低頻的噪聲和運放失調(diào)^[9],。敏感放大部分的運放是一個全差分單級折疊共源共柵結(jié)構(gòu)，電路簡單,，易于實現(xiàn)。運放直流增益75 dB,，帶寬15 MHz,。共模反饋采用開關(guān)電容結(jié)構(gòu)，減小系統(tǒng)的功耗,。后級積分器也采用類似的運放結(jié)構(gòu),，但由于負(fù)載電容變小，所以可以降低運放的功耗。

    后級多位量化和反饋電路如圖3所示,。其中圖3(a)中第一級積分器采樣電容為1 pF,，積分電容為5 pF，第二級積分器采樣電容縮放為0.5 pF,，積分電容為2 pF,，這樣能夠減小運放的負(fù)載，在同樣帶寬的情況下能有效地減小運放的功耗,。相位補償器采用文獻(xiàn)[10]中的無源濾波器結(jié)構(gòu),，對寄生不敏感，功耗也比較低,。第一級積分器的反饋通路開關(guān)kN,、KP由數(shù)據(jù)加權(quán)平均DWA（Data Weighted Averaging）模塊的輸出控制。本文的DWA技術(shù)是利用循環(huán)選擇靜電力反饋單元的原理來實現(xiàn)每個反饋電容被選擇到的平均次數(shù)相同,，進(jìn)而對反饋轉(zhuǎn)換過程中的非線性誤差被一階整形^[11],。DWA技術(shù)能夠有效降低工藝誤差帶來的電容失配所引起的非線性問題，提高系統(tǒng)的性能,。多位量化能夠降低量化噪聲,，所以無需采用更高階的噪聲整形結(jié)構(gòu)，減小穩(wěn)定性問題,。但是微機(jī)械加速度計是非線性系統(tǒng),，因為靜電反饋力是關(guān)于微機(jī)械結(jié)構(gòu)中極板間距的非線性函數(shù)。因此為了能夠有效地在微機(jī)械加速度計系統(tǒng)中利用多位量化技術(shù),，應(yīng)用靜電力反饋線性化技術(shù),，采用了圖3(b)和圖3(c)的電路結(jié)構(gòu)，這在一定程度上也增加了系統(tǒng)的復(fù)雜度和功耗,。圖3(b),、圖3(c)中經(jīng)過處理后的等效靜電反饋力就成為跟質(zhì)量塊位移無關(guān)的線性函數(shù)：

3 實驗結(jié)果

    該加速度計接口電路原型芯片采用0.35 μm標(biāo)準(zhǔn)CMOS工藝進(jìn)行流片驗證，如圖4所示,。芯片尺寸約為3.5 mm×4 mm,，采用5 V電壓供電，利用硅鋁絲連接機(jī)械敏感結(jié)構(gòu)和芯片,，避免了金屬連接線導(dǎo)致的較大寄生電容帶來的影響,。為了實現(xiàn)較大的信號帶寬，系統(tǒng)采樣頻率設(shè)計為300 kHz,，芯片整體功耗25 mW,，主要功耗集中于前級電荷放大器、積分器電路以及多位量化電路,。

    為了測試系統(tǒng)的動態(tài)性能,，采用自檢測的原理,，在反饋端輸入148.8 Hz低失真正弦信號來模擬外界加速度信號。利用邏輯分析儀采集系統(tǒng)的位流輸出信號,，在MATLAB中進(jìn)行262 144個點的FFT結(jié)果如圖5所示,。從頻譜圖中可以看出系統(tǒng)噪底水平均值低于-120 dB/√Hz，根據(jù)系統(tǒng)的靈敏度0.63 V/g,，計算出等效輸入加速度噪聲約為4 μg/√Hz,。受限于電源電壓和系統(tǒng)靈敏度，該系統(tǒng)的量程約為±3 g,。從圖5中的頻譜可以看出,，系統(tǒng)量化輸出的二次諧波較大，達(dá)到了-97.46 dB,，而三次諧波較小,，幾乎淹沒在噪底之中。由此可以看出,，采用多位量化和靜電反饋力線性化技術(shù)后系統(tǒng)的非線性大大降低,，提升了整體的性能。輸出結(jié)果中較大的二次諧波可能是由于版圖的對稱性不好以及傳感器機(jī)械結(jié)構(gòu)中全橋平衡電路存在失配導(dǎo)致的,。

4 結(jié)論

    本文設(shè)計了一款四階多位量化微機(jī)械加速度計接口電路,，整體電路經(jīng)過了流片實驗驗證。整體功耗25 mW,，等效輸入加速度噪聲約為4 μg/√Hz,，量程約為±3 g。采用多位量化和靜電反饋力線性化技術(shù)降低了系統(tǒng)的非線性,，提升了微機(jī)械加速度計的整體性能,。從測試結(jié)果來看，可以通過改善版圖的對稱性和全橋平衡電路的匹配性來進(jìn)一步提高性能,。

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作者信息:

王保勝,，趙剛彬

（南陽理工學(xué)院 計算機(jī)與信息工程學(xué)院,，河南 南陽473000)